RU2029283C1 - Микрозонд - Google Patents

Микрозонд Download PDF

Info

Publication number
RU2029283C1
RU2029283C1 SU5025043A RU2029283C1 RU 2029283 C1 RU2029283 C1 RU 2029283C1 SU 5025043 A SU5025043 A SU 5025043A RU 2029283 C1 RU2029283 C1 RU 2029283C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
rod
indenter
processing unit
measuring
microprobe
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Г.Н. Калей
В.Г. Напалков
Original Assignee
Калей Геннадий Николаевич
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Калей Геннадий Николаевич filed Critical Калей Геннадий Николаевич
Priority to SU5025043 priority Critical patent/RU2029283C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2029283C1 publication Critical patent/RU2029283C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

Использование: изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для определения микромеханических и эксплуатационных свойств поверхности готовых изделий. Сущность изобретения: микрозонд выполнен из измерительной головки и электронного блока управления и обработки данных. Измерительная головка содержит индентор, систему нагружения и царапания, измерительные датчики, соединенные с электронным блоком управления и обработки данных. Технический результат: возможность измерения микромеханических и эксплуатационных свойств готовых изделий неразрушающим способом, автоматизация испытаний, расширение функциональных возможностей микрозонда за счет визуального наблюдения самого процесса вдавливания и царапания. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к испытательной технике, а более точно касается устройств по определению микромеханических и эксплуатационных свойств поверхности материалов без ее разрушения.
Известен микрозонд, использующий метод вдавливания при оценке конструктивной целостности структур, содержащий головку, перемещающуюся в Х-Y направлениях в плоскости, параллельной поверхности структуры; зажим для съемного жесткого соединения головки с поверхностью структуры; приспособление, соединенное с головкой и зажимом для создания нагрузки; тензодатчик, установленный на головке, держатель индектора, индентор, датчик смещений, блок сбора данных.
Недостатком данного микрозонда является: невозможность проведения испытаний на готовой детали без ее разрушения; отсутствие процесса царапания и как следствие отсутствие информации о микромеханических и эксплуатационных свойствах изделия и его обрабатываемости.
Известен оптико-акустический микротвердомер состоящий из магнитострикционного стержня, размещенного в отверстии призмы полного внутреннего отражения и в отверстии длиннофокусного зеркально-линзового объектива.
В данном микротвердомере использовано оптическое наблюдение места вдавливания на поверхности материала, а величину микротвердости определяют по затуханию акустических колебаний штока с индентором, вершина которого совмещена с фокальной плоскостью объектива.
К недостаткам известного микротвердомера можно отнести: невозможность проведения испытаний на готовой детали; отсутствие процесса царапания и, следовательно, отсутствует информация об эксплуатационных свойствах изделия и его обрабатываемости.
В основу изобретения поставлена задача создания устройства с оптическим наблюдением поведения материала непосредственно в процессе вдавливания и царапания с одновременным автоматическим съемом сигналов с последующей обработкой для определения микромеханических и эксплуатационных свойств этих материалов, а также автоматизации процесса испытаний.
Поставленная задача решается тем, что предлагаемый микрозонд содержит центральный полый шток, который жестко закреплен на упругих пластинах, благодаря чему обеспечивается строгая вертикальность перемещения штока и связанного с ним индентора, что дает возможность получения отпечатков и царапин правильной формы. Внутри штока размещен волоконно-оптический световод, к фронтальной линзе которого прикреплен индентор так, что его вершина находится в фокальной плоскости объектива световода, для получения резкого изображения поверхности детали. Индентор соединен токосъемником с электронным блоком, позволяющим получать информацию об электрических явлениях, происходящих при царапании. Глубина внедрения индентора в поверхность материала определяется оптопарой с открытым оптическим каналом, что исключает влияние измерительного усилия датчика на величину вертикальной нагрузки. Оптопара расположена в нижней части измерительной головки, а ее излучение контактирует с поверхностью контролируемой детали. Верхняя часть измерительной головки может перемещаться относительно нижней с помощью микровинта и на ней закреплена бинокулярная насадка, в одном из оптических каналов которой находится фотоприемник, что позволяет регистрировать площадь контакта индентора с изделием, что расширяет функциональные возможности устройства. Сигналы с измерительных датчиков, установленных в измерительной головке, поступают в электронный блок обработки; предусмотрена также запись сигнала на дискету для последующей их обработки на компьютере.
На чертеже представлена принципиальная схема микрозонда.
Устройство состоит из измерительной головки и электронного блока управления и обработки данных. Измерительная головка содержит корпус 1, центральный полый шток 2, на нижней части которого закреплены плоскопараллельные внутренние 3 и наружные 4 пластины для горизонтального перемещения индентора.
Внутри центрального штока расположен волоконнооптический световод 5, к фронтальной линзе которого прикреплен индентор 6, соединенный с токосъемником 7. К штоку через изолятор прикреплен пъезоэлемент 8 из биморфного пъезоматериала, а на наружных 4 и внутренних 3 пластинах приклеены интегральные тензопреобразователи 9 и 10. Центральный шток жестко защемлен между упругими пластинами 11 с наклеенным на них датчиком 12 вертикальной нагрузки.
Внутри корпуса размещен электромагнит 13 и упругие пластины 14, на которых закреплен якорь 15. На нижнем конце упругих пластин 3 и 4 установлена оптопара 16 с открытым оптическим каналом и бинокулярная насадка 17 с фотоприемником 18. Верхняя часть измерительной головки для фокусировки резкости может перемещаться относительно нижней с помощью микровинта 19, и вся она в целом соединена шиной с электронным блоком управления и обработки данных, который состоит из измерительных мостов с усилителями 20, системы 21 автоматики, вычислительного устройства 22, контрольно-регистрирующего блока 23, аналого-цифрового преобразователя 24 и дисковода 25.
Работа микрозонда осуществляется следующим образом.
Измерительная головка микрозонда жестко закрепляется на поверхности контролируемой детали и с помощью микровинта 19 фокусируют объектив волоконно-оптического световода 5 на поверхность изделия и выбирают место испытаний и этим же микровинтом подводят индентор 6 до касания с поверхностью детали. Момент контакта регистрируется датчиком вертикальной нагрузки 12, после этого оптопару 16 с открытым оптическим каналом устанавливают в нулевое положение и балансируют фотоприемник 18.
Затем прикладывают основную испытательную нагрузку путем подачи на электромагнит 13 с системы автоматики 21 линейно развертывающегося во времени напряжения до заданной величины, вертикальной нагрузки, которая регистрируется датчиком 12. Сигналы с датчиков вертикальной нагрузки, глубина отпечатка (оптопара) 16 или площади контакта (фотоприемник) 18 поступают через измерительные мосты с усилителями 20 на вычислительное устройство 22 и контрольно-регистрирующий блок 23. Одновременно с этим те же сигналы через аналого-цифровой преобразователь 24 могут быть записаны на дискету дисководом 25 с целью дальнейшей расширенной обработки на компьютере.
При царапании поверхности детали на пьезоэлемент 8 с системой 21 автоматики подается линейно развертывающееся во времени напряжение, что приводит к прогибу пьезопластины и жестко с ней связанных наружных плоскопараллельных пластин 4 с наклеенным на них интегральным тензопреобразователем 10.
Перемещение наружных пластин 4 приводит к горизонтальному смещению внутренних пластин 3 с наклеенным на них интегральным тензопреобразователем 9, определяющим величину горизонтальной силы и, следовательно, индентор царапает поверхность детали. Сигналы с интегральных тензопреобразователей 9 и 10 поступают в электронные блоки 20, 22 и 23 либо через аналого-цифровой преобразователь 24 для записи на дискету. Все операции могут выполняться в автоматическом режиме.
Изобретение может применяться при автоматизированном контроле и определении микромеханических и эксплуатационных свойств готовых изделий в металлообрабатывающей, машиностроительной, металлургической и электронной промышленности.

Claims (2)

1. МИКРОЗОНД, содержащий корпус, размещенные в корпусе нагружатель и соосные стержень, индентор и средства оптической регистрации площади контакта и блок обработки данных с датчиками измерения усилий и размеров отпечатка, при этом вершина индентора совмещена с фокусом средства оптической регистрации, отличающийся тем, что он снабжен двумя коаксиально установленными и охватывающими стержень стаканами с размещенными на боковой поверхности каждого стакана тензопреобразователями, пьезоэлементом, размещенным на наружной поверхности внешнего стакана, и оптопарой с открытым оптическим каналом, обращенным в сторону испытуемого изделия, стержень выполнен полым, а средство оптической регистрации - в виде волоконно-оптического световода, установленного в полости стержня коаксиально ему.
2. Микрозонд по п.1, отличающийся тем, что он содержит бинокулярную насадку с фотоприемником, выход которой связан с входом блока обработки данных.
SU5025043 1992-02-26 1992-02-26 Микрозонд RU2029283C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5025043 RU2029283C1 (ru) 1992-02-26 1992-02-26 Микрозонд

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5025043 RU2029283C1 (ru) 1992-02-26 1992-02-26 Микрозонд

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2029283C1 true RU2029283C1 (ru) 1995-02-20

Family

ID=21595761

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5025043 RU2029283C1 (ru) 1992-02-26 1992-02-26 Микрозонд

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2029283C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2738201C1 (ru) * 2020-06-03 2020-12-09 Общество с ограниченной ответственностью "ОМИКОН Текнолоджис" Портативный микротвердомер

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР N 1612239, кл. G 01N 3/42, 1990. *
Булычев С.И. и Алехин В.П. Испытание материалов непрерывным вдавливанием индентора. М.: Машиностроение, 1990, с.223. *
Патент США N 4852397, кл. G 01N 3/42, 1989. Григорович В.К. Твердость и микротвердость металлов. М.: Наука, 1976, с.230. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2738201C1 (ru) * 2020-06-03 2020-12-09 Общество с ограниченной ответственностью "ОМИКОН Текнолоджис" Портативный микротвердомер

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4699000A (en) Automated device for determining and evaluating the mechanical properties of materials
US5616857A (en) Penetration hardness tester
JP4233756B2 (ja) フィルム又はコーティングの表面損傷抵抗を測定する試験装置および方法
EP3658868B1 (en) Apparatus and method for performing an impact excitation technique
WO2021179609A1 (zh) 植物微观力学检测装置及其检测方法
US11781956B2 (en) Observable micro-nano mechanical testing apparatus and method
Read Piezo-actuated microtensile test apparatus
SU1227978A1 (ru) Устройство дл определени динамических характеристик эластичных материалов
US5355721A (en) Method and apparatus for measuring depth and hardness
CN104849351A (zh) 一种基于非接触空气耦合的表面声阻抗检测方法及系统
RU2029283C1 (ru) Микрозонд
WO1995023990A1 (en) Method and apparatus for controlling the contact of optical fibers
EP0616694A1 (en) Fiber optic polarization maintaining fused coupler fabricating apparatus
US4662228A (en) Automated interfacial testing system
JP2526592B2 (ja) 微小材料試験装置
JP2001264373A (ja) 圧電薄膜の圧電定数測定装置および測定方法
JPH0954027A (ja) 2軸載荷試験装置
JP3670777B2 (ja) カンチレバーの評価装置
JP2742640B2 (ja) 亀裂進展寸法の自動計測装置
Daniel et al. A scanning electron microscope based microindentation system
RU58708U1 (ru) Устройство для микромеханических испытаний
SU579541A1 (ru) Устройство дл определени относительного изменени диаметра образца
NL8520161A (nl) Werkwijze voor het bepalen van de krachtkarakteristiek van een inrichting voor het magnetisch vasthouden van werkstukken.
JPH0625720B2 (ja) 超微小硬度計
SU452768A1 (ru) Устройство дл испытаний волокон и нитей на ударное раст жение