RU2020115168A - Технологическая камера и способ ее продувки - Google Patents
Технологическая камера и способ ее продувки Download PDFInfo
- Publication number
- RU2020115168A RU2020115168A RU2020115168A RU2020115168A RU2020115168A RU 2020115168 A RU2020115168 A RU 2020115168A RU 2020115168 A RU2020115168 A RU 2020115168A RU 2020115168 A RU2020115168 A RU 2020115168A RU 2020115168 A RU2020115168 A RU 2020115168A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- process chamber
- temperature
- purge
- oxygen concentration
- purging
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
- C23C16/4408—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber by purging residual gases from the reaction chamber or gas lines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/20—Direct sintering or melting
- B22F10/28—Powder bed fusion, e.g. selective laser melting [SLM] or electron beam melting [EBM]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F10/00—Additive manufacturing of workpieces or articles from metallic powder
- B22F10/30—Process control
- B22F10/32—Process control of the atmosphere, e.g. composition or pressure in a building chamber
- B22F10/322—Process control of the atmosphere, e.g. composition or pressure in a building chamber of the gas flow, e.g. rate or direction
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
- B29C64/30—Auxiliary operations or equipment
- B29C64/364—Conditioning of environment
- B29C64/371—Conditioning of environment using an environment other than air, e.g. inert gas
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y10/00—Processes of additive manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y40/00—Auxiliary operations or equipment, e.g. for material handling
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/25—Process efficiency
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Claims (20)
1. Способ продувки технологической камеры (1), включающий по меньшей мере следующие этапы:
a) повышение температуры газа, первоначально содержащегося в технологической камере (1), по меньшей мере до первой температуры,
b) введение газа для продувки, который имеет вторую температуру, в технологическую камеру (1), при этом первая температура выше, чем вторая температура.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что газ для продувки представляет собой инертный газ.
3. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что вторая температура ниже 0°С.
4. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что перед этапом a) температура газа, первоначально содержащегося в технологической камере (1), по меньшей мере на 50 К ниже, чем первая температура.
5. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что дополнительно включает выпаривание жидкого азота и/или аргона перед этапом b) и использование испаренного азота и/или аргона в качестве газа для продувки на этапе b).
6. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что продувку выполняют по меньшей мере до такой степени, что концентрация кислорода в технологической камере (1) составляет менее 1000 ppm [частей на миллион] после продувки.
7. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что по меньшей мере один из следующих параметров
расход газа для продувки на этапе b) и
время продувки, в течение которого выполняют этап b),
регулируют в зависимости по меньшей мере от одного из следующих параметров:
температуры, измеренной в технологической камере (1), и
концентрации кислорода, измеренной в технологической камере (1).
8. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что первую температуру определяют таким образом, чтобы после этапа b) концентрация кислорода в технологической камере (1) была ниже заданной максимальной концентрации кислорода, если объем газа для продувки, вводимый в технологическую камеру (1) на этапе b), в менее чем 1,5 раза больше общего объема технологической камеры (1).
9. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что первую температуру определяют таким образом, чтобы после этапа b) концентрация кислорода в технологической камере (1) была ниже заданной максимальной концентрации кислорода, если время продувки, в течение которого выполняют этап b), составляет менее 5 мин.
10. Способ, включающий изготовление трехмерного продукта в технологической камере (1) путем аддитивного производства после продувки технологической камеры (1) посредством способа по любому из предыдущих пунктов.
11. Способ, включающий применение технологической камеры (1) в качестве автоклава после продувки технологической камеры (1) посредством способа по любому из пп. 1-9.
12. Блок (2) управления, выполненный с возможностью осуществления способа по любому из пп. 1-11.
13. Технологическая камера (1), выполненная с возможностью осуществления способа по любому из пп. 1-11, при этом технологическая камера (1) содержит по меньшей мере нагреватель (3) для повышения температуры в технологической камере (1) и блок (2) управления для измерения и регулировки температуры в технологической камере (1) и/или расхода газа для продувки по меньшей мере во время продувки.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP17198366.1 | 2017-10-25 | ||
| EP17198366.1A EP3476973A1 (en) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | Process chamber and method for purging the same |
| PCT/EP2018/079094 WO2019081549A1 (en) | 2017-10-25 | 2018-10-24 | TREATMENT CHAMBER AND ITS PURGEING METHOD |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2020115168A true RU2020115168A (ru) | 2021-11-01 |
Family
ID=60331398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2020115168A RU2020115168A (ru) | 2017-10-25 | 2018-10-24 | Технологическая камера и способ ее продувки |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20200346410A1 (ru) |
| EP (1) | EP3476973A1 (ru) |
| JP (1) | JP2021500251A (ru) |
| CN (1) | CN111247268B (ru) |
| CA (1) | CA3080033A1 (ru) |
| RU (1) | RU2020115168A (ru) |
| WO (1) | WO2019081549A1 (ru) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3766603A1 (en) * | 2019-07-18 | 2021-01-20 | Linde GmbH | Method and device for purging an additive manufacturing space |
| US20220266514A1 (en) * | 2019-08-06 | 2022-08-25 | Carbon, Inc. | Additive manufacturing apparatus with purged light engine |
| CN112164739B (zh) * | 2020-09-28 | 2021-10-08 | 华灿光电(苏州）有限公司 | 微型发光二极管外延片的生长方法 |
| CN114335256B (zh) * | 2022-03-10 | 2022-05-20 | 北京通美晶体技术股份有限公司 | 一种干法清洗锗晶片的方法 |
| CN114871223B (zh) * | 2022-04-02 | 2023-08-01 | 普乐新能源科技(泰兴)有限公司 | 一种可靠的腔体吹扫方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5565034A (en) * | 1993-10-29 | 1996-10-15 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for processing substrates having a film formed on a surface of the substrate |
| US6474986B2 (en) * | 1999-08-11 | 2002-11-05 | Tokyo Electron Limited | Hot plate cooling method and heat processing apparatus |
| JP2006261434A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude | シリコン酸化膜の形成方法 |
| WO2007025039A2 (en) * | 2005-08-23 | 2007-03-01 | Xactix, Inc. | Pulsed etching cooling |
| CN101612622B (zh) * | 2008-06-23 | 2011-07-27 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 用于减少腔室颗粒沉积的方法、系统及半导体处理设备 |
| CN102517564A (zh) * | 2011-12-16 | 2012-06-27 | 汉能科技有限公司 | 一种lpcvd工艺腔中的气体吹扫系统及方法 |
| CA2885977A1 (en) * | 2012-10-10 | 2014-04-17 | Xyleco, Inc. | Equipment protecting enclosures |
| JP6023854B1 (ja) * | 2015-06-09 | 2016-11-09 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
| KR20160146365A (ko) * | 2015-06-12 | 2016-12-21 | 주식회사 케이씨텍 | 원자층 증착장치 |
-
2017
- 2017-10-25 EP EP17198366.1A patent/EP3476973A1/en active Pending
-
2018
- 2018-10-24 US US16/758,978 patent/US20200346410A1/en not_active Abandoned
- 2018-10-24 JP JP2020522385A patent/JP2021500251A/ja active Pending
- 2018-10-24 CA CA3080033A patent/CA3080033A1/en active Pending
- 2018-10-24 RU RU2020115168A patent/RU2020115168A/ru not_active Application Discontinuation
- 2018-10-24 WO PCT/EP2018/079094 patent/WO2019081549A1/en active Application Filing
- 2018-10-24 CN CN201880068154.0A patent/CN111247268B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2019081549A1 (en) | 2019-05-02 |
| CA3080033A1 (en) | 2019-05-02 |
| CN111247268A (zh) | 2020-06-05 |
| CN111247268B (zh) | 2022-09-23 |
| EP3476973A1 (en) | 2019-05-01 |
| US20200346410A1 (en) | 2020-11-05 |
| JP2021500251A (ja) | 2021-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2020115168A (ru) | Технологическая камера и способ ее продувки | |
| JP2013105923A5 (ru) | ||
| TW200643996A (en) | Method of film formation, film formation apparatus, permanent magnet, and process for producing permanent magnet | |
| JP2015138913A5 (ru) | ||
| MX2016002882A (es) | Metodos de esterilizacion y aparato y control adaptable del mismo. | |
| NZ709919A (en) | Product gas concentrator utilizing vacuum swing adsorption and method associated therewith | |
| JP2016044361A5 (ru) | ||
| JP2015224251A5 (ru) | ||
| RU2015118453A (ru) | Способ получения человеческого альбумина с пониженным уровнем растворенного кислорода | |
| KR20150112876A (ko) | 반도체 처리 챔버에 과산화수소를 전달하는 방법 및 시스템 | |
| JP6580032B2 (ja) | 高圧ｂｆ３／ｈ２混合物の製造 | |
| US20170361513A1 (en) | Method and apparatus for the on-line internal siliconing of bottles for pharmaceutical use | |
| WO2009011355A1 (ja) | 放電表面処理用電極の製造方法、及び放電表面処理用電極 | |
| JP6478653B2 (ja) | 吸着速度測定方法 | |
| US10375985B2 (en) | Method for preparing a tobacco composition | |
| JP2019132677A5 (ru) | ||
| WO2013009106A3 (ko) | 센서를 이용한 잔류염소농도의 측정방법과 측정장치 및 그를 이용한 수처리시스템 | |
| RU2011132031A (ru) | Обработка полиолефина водяным паром | |
| MY185474A (en) | Process for production of oxymethylene copolymer | |
| CN105886998B (zh) | 真空渗碳方法及真空渗碳装置 | |
| RU2016107835A (ru) | Способ хранения пищевого продукта | |
| JP5726721B2 (ja) | ポリオレフィンの製造方法およびその装置 | |
| KR102560920B1 (ko) | 철 합금 및 다른 금속으로 제조된 가공물의 저압 침탄(lpc) 방법 | |
| Sberveglieri et al. | Classification of different roasting processes by MOX nanowire | |
| JP2010527794A5 (ru) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20211025 |