RU2029283C1 - Микрозонд - Google Patents
Микрозонд Download PDFInfo
- Publication number
- RU2029283C1 RU2029283C1 SU5025043A RU2029283C1 RU 2029283 C1 RU2029283 C1 RU 2029283C1 SU 5025043 A SU5025043 A SU 5025043A RU 2029283 C1 RU2029283 C1 RU 2029283C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- rod
- indenter
- processing unit
- measuring
- microprobe
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
Использование: изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для определения микромеханических и эксплуатационных свойств поверхности готовых изделий. Сущность изобретения: микрозонд выполнен из измерительной головки и электронного блока управления и обработки данных. Измерительная головка содержит индентор, систему нагружения и царапания, измерительные датчики, соединенные с электронным блоком управления и обработки данных. Технический результат: возможность измерения микромеханических и эксплуатационных свойств готовых изделий неразрушающим способом, автоматизация испытаний, расширение функциональных возможностей микрозонда за счет визуального наблюдения самого процесса вдавливания и царапания. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Description
Изобретение относится к испытательной технике, а более точно касается устройств по определению микромеханических и эксплуатационных свойств поверхности материалов без ее разрушения.
Известен микрозонд, использующий метод вдавливания при оценке конструктивной целостности структур, содержащий головку, перемещающуюся в Х-Y направлениях в плоскости, параллельной поверхности структуры; зажим для съемного жесткого соединения головки с поверхностью структуры; приспособление, соединенное с головкой и зажимом для создания нагрузки; тензодатчик, установленный на головке, держатель индектора, индентор, датчик смещений, блок сбора данных.
Недостатком данного микрозонда является: невозможность проведения испытаний на готовой детали без ее разрушения; отсутствие процесса царапания и как следствие отсутствие информации о микромеханических и эксплуатационных свойствах изделия и его обрабатываемости.
Известен оптико-акустический микротвердомер состоящий из магнитострикционного стержня, размещенного в отверстии призмы полного внутреннего отражения и в отверстии длиннофокусного зеркально-линзового объектива.
В данном микротвердомере использовано оптическое наблюдение места вдавливания на поверхности материала, а величину микротвердости определяют по затуханию акустических колебаний штока с индентором, вершина которого совмещена с фокальной плоскостью объектива.
К недостаткам известного микротвердомера можно отнести: невозможность проведения испытаний на готовой детали; отсутствие процесса царапания и, следовательно, отсутствует информация об эксплуатационных свойствах изделия и его обрабатываемости.
В основу изобретения поставлена задача создания устройства с оптическим наблюдением поведения материала непосредственно в процессе вдавливания и царапания с одновременным автоматическим съемом сигналов с последующей обработкой для определения микромеханических и эксплуатационных свойств этих материалов, а также автоматизации процесса испытаний.
Поставленная задача решается тем, что предлагаемый микрозонд содержит центральный полый шток, который жестко закреплен на упругих пластинах, благодаря чему обеспечивается строгая вертикальность перемещения штока и связанного с ним индентора, что дает возможность получения отпечатков и царапин правильной формы. Внутри штока размещен волоконно-оптический световод, к фронтальной линзе которого прикреплен индентор так, что его вершина находится в фокальной плоскости объектива световода, для получения резкого изображения поверхности детали. Индентор соединен токосъемником с электронным блоком, позволяющим получать информацию об электрических явлениях, происходящих при царапании. Глубина внедрения индентора в поверхность материала определяется оптопарой с открытым оптическим каналом, что исключает влияние измерительного усилия датчика на величину вертикальной нагрузки. Оптопара расположена в нижней части измерительной головки, а ее излучение контактирует с поверхностью контролируемой детали. Верхняя часть измерительной головки может перемещаться относительно нижней с помощью микровинта и на ней закреплена бинокулярная насадка, в одном из оптических каналов которой находится фотоприемник, что позволяет регистрировать площадь контакта индентора с изделием, что расширяет функциональные возможности устройства. Сигналы с измерительных датчиков, установленных в измерительной головке, поступают в электронный блок обработки; предусмотрена также запись сигнала на дискету для последующей их обработки на компьютере.
На чертеже представлена принципиальная схема микрозонда.
Устройство состоит из измерительной головки и электронного блока управления и обработки данных. Измерительная головка содержит корпус 1, центральный полый шток 2, на нижней части которого закреплены плоскопараллельные внутренние 3 и наружные 4 пластины для горизонтального перемещения индентора.
Внутри центрального штока расположен волоконнооптический световод 5, к фронтальной линзе которого прикреплен индентор 6, соединенный с токосъемником 7. К штоку через изолятор прикреплен пъезоэлемент 8 из биморфного пъезоматериала, а на наружных 4 и внутренних 3 пластинах приклеены интегральные тензопреобразователи 9 и 10. Центральный шток жестко защемлен между упругими пластинами 11 с наклеенным на них датчиком 12 вертикальной нагрузки.
Внутри корпуса размещен электромагнит 13 и упругие пластины 14, на которых закреплен якорь 15. На нижнем конце упругих пластин 3 и 4 установлена оптопара 16 с открытым оптическим каналом и бинокулярная насадка 17 с фотоприемником 18. Верхняя часть измерительной головки для фокусировки резкости может перемещаться относительно нижней с помощью микровинта 19, и вся она в целом соединена шиной с электронным блоком управления и обработки данных, который состоит из измерительных мостов с усилителями 20, системы 21 автоматики, вычислительного устройства 22, контрольно-регистрирующего блока 23, аналого-цифрового преобразователя 24 и дисковода 25.
Работа микрозонда осуществляется следующим образом.
Измерительная головка микрозонда жестко закрепляется на поверхности контролируемой детали и с помощью микровинта 19 фокусируют объектив волоконно-оптического световода 5 на поверхность изделия и выбирают место испытаний и этим же микровинтом подводят индентор 6 до касания с поверхностью детали. Момент контакта регистрируется датчиком вертикальной нагрузки 12, после этого оптопару 16 с открытым оптическим каналом устанавливают в нулевое положение и балансируют фотоприемник 18.
Затем прикладывают основную испытательную нагрузку путем подачи на электромагнит 13 с системы автоматики 21 линейно развертывающегося во времени напряжения до заданной величины, вертикальной нагрузки, которая регистрируется датчиком 12. Сигналы с датчиков вертикальной нагрузки, глубина отпечатка (оптопара) 16 или площади контакта (фотоприемник) 18 поступают через измерительные мосты с усилителями 20 на вычислительное устройство 22 и контрольно-регистрирующий блок 23. Одновременно с этим те же сигналы через аналого-цифровой преобразователь 24 могут быть записаны на дискету дисководом 25 с целью дальнейшей расширенной обработки на компьютере.
При царапании поверхности детали на пьезоэлемент 8 с системой 21 автоматики подается линейно развертывающееся во времени напряжение, что приводит к прогибу пьезопластины и жестко с ней связанных наружных плоскопараллельных пластин 4 с наклеенным на них интегральным тензопреобразователем 10.
Перемещение наружных пластин 4 приводит к горизонтальному смещению внутренних пластин 3 с наклеенным на них интегральным тензопреобразователем 9, определяющим величину горизонтальной силы и, следовательно, индентор царапает поверхность детали. Сигналы с интегральных тензопреобразователей 9 и 10 поступают в электронные блоки 20, 22 и 23 либо через аналого-цифровой преобразователь 24 для записи на дискету. Все операции могут выполняться в автоматическом режиме.
Изобретение может применяться при автоматизированном контроле и определении микромеханических и эксплуатационных свойств готовых изделий в металлообрабатывающей, машиностроительной, металлургической и электронной промышленности.
Claims (2)
1. МИКРОЗОНД, содержащий корпус, размещенные в корпусе нагружатель и соосные стержень, индентор и средства оптической регистрации площади контакта и блок обработки данных с датчиками измерения усилий и размеров отпечатка, при этом вершина индентора совмещена с фокусом средства оптической регистрации, отличающийся тем, что он снабжен двумя коаксиально установленными и охватывающими стержень стаканами с размещенными на боковой поверхности каждого стакана тензопреобразователями, пьезоэлементом, размещенным на наружной поверхности внешнего стакана, и оптопарой с открытым оптическим каналом, обращенным в сторону испытуемого изделия, стержень выполнен полым, а средство оптической регистрации - в виде волоконно-оптического световода, установленного в полости стержня коаксиально ему.
2. Микрозонд по п.1, отличающийся тем, что он содержит бинокулярную насадку с фотоприемником, выход которой связан с входом блока обработки данных.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5025043 RU2029283C1 (ru) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | Микрозонд |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU5025043 RU2029283C1 (ru) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | Микрозонд |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2029283C1 true RU2029283C1 (ru) | 1995-02-20 |
Family
ID=21595761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU5025043 RU2029283C1 (ru) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | Микрозонд |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2029283C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2738201C1 (ru) * | 2020-06-03 | 2020-12-09 | Общество с ограниченной ответственностью "ОМИКОН Текнолоджис" | Портативный микротвердомер |
-
1992
- 1992-02-26 RU SU5025043 patent/RU2029283C1/ru active
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР N 1612239, кл. G 01N 3/42, 1990. * |
Булычев С.И. и Алехин В.П. Испытание материалов непрерывным вдавливанием индентора. М.: Машиностроение, 1990, с.223. * |
Патент США N 4852397, кл. G 01N 3/42, 1989. Григорович В.К. Твердость и микротвердость металлов. М.: Наука, 1976, с.230. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2738201C1 (ru) * | 2020-06-03 | 2020-12-09 | Общество с ограниченной ответственностью "ОМИКОН Текнолоджис" | Портативный микротвердомер |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4699000A (en) | Automated device for determining and evaluating the mechanical properties of materials | |
US5616857A (en) | Penetration hardness tester | |
JP4233756B2 (ja) | フィルム又はコーティングの表面損傷抵抗を測定する試験装置および方法 | |
EP3658868B1 (en) | Apparatus and method for performing an impact excitation technique | |
WO2021179609A1 (zh) | 植物微观力学检测装置及其检测方法 | |
US11781956B2 (en) | Observable micro-nano mechanical testing apparatus and method | |
Read | Piezo-actuated microtensile test apparatus | |
SU1227978A1 (ru) | Устройство дл определени динамических характеристик эластичных материалов | |
US5355721A (en) | Method and apparatus for measuring depth and hardness | |
CN104849351A (zh) | 一种基于非接触空气耦合的表面声阻抗检测方法及系统 | |
RU2029283C1 (ru) | Микрозонд | |
WO1995023990A1 (en) | Method and apparatus for controlling the contact of optical fibers | |
EP0616694A1 (en) | Fiber optic polarization maintaining fused coupler fabricating apparatus | |
US4662228A (en) | Automated interfacial testing system | |
JP2526592B2 (ja) | 微小材料試験装置 | |
JP2001264373A (ja) | 圧電薄膜の圧電定数測定装置および測定方法 | |
JPH0954027A (ja) | 2軸載荷試験装置 | |
JP3670777B2 (ja) | カンチレバーの評価装置 | |
JP2742640B2 (ja) | 亀裂進展寸法の自動計測装置 | |
Daniel et al. | A scanning electron microscope based microindentation system | |
RU58708U1 (ru) | Устройство для микромеханических испытаний | |
SU579541A1 (ru) | Устройство дл определени относительного изменени диаметра образца | |
NL8520161A (nl) | Werkwijze voor het bepalen van de krachtkarakteristiek van een inrichting voor het magnetisch vasthouden van werkstukken. | |
JPH0625720B2 (ja) | 超微小硬度計 | |
SU452768A1 (ru) | Устройство дл испытаний волокон и нитей на ударное раст жение |