RU2040788C1 - Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления - Google Patents

Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2040788C1
RU2040788C1 RU9393025817A RU93025817A RU2040788C1 RU 2040788 C1 RU2040788 C1 RU 2040788C1 RU 9393025817 A RU9393025817 A RU 9393025817A RU 93025817 A RU93025817 A RU 93025817A RU 2040788 C1 RU2040788 C1 RU 2040788C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
frame
winding
framework
holder
sensor
Prior art date
Application number
RU9393025817A
Other languages
English (en)
Other versions
RU93025817A (ru
Inventor
Ю.М. Улитин
Л.Е. Горская
Original Assignee
Товарищество с ограниченной ответственностью "Интрон Плюс"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Товарищество с ограниченной ответственностью "Интрон Плюс" filed Critical Товарищество с ограниченной ответственностью "Интрон Плюс"
Priority to RU9393025817A priority Critical patent/RU2040788C1/ru
Priority to US08/356,317 priority patent/US5600240A/en
Priority to PCT/RU1994/000095 priority patent/WO1994025866A1/ru
Priority to EP94914645A priority patent/EP0657735B1/en
Priority to DE69411686T priority patent/DE69411686T2/de
Application granted granted Critical
Publication of RU2040788C1 publication Critical patent/RU2040788C1/ru
Publication of RU93025817A publication Critical patent/RU93025817A/ru

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/904Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents with two or more sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/90Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
    • G01N27/9006Details, e.g. in the structure or functioning of sensors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле металлизации отверстий и трубок. Технический результат повышение прочности датчика и предотвращение механических повреждений обмотки без увелечения поперечного размера датчика. Это достигается тем, что в вихретоковом датчике для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок, содержащем осесимметричный вытянутый вдоль оси симметрии каркас и расположенную на боковой поверхности каркаса обмотку в виде вытянутой вдоль оси каркаса спирали, каркас выполнен полым с отношением наружного D и внутреннего d поперечных размеров в интервале 1,4 < D/d < 1,6, а обмотка расположена на внутренней поверхности каркаса. Внутренняя полость каркаса может быть заполнена магнитопроводящим материалом, а также возможна установка центрального стержня с суживающейся заглушкой. Способ изготовления датчика включает изготовление плоской развертки каркаса, формирование обмотки на плоской эластичной диэлектрической подложке, наложение на плоскую развертку каркаса и придание каркасу нужной формы. 2 с. и 5 з.п. ф-лы, 5 ил.

Description

Изобретение относится к неразрушающему контролю качества изделий, а именно к средствам вихретокового контроля отверстий и трубок малого диаметра, и может быть использовано, прежде всего, в устройствах для испытания качества металлизации отверстий печатных плат.
Миниатюрность объекта, для которого в первую очередь предназначено изобретение (диаметр отверстий 0,5-2 мм при толщине металлизации 15-50 мкм), ограничивает круг известных решений.
Известен вихретоковый датчик для неразрушающих испытаний покрытий отверстий печатных плат, содержащий вытянутый сердечник и охватывающие сердечник измерительную и возбуждающую обмотки, проводники которых вытянуты вдоль оси сердечника [1]
Датчик изготавливают путем намотки изолированным проводом на цилиндрический каркас [2] Учитывая малые размеры датчика, намотку производят под микроскопом, что значительно усложняет процесс изготовления. Кроме того, наличие пересекающихся проводников обмотки на торце сердечника создает не только дополнительные трудности при ручной намотке под микроскопом, но и усложняет процесс эксплуатации датчика.
Наиболее близким к предлагаемому является вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок, содержащий несущий цилиндрический стержень-каркас и обмотку, витки которой вытянуты вдоль оси симметрии каркаса и расположены полностью на его боковой поверхности. Для защиты обмотки от механических повреждений на нее нанесено защитное покрытие [3]
Способ изготовления этого датчика включает изготовление плоской эластичной подложки из диэлектрического материала, габариты которой соответствуют габаритам сердечника, формирование на ней обмотки и закрепление ее на поверхности сердечника-каркаса. Обмотка может быть сформирована, например, методом фотолитографии или путем обработки лучом лазера предварительно металлизированной поверхности.
Такой датчик имеет следующие преимущества: миниатюрность исполнения, технологичность конструкции, высокая чувствительность, инвариантность к радиальным и осевым смещениям относительно оси контролируемого отверстия. Однако при эксплуатации таких датчиков серьезную проблему составляет их сравнительно небольшой срок службы, что связано с недостаточной механической прочностью, а также с недолговечностью защитного слоя обмотки. Недостаточная прочность конструкции вызвана значительным преобладанием продольного размера датчика над поперечным при малой (до долей мм) величине последнего. Увеличение толщины защитного слоя при заданном наружном диаметре, который лимитируется диаметром контролируемого отверстия, потребует дополнительного уменьшения диаметра каркаса и, следовательно, ухудшит прочностные характеристики датчика.
Особенно остро эта проблема стоит при испытаниях металлизации отверстий печатных плат: с одной стороны, малые размеры (до 0,5 мм) диаметра датчика, а с другой, многократные механические воздействия в процессе контроля.
В основу изобретения положена задача повышения прочности датчика и предотвращение механических повреждений обмотки без увеличения поперечного размера датчика.
Для этого в вихретоковом датчике для неразрушающего контроля отверстий и трубок, содержащем осесимметричный вытянутый вдоль оси симметрии каркас и расположенную на боковой поверхности каркаса обмотку, выполненную в виде вытянутой вдоль оси каркаса спирали, заканчивающейся внешними выводами, каркас выполнен полым с отношением наружного D и внутреннего d поперечного размеров в интервале 1,4 < D/d < 1,6, а обмотка расположена на внутренней поверхности каркаса.
Благодаря такому выполнению каркаса площадь его поперечного сечения при D/d 1,4 практически равна площади поперечного сечения сплошного стержня того же диаметра d, но вследствие трубчатого вида каркаса его прочность при том же сечении выше прочности сплошного стержня. Размещение обмотки внутри каркаса одновременно позволяет надежно защитить обмотку от механических повреждений в процессе эксплуатации. Кроме того, размещение обмотки внутри каркаса позволяет отказаться от защитного слоя и тем самым без увеличения наружного диаметра повысить прочность за счет некоторого увеличения толщины стенки каркаса. Однако при значительном увеличении толщины стенки снижается чувствительность датчика. Проведенные исследования показали, что при отношении D/d 1,6 даже при выполнении каркаса металлическим наведенные в нем вихревые токи практически не снижают чувствительности датчика. Кроме того, дальнейшее уменьшение внутреннего поперечного размера каркаса вызывает значительные сложности в формировании обмотки, учитывая малые абсолютные размеры датчика.
Известны проходные датчики, в которых обмотка расположена на внутренней поверхности цилиндра. Однако датчики такого типа предполагают введение объекта контроля внутрь цилиндра, и их конструкция в этом отношении предопределена исключительно видом объекта контроля. Проблема механической прочности в таких случаях практически не возникает и при необходимости может быть легко решена простым увеличением толщины стенок каркаса. Точно так же не возникает в этом случае и проблемы уменьшения чувствительности в связи с увеличением толщины стенок.
Таким образом, известные проходные датчики не связаны с решением поставленной технической задачи.
В предлагаемом изобретении при выполнении обмотки с контактными площадками, к которым подсоединены внешние выводы, может быть целесообразным подсоединение внешних выводов с наружной стороны каркаса, для чего в каркасе в месте расположения контактных площадок выполнены отверстия.
Целесообразно также заполнение внутренней полости каркаса магнитопроводящим материалом.
Целесообразно также выполнение, при котором внутри каркаса расположен центральный стержень с суживающейся заглушкой на торце.
В последнем случае может быть целесообразной конструкция, при которой часть центрального стержня, расположенная в держателе, выполнена винтообразной и залита отверждающимся материалом.
При наличии держателя, с одного торца которого расположен каркас с обмоткой, может быть целесообразно выполнение, при котором каркас выполнен выступающим за другой торец держателя, на выступающей части каркаса выполнены разрезы, образующие лепестки, которые отогнуты и закреплены на торце держателя.
Способ изготовления вихретокового датчика для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок заключается в том, что обмотку формируют на диэлектрической эластичной подложке и последнюю устанавливают на каркас, при этом сначала изготавливают плоскую развертку каркаса, а заданную форму каркасу придают вместе с подложкой и обмоткой.
На фиг. 1 показан датчик, продольный разрез; на фиг. 2 то же, вариант с установкой центрального стержня; на фиг. 3 вариант выполнения датчика с каркасом, выступающим за торец держателя, продольный разрез; на фиг. 4 вид А на фиг. 3; на фиг. 5 этап изготовления датчика перед формированием каркаса.
Одной из наиболее серьезных проблем является контроль металлизации отверстий печатных пласт, поэтому в качестве примера рассмотрим именно этот случай.
Вихретоковый датчик содержит каркас 1, выполненный в виде полой трубки с наружным диаметром D, соответствующим диаметру контролируемых отверстий, например D 0,8 мм. Внутренний диаметр d каркаса 1 выбран исходя из отношения 1,4 < D < d < 1,6. При D 0,8 мм d 0,5-0,57 мм. При меньших значениях D лучше брать отношение ближе к верхнему пределу, при больших к нижнему. Проведенные испытания датчика на изгиб в указанном интервале отношений D/d показали его большую по сравнению с датчиком-прототипом механическую прочность для тех же диаметров отверстий печатных плат. При этом чувствительность датчика сохраняется на требуемом уровне несмотря на выполнение каркаса из стали.
На внутренней боковой поверхности каркаса 1 расположена диэлектрическая эластичная подложка 2 с нанесенной на нее обмоткой 3 в виде вытянутой вдоль оси каркаса 1 спирали. Подложка 2 и соответственно обмотка 3 могут быть одно- или многослойными с симметрично расположенными секциями, как и в прототипе. Внешние выводы 4 обмотки 3 могут быть сформированы на подложке 2 одновременно с нанесением проводников обмотки 3 либо подсоединены к контактным площадкам 5 (фиг. 1) после нанесения проводников обмотки 3. Каркас 1 закреплен в держателе 6. Наружная поверхность держателя 6, обращенная к каркасу 1 с обмоткой 3, выполнена конической, обеспечивая тем самым центровку датчика относительно контролируемого отверстия. В торце каркаса 1 установлена заглушка 7 в виде полусферы или конуса с закругленной вершиной. Внутренняя полость каркаса 1 может быть заполнена магнитопроводящим материалом, например ферромагнитными частицами, распределенными в быстроотверждающемся связующем.
Внутри каркаса 1 с обмоткой 3 может быть установлен центральный стержень 8 с конической заглушкой 7 (фиг. 2). При этом часть центрального стержня 8, расположенная в держателе 6, может быть выполнена винтообразной (не показано) типа штопора, что технологически достаточно просто, учитывая малый диаметр стержня 8. Винтообразный конец стержня 8 залит отверждающимся материалом. Такая конструкция позволяет усилить крепление каркаса 1 в держателе 6.
Возможно выполнение, при котором внешние выводы 4 подсоединены к контактным площадкам 5 с наружной стороны каркаса 1 (фиг. 2). В этом случае в каркасе 1 в месте расположения контактных площадок 5 выполнены отверстия 9. Отверстия 9 могут быть металлизированы и в этом случае электрически связаны с контактными площадками 5. При электропроводящем каркасе 1 между ним и слоем металлизации расположен слой диэлектрика, диаметр которого для обеспечения надежной электроизоляции несколько больше диаметра слоя металлизации.
Выходные (входные) клеммы 10 датчика, как правило, расположены на торце держателя 6. При этом возможно выполнение, показанное на фиг. 3. Каркас 1 выполнен выступающим за торец держателя 6, причем на выступающей части каркаса 1 выполнены разрезы, образующие лепестки 11. Так как по соображениям механической прочности каркас 1 выполнен стальным, диэлектрическая эластичная подложка 2 расположена также на выступающей части каркаса 1 для обеспечения электроизоляции внешних выводов 4 от каркаса 1. Лепестки 11 отогнуты и закреплены на торце держателя 6. Лепестки 11 с расположенными на них внешними выводами 4 подведены под выходные (входные) клеммы 10. Клеммы 10 могут быть утоплены в торце держателя 6.
Предлагаемый датчик изготавливают следующим образом.
Берут плоскую заготовку каркаса 1, представляющую собой развертку каркаса 1 соответствующих размеров: высота этой развертки равна высоте каркаса 1, а ширина его периметру. Отдельно на диэлектрической эластичной подложке 2 любым известным способом, например напылением через маски, формируют обмотку 3. В случае многослойной обмотки 3 после нанесения одного слоя проводников обмотки его покрывают слоем диэлектрика, затем наносят аналогичным образом проводники другого слоя и т.д. Необходимые электрические соединения между проводниками слоев производят через предварительно выполненные отверстия в слоях диэлектрика путем металлизации этих отверстий. Эластичную подложку 2 с обмоткой 3 накладывают на плоскую развертку каркаса 1, после чего сворачивают в трубку заданного диаметра.
Возможно формирование обмотки 3 непосредственно на плоской развертке каркаса 1 методом фотолитографии или лучом лазера. В этом случае предварительно металлизируют поверхность каркаса 1. Если каркас 1 выполнен из стальной фольги, то перед металлизацией его поверхность покрывают слоем диэлектрика. После создания обмотки 3 плоскую развертку каркаса 1 сворачивают в трубку.
Внешние выводы 4 могут быть выполнены одновременно с формированием проводников обмотки 3, либо подсоединены к контактным площадкам до придания каркасу 1 нужной формы, либо подсодинены с наружной стороны уже цилиндрического каркаса 1. Полученный чувствительный элемент датчика закрепляют в держателе, выполняют выходные клеммы.
Вихретоковый датчик работает следующим образом.
Обмотку 3 датчика включают, например, в резонансный контур автогенератора или в плечо моста, одна диагональ которого подсоединена к генератору, а другая к измерительному прибору, блоку (схемы включения не показаны). Датчик вводят в отверстие печатной платы, устанавливают благодаря конической части держателя соосно с контролируемым отверстием.
Проходящий через обмотку 3 датчика переменный ток создает переменный магнитный поток поперечно продольной оси датчика. Этот магнитный поток возбуждает вихревые токи в металлическом покрытии отверстия печатной платы. Соответствующим подбором частоты питания обмотки можно отстроиться от влияния ряда мешающих факторов (контактных площадок контролируемого отверстия и др. ). Вихревые токи будут зависеть от толщины покрытия отверстия, наличия поперечных и продольных трещин и других дефектов. Соответственно, результирующее магнитное поле и наведенная им ЭДС будут зависеть от тех же факторов.
Таким образом, предлагаемый датчик имеет большую механическую прочность, чем датчик-прототип, при том же наружном диаметре и позволяет совместить в одном элементе каркасе функции несущей конструкции и функции защиты обмотки от механических повреждений.
Изобретение может быть использовано во всех областях техники, связанных с изготовлением и применением печатных плат для неразрушающего контроля качества металлизации отверстий, для измерения геометрических параметров отверстий в металлических листах, прокатных профилях, для обнаружения нарушений сплошности в стенках отверстий и труб, для контроля свойств электропроводящего материала стенок отверстий (удельного электрического сопротивления, магнитных свойств), для определения качества обработки стенок отверстий, например для проверки правильности режимов термической и термохимической обработки, зон перегрева при механической обработке и т.д.

Claims (7)

1. Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок, содержащий осесимметричный вытянутый вдоль оси симметрии каркас и расположенную на боковой поверхности каркаса обмотку, выполненную в виде вытянутой вдоль оси каркаса спирали, заканчивающейся внешними выводами, отличающийся тем, что каркас выполнен полым с отношением наружного D и внутреннего d поперечных размеров в интервале 1,4<D/d<1,6, а обмотка расположена на внутренней поверхности каркаса.
2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что при выполнении обмотки с контактными площадками, к которым подсоединены внешние выводы обмотки, в каркасе в месте расположения контактных площадок выполнены отверстия, а внешние выводы подсоединены к контактным площадкам с наружной стороны каркаса.
3. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что внутренняя полость каркаса с обмоткой заполнена магнитопроводящим материалом.
4. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что внутри каркаса установлен центральный стержень с суживающейся заглушкой на торце.
5. Датчик по п. 4, отличающийся тем, что часть центрального стержня, расположенная в держателе, выполнена винтообразной и залита отверждающимся материалом.
6. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что при наличии держателя,с одного торца которого расположен каркас с обмоткой, каркас выполнен выступающим за другой торец держателя, на выступающей части каркаса выполнены разрезы, образующие лепестки, а указанные лепестки отогнуты и закреплены на торце держателя.
7. Способ изготовления вихретокового датчика для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок, включающий формирование обмотки на эластичной диэлектрической подложке и установку эластичной подложки с обмоткой на каркас, отличающийся тем, что изготавливают плоскую развертку каркаса, а заданную форму каркасу придают вместе с эластичной диэлектрической подложкой и сформированной на ней обмоткой.
RU9393025817A 1993-04-29 1993-04-29 Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления RU2040788C1 (ru)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU9393025817A RU2040788C1 (ru) 1993-04-29 1993-04-29 Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления
US08/356,317 US5600240A (en) 1993-04-29 1994-04-28 Structure for a cylindrical eddy-current probe having a hollow body containing an elastic substrate with axially aligned sensor coils
PCT/RU1994/000095 WO1994025866A1 (en) 1993-04-29 1994-04-28 Eddy current sensor for the non-destructive monitoring of metallization of apertures and pipes, and a process for producing the said sensor
EP94914645A EP0657735B1 (en) 1993-04-29 1994-04-28 Eddy current probe for non-destructive testing within holes in workpieces or within pipes
DE69411686T DE69411686T2 (de) 1993-04-29 1994-04-28 Wirbelstromsensor für zerstörungsfreie prüfung innerhalb von öffnungen in arbeitsstücken oder innerhalb von rohren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU9393025817A RU2040788C1 (ru) 1993-04-29 1993-04-29 Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2040788C1 true RU2040788C1 (ru) 1995-07-25
RU93025817A RU93025817A (ru) 1996-12-20

Family

ID=20141282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU9393025817A RU2040788C1 (ru) 1993-04-29 1993-04-29 Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5600240A (ru)
EP (1) EP0657735B1 (ru)
DE (1) DE69411686T2 (ru)
RU (1) RU2040788C1 (ru)
WO (1) WO1994025866A1 (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2460069C2 (ru) * 2007-04-27 2012-08-27 Снекма Устройство для контроля прямолинейных полостей вихревыми токами
RU2462706C2 (ru) * 2007-05-29 2012-09-27 Снекма Устройство неразрушающего контроля токами фуко отверстия, выполненного в токопроводящей детали

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0943322A (ja) * 1995-08-02 1997-02-14 Eipurasu:Kk 微弱磁気センサー及びその製造方法
US6270686B1 (en) 1995-12-27 2001-08-07 Ap One System Co., Ltd. Method of making a weak-field magnetic field sensor having etched circuit coils
FR2761155B1 (fr) * 1997-03-20 1999-06-04 Centre Nat Rech Scient Detecteur de defauts au voisinage d'un alesage
US6114849A (en) * 1998-04-17 2000-09-05 United Western Technologies Corp. Flexible eddy current test probe
US6175234B1 (en) 1998-09-17 2001-01-16 General Electric Company Self-aligning eddy current probe holder
US6479989B2 (en) 1999-10-13 2002-11-12 Albert Rudolph Taylor Eddy current probe with an adjustable bisected sensing end
US6894492B1 (en) * 2001-12-07 2005-05-17 General Electric Company Self-aligning probe and its use
US7513159B2 (en) * 2004-05-17 2009-04-07 Jtekt Corporation Shaft Coupling Monitoring Apparatus
JP4599889B2 (ja) * 2004-05-17 2010-12-15 株式会社ジェイテクト 軸継手監視装置
US7256576B2 (en) * 2005-07-29 2007-08-14 General Electric Company ID-OD discrimination sensor
US7295004B2 (en) * 2006-03-03 2007-11-13 Gary Kroner Eddy current probe and method of manufacture thereof
DE102007009994A1 (de) * 2007-03-01 2008-09-04 Robert Bosch Gmbh Induktiver Sensor
US20090160437A1 (en) * 2007-12-21 2009-06-25 Carbon Steel Inspection, Inc. Eddy Current Probe And Method Of Manufacture Thereof

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3035353A (en) * 1960-06-08 1962-05-22 William E Hovemeyer Interlinking flux electromagnetic gauge
US3504276A (en) * 1967-04-19 1970-03-31 American Mach & Foundry Printed circuit coils for use in magnetic flux leakage flow detection
US3723861A (en) * 1970-09-28 1973-03-27 E Samples An eddy current test probe using an oscillator mounted in a digitally manipulatable housing
US3840802A (en) * 1972-08-10 1974-10-08 Rockwell International Corp Mutual inductance coupling probe for testing the integrity of through-hole plating in printed circuit boards
US3940689A (en) * 1974-05-14 1976-02-24 Schlumberger Technology Corporation Combined eddy current and leakage field detector for well bore piping using a unique magnetizer core structure
DE2426270C3 (de) * 1974-05-29 1978-04-27 Institut Dr. Friedrich Foerster Pruefgeraetebau, 7410 Reutlingen WirbelstromprUfspulenanordnung
GB1567600A (en) * 1975-10-15 1980-05-21 British Gas Corp Lipe line inspection equipment
US4072895A (en) * 1976-01-27 1978-02-07 Rogachev Viktor Igorevich Eddy current converter for non-destructive testing of electrically conducting coating in holes of printed circuit boards
SU741140A1 (ru) * 1978-07-03 1980-06-15 Предприятие П/Я А-7555 Вихретоковый преобразователь дл контрол печатных плат
US4303884A (en) * 1978-10-19 1981-12-01 Westinghouse Electric Corp. Inflatable eddy current inspection probe for inspection of tubular means
US4292589A (en) * 1979-05-09 1981-09-29 Schlumberger Technology Corporation Eddy current method and apparatus for inspecting ferromagnetic tubular members
SU987508A1 (ru) * 1980-07-31 1983-01-07 Московский Ордена Ленина И Ордена Октябрьской Революции Энергетический Институт Вихретоковый датчик дл неразрушающих испытаний и способ его изготовлени
US4480225A (en) * 1982-02-11 1984-10-30 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Improved multi-directional eddy current inspection test apparatus for detecting flaws in metal articles
US5023549A (en) * 1989-03-07 1991-06-11 Electric Power Research Institute, Inc. Eddy current probe with sensor supporting expandable elastic membrane for inspecting hollow cylindrical structures

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Патент США N 4072895, кл. G 01R 33/12, 1978. *
2. Неразрушающие испытания. Справочник. Под ред. Р.Мак-Мастера. Перев. с англ. М. : Энергия, 1965, ч.II. *
3. Патент ФРГ N 3050497, кл. G 01N 27/90, 1982. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2460069C2 (ru) * 2007-04-27 2012-08-27 Снекма Устройство для контроля прямолинейных полостей вихревыми токами
RU2462706C2 (ru) * 2007-05-29 2012-09-27 Снекма Устройство неразрушающего контроля токами фуко отверстия, выполненного в токопроводящей детали

Also Published As

Publication number Publication date
WO1994025866A1 (en) 1994-11-10
DE69411686T2 (de) 1999-03-18
EP0657735A4 (en) 1995-07-19
EP0657735B1 (en) 1998-07-15
US5600240A (en) 1997-02-04
DE69411686D1 (de) 1998-08-20
EP0657735A1 (en) 1995-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2040788C1 (ru) Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления
US4866573A (en) Surface mounted coil
KR20110120316A (ko) 마그네토 임피던스 센서 소자 및 그 제조 방법
US4621231A (en) Toroidal sensor coil and method
TWI259284B (en) Magnet, impedance and sensor device having electromagnetic coil
DE102006025194A1 (de) Induktiver Leitfähigkeitssensor
KR102640694B1 (ko) 가요성 자기 코어를 포함하는 개방형 변류기
RU93025817A (ru) Вихретоковый датчик для неразрушающего контроля металлизации отверстий и трубок и способ его изготовления
JPH09214227A (ja) チップアンテナ
US9347800B2 (en) Sensor and sensor element
JPH07198755A (ja) アースされた金属ケーシングを有する電気設備において利用可能なロゴスキー・コイルとこの種のコイルの製造方法
SU987508A1 (ru) Вихретоковый датчик дл неразрушающих испытаний и способ его изготовлени
JPH0933488A (ja) 渦流探傷用プローブおよびその製造法
JP3122851B2 (ja) 線形位置移動式トランスデューサ
JPH10335152A (ja) 表面実装型インダクタ及びその製造方法
JPH08330142A (ja) 溝付きコアを有する表面実装電子部材とその製造方法
US20030085790A1 (en) Inductive micro-sensor formed flat on an integrated circuit
CA1269711A (en) Measurement of non-metallic material molded body
JP2002531853A (ja) 電気的測定コンポーネントおよびその使用法
SU700830A1 (ru) Токовихревой накладной преобразователь
KR200279789Y1 (ko) 쵸크 코일
JPH05267062A (ja) チツプ型hf磁気コイル装置およびその製造方法
JPH07139991A (ja) 荷重検出装置
JPH0945535A (ja) チップコイル
RU2071052C1 (ru) Вихретоковый преобразователь