RU2023105859A - Многофункциональный лазерно-плазменный технологический комплекс - Google Patents
Многофункциональный лазерно-плазменный технологический комплекс Download PDFInfo
- Publication number
- RU2023105859A RU2023105859A RU2023105859A RU2023105859A RU2023105859A RU 2023105859 A RU2023105859 A RU 2023105859A RU 2023105859 A RU2023105859 A RU 2023105859A RU 2023105859 A RU2023105859 A RU 2023105859A RU 2023105859 A RU2023105859 A RU 2023105859A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- reaction chamber
- parts
- group processing
- replaceable module
- working
- Prior art date
Links
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Claims (8)
1. Многофункциональный лазерно-плазменный технологический комплекс, включающий импульсно-периодическую лазерную систему, средство доставки и фокусировки луча, средства подачи рабочих сред, реакционную камеру со средством формирования потоков рабочих сред и средство координатного перемещения реакционной камеры, отличающийся тем, что на выходе реакционной камеры установлен сменный модуль для групповой обработки деталей, снабженный средством позиционирования обрабатываемой детали и средством поддержания температуры рабочей зоны и состава рабочей среды.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что сменный модуль для односторонней групповой обработки деталей выполнен в виде герметизируемой кассеты, на дне которой расположены разделительные выступы или прорезная маска, снабженной управляемым по температуре нагревателем.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что сменный модуль для двусторонней групповой обработки деталей включает в себя герметизируемую технологическую камеру, снабженную средством обмена рабочей среды, и установочный шток, выполненный с возможностью вращения.
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что сменный модуль для групповой обработки шариков и роликов включает в себя узел бесконтактной газодинамической фиксации обрабатываемой детали, подающий накопитель необработанных деталей и приемный накопитель обработанных деталей, закрепленные совместно с реакционной камерой.
5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что узел бесконтактной газодинамической фиксации снабжен посадочной поверхностью для обрабатываемой детали, блоком подачи технологического газа и газовым каналом.
6. Устройство по пп. 1-5, отличающееся тем, что средство доставки и фокусировки луча выполнено в форме промежуточных зеркал и фокусирующей линзы.
7. Устройство по пп. 1-5, отличающееся тем, что средство подачи газа-носителя паров реагента снабжено дозатором реагента и испарителем.
8. Устройство по пп. 1-5, отличающееся тем, что средство формирования потоков рабочих сред выполнено в виде тороидальной камеры со щелью, обращенной внутрь реакционной камеры.
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2023105859A true RU2023105859A (ru) | 2023-12-19 |
| RU2812452C2 RU2812452C2 (ru) | 2024-01-30 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8476609B2 (en) | Extreme ultraviolet light source device, laser light source device for extreme ultraviolet light source device, and method for controlling saturable absorber used in extreme ultraviolet light source device | |
| US7897941B2 (en) | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and use of a radiation collector | |
| US8339569B2 (en) | Temperature-control device for an optical assembly | |
| US9198273B2 (en) | Extreme ultraviolet light generation apparatus | |
| US20130020511A1 (en) | Mirror, mirror device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation apparatus | |
| US20040262541A1 (en) | Temperature adjustment apparatus, exposure apparatus having the same, and device fabricating method | |
| CN113677476B (zh) | 用于激光加工工件的加工设备、用于激光加工工件的加工设备的成套零件以及用于使用这种加工设备激光加工工件的方法 | |
| EP2598857A1 (en) | In situ holder assembly | |
| JP6448661B2 (ja) | 極端紫外光生成装置 | |
| KR20110004437A (ko) | 레이저 어닐링 방법 및 레이저 어닐링 장치 | |
| US10374381B2 (en) | Extreme ultraviolet light generating apparatus | |
| EP2609459A1 (en) | Window unit, window device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation system | |
| US20200033739A1 (en) | Extreme ultraviolet light generation device | |
| US10211589B2 (en) | Laser apparatus and extreme ultraviolet light generation apparatus | |
| RU2023105859A (ru) | Многофункциональный лазерно-плазменный технологический комплекс | |
| TW202401158A (zh) | 動態控制恆溫倍縮光罩組件的倍縮光罩溫度的方法 | |
| JPWO2018179417A1 (ja) | 極端紫外光生成装置 | |
| US10455679B2 (en) | Extreme ultraviolet light generation device | |
| JP2008523432A (ja) | 位置決め装置 | |
| TW201003329A (en) | Method and system for thermally conditioning an optical element | |
| EP2847573A1 (en) | In situ holder assembly | |
| TW201001555A (en) | Laser anneal method and laser anneal device | |
| JP2000042778A (ja) | レーザ加工方法及びその装置 | |
| US10126657B2 (en) | Extreme ultraviolet light generating apparatus | |
| JP2009170793A (ja) | 温度調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |