RU2020101119A - Инструмент с пропусканием лазерного излучения - Google Patents

Инструмент с пропусканием лазерного излучения Download PDF

Info

Publication number
RU2020101119A
RU2020101119A RU2020101119A RU2020101119A RU2020101119A RU 2020101119 A RU2020101119 A RU 2020101119A RU 2020101119 A RU2020101119 A RU 2020101119A RU 2020101119 A RU2020101119 A RU 2020101119A RU 2020101119 A RU2020101119 A RU 2020101119A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
radiation beam
optomechanical
instrument
radiation
front surface
Prior art date
Application number
RU2020101119A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2730571C2 (ru
RU2020101119A3 (ru
Inventor
Дипак ВМ РАВИНДРА
Саи Кумар КОДЕ
Original Assignee
Майкро-Лэм, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Майкро-Лэм, Инк. filed Critical Майкро-Лэм, Инк.
Publication of RU2020101119A publication Critical patent/RU2020101119A/ru
Publication of RU2020101119A3 publication Critical patent/RU2020101119A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2730571C2 publication Critical patent/RU2730571C2/ru

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23PMETAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P25/00Auxiliary treatment of workpieces, before or during machining operations, to facilitate the action of the tool or the attainment of a desired final condition of the work, e.g. relief of internal stress
    • B23P25/003Auxiliary treatment of workpieces, before or during machining operations, to facilitate the action of the tool or the attainment of a desired final condition of the work, e.g. relief of internal stress immediately preceding a cutting tool
    • B23P25/006Heating the workpiece by laser during machining
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B1/00Methods for turning or working essentially requiring the use of turning-machines; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/18Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material with cutting bits or tips or cutting inserts rigidly mounted, e.g. by brazing
    • B23B27/20Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material with cutting bits or tips or cutting inserts rigidly mounted, e.g. by brazing with diamond bits or cutting inserts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23CMILLING
    • B23C5/00Milling-cutters
    • B23C5/16Milling-cutters characterised by physical features other than shape
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/146Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor the fluid stream containing a liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0875Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements
    • G02B26/0883Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism
    • G02B26/0891Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more refracting elements the refracting element being a prism forming an optical wedge
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B2226/00Materials of tools or workpieces not comprising a metal
    • B23B2226/31Diamond
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B2260/00Details of constructional elements
    • B23B2260/092Lasers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/141Specially shaped plate-like cutting inserts, i.e. length greater or equal to width, width greater than or equal to thickness
    • B23B27/145Specially shaped plate-like cutting inserts, i.e. length greater or equal to width, width greater than or equal to thickness characterised by having a special shape
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23CMILLING
    • B23C2226/00Materials of tools or workpieces not comprising a metal
    • B23C2226/31Diamond
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23CMILLING
    • B23C2260/00Details of constructional elements
    • B23C2260/56Lasers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/0093Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring combined with mechanical machining or metal-working covered by other subclasses than B23K

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Milling Processes (AREA)
  • Drilling And Boring (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Turning (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Claims (41)

1. Оптомеханический инструмент для обработки детали резанием, содержащий:
тело из материала, имеющее поверхность входа, переднюю поверхность, заднюю поверхность, связанную с передней поверхностью с образованием режущей кромки, переднюю боковую поверхность, простирающуюся между поверхностью входа и передней поверхностью, и заднюю боковую поверхность, простирающуюся между поверхностью входа и задней поверхностью,
причем поверхность входа выполнена с возможностью принимать и преломлять пучок излучения на переднюю поверхность, заднюю поверхность и режущую кромку, заставляя пучок излучения преломляться и нагревать обрабатываемую деталь в области сжатия, простирающейся вблизи по меньшей мере передней поверхности, и в области растяжения, простирающейся вблизи задней поверхности.
2. Оптомеханический инструмент по п. 1, причем передняя поверхность простирается от передней боковой поверхности для образования переднего угла, а задняя поверхность простирается от задней боковой поверхности для образования заднего угла относительно переднего угла.
3. Оптомеханический инструмент по п. 1, причем образующий тело материал содержит по меньшей мере один из алмаза, сапфира, кубического нитрида бора (CBN), кремния или стеклянных композитов.
4. Оптомеханический инструмент по п. 1, дополнительно содержащий антиотражающее покрытие, расположенное поверх поверхности входа.
5. Система для обработки детали резанием, содержащая:
оптомеханический инструмент, содержащий тело из материала, имеющее множество поверхностей, включая поверхность входа, переднюю поверхность, заднюю поверхность, соединенную с передней поверхностью с образованием режущей кромки, переднюю боковую поверхность, простирающуюся между поверхностью входа и передней поверхностью, и заднюю боковую поверхность, простирающуюся между поверхностью входа и задней поверхностью, причем упомянутое множество поверхностей образуют конец входа пучка излучения оптомеханического инструмента и конец выхода пучка излучения оптомеханического инструмента, причем конец выхода пучка излучения образован передней поверхностью, задней поверхностью и режущей кромкой; и
генератор излучения, оптически связанный с концом входа пучка излучения оптомеханического инструмента для оптического прохождения пучка излучения, генерируемого генератором излучения, к концу выхода пучка излучения через тело из материала, а также выхода из:
режущей кромки; и
одной или обеих из передней поверхности и задней поверхности.
6. Система по п. 5, дополнительно содержащая:
оптику, содержащую по меньшей мере коллиматорную линзу и набор фокусирующих линз, причем коллиматорная линза оптически связана с генератором излучения для коллимирования пучка излучения до того, как он будет принят концом входа пучка излучения оптомеханического инструмента, причем набор фокусирующих линз оптически связан с коллиматорной линзой для фокусировки пучка излучения до того, как он будет принят концом входа пучка излучения оптомеханического инструмента; и
оптический интерфейс, включающий связанную с набором фокусирующих линз ручку фокусировки, которая регулирует фокальную плоскость и диаметр пучка излучения для избирательного смещения лучей пучка излучения к передней поверхности или к задней поверхности, причем оптический интерфейс включает одну или более стадий позиционирования пучка, связанных с набором фокусирующих линз, который изменяет угол пучка излучения, когда пучок излучения выходит из коллиматорной линзы.
7. Система по п. 5, дополнительно содержащая расщепитель пучка, выполненный с возможностью расщеплять пучок излучения для подачи пучка излучения к множественным положениям конца входа пучка излучения оптомеханического инструмента.
8. Система по п. 5, дополнительно содержащая:
активируемую теплом или лазером смазочно-охлаждающую текучую среду, суспензию или травильный реактив, содержащиеся в источнике или резервуаре, которые подаются из сопла к концу выхода пучка излучения оптомеханического инструмента; и
исполнительный механизм, включающий один или более из насоса и клапана, который проточно соединен с источником или резервуаром для осуществления управления количеством активируемой теплом или лазером смазочно-охлаждающей текучей среды, суспензии или травильного реактива, которые подлежат расположению на конце выхода пучка излучения оптомеханического инструмента.
9. Система по п. 5, дополнительно содержащая:
камеру визуализации пучка; и
компьютерную рабочую станцию, связанную с камерой визуализации пучка, причем камера визуализации пучка визуализирует калибровочный пучок излучения, распространяющийся через оптомеханический инструмент, и передает изображение калибровочного пучка излучения на компьютерную рабочую станцию, причем компьютерная рабочая станции принимает и отображает это изображение.
10. Система по п. 9, дополнительно содержащая измеритель энергии или мощности, соединенный с компьютерной рабочей станцией для измерения выходной мощности пучка излучения, проходящего через режущую кромку оптомеханического инструмента.
11. Система по п. 9, дополнительно содержащая профилировщик пучка, связанный с компьютерной рабочей станцией, причем профилировщик пучка обнаруживает угол ориентации или геометрию оптомеханического инструмента для выставления калибровочного пучка излучения, проходящего через оптомеханический инструмент.
12. Способ обработки детали резанием, содержащий:
прием пучка излучения на конце входа пучка излучения оптомеханического инструмента, причем оптомеханический инструмент расположен рядом с обрабатываемой деталью, образующей область сжатия и область растяжения,
пропускание пучка излучения через тело из материала оптомеханического инструмента, которое простирается между концом входа пучка излучения оптомеханического инструмента и концом выхода пучка излучения оптомеханического инструмента, заставляя пучок излучения преломляться в обрабатываемую деталь;
избирательное направление пучка излучения из режущей кромки оптомеханического инструмента и одной или обеих из передней поверхности оптомеханического инструмента и задней поверхности оптомеханического инструмента, причем режущая кромка, передняя поверхность и задняя поверхность образуют конец выхода пучка излучения оптомеханического инструмента;
прикладывание растягивающего усилия от оптомеханического инструмента к области растяжения обрабатываемой детали на основании избирательного направления пучка излучения; и
прикладывание сжимающего усилия к области сжатия обрабатываемой детали на основании избирательного направления пучка излучения, причем прикладываемое к области сжатия обрабатываемой детали сжимающее усилие больше или меньше, чем растягивающее усилие, прикладываемое к области растяжения обрабатываемой детали.
13. Способ по п. 12, причем:
обрабатываемая деталь содержит кремниевый материал; и
избирательное направление пучка излучения из задней поверхности способствует отжигу области растяжения.
14. Способ по п. 13, причем избирательное направление пучка излучения из передней поверхности уменьшает твердость области сжатия.
15. Способ по п. 12, дополнительно содержащий при обработке детали направление активируемой теплом или лазером смазочно-охлаждающей текучей среды, суспензии или травильного реактива к концу выхода пучка излучения.
16. Способ по п. 12, причем:
обрабатываемая деталь содержит металлический материал или металлический композит; и
избирательное направление пучка излучения из задней поверхности способствует пластической деформации, термическому размягчению и/или удалению материала в области растяжения.
17. Способ по п. 12, причем образующий тело материал содержит один из алмаза, сапфира, кубического нитрида бора (CBN), кремния или стеклянных композитов.
18. Способ по п. 12, причем оптомеханический инструмент содержит антиотражающее покрытие, расположенное поверх конца входа пучка излучения.
19. Способ по п. 12, причем прием пучка излучения содержит прием пучка излучения от генератора излучения, оптически связанного с концом входа пучка излучения.
20. Способ по п. 19, причем избирательное направление пучка излучения содержит регулирование одной или более стадий позиционирования пучка, расположенных между генератором излучения и концом входа пучка излучения.
RU2020101119A 2016-07-18 2017-07-18 Инструмент с пропусканием лазерного излучения RU2730571C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201662363448P 2016-07-18 2016-07-18
US62/363,448 2016-07-18

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019104304A Division RU2712678C1 (ru) 2016-07-18 2017-07-18 Инструмент с пропусканием лазерного излучения

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2020101119A true RU2020101119A (ru) 2020-03-03
RU2020101119A3 RU2020101119A3 (ru) 2020-06-22
RU2730571C2 RU2730571C2 (ru) 2020-08-24

Family

ID=60941866

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2020101119A RU2730571C2 (ru) 2016-07-18 2017-07-18 Инструмент с пропусканием лазерного излучения
RU2019104304A RU2712678C1 (ru) 2016-07-18 2017-07-18 Инструмент с пропусканием лазерного излучения

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019104304A RU2712678C1 (ru) 2016-07-18 2017-07-18 Инструмент с пропусканием лазерного излучения

Country Status (9)

Country Link
US (2) US10449644B2 (ru)
EP (1) EP3484658A4 (ru)
JP (1) JP6733055B2 (ru)
KR (1) KR102156181B1 (ru)
CN (2) CN108463309B (ru)
CA (1) CA3029966C (ru)
IL (1) IL264010B (ru)
RU (2) RU2730571C2 (ru)
WO (1) WO2018017584A1 (ru)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11780036B2 (en) * 2018-06-11 2023-10-10 Aac Optics Solutions Pte. Ltd. Laser assisted micromachining system and temperature control method using same
CN108818983A (zh) * 2018-06-12 2018-11-16 华中科技大学 光学硬脆性材料的微激光辅助加工系统及其使用方法
JP7078560B2 (ja) * 2019-01-25 2022-05-31 ファナック株式会社 精密工作機械
EP3705222B1 (en) * 2019-03-06 2022-01-26 Synova S.A. Method and apparatus for manufacturing a workpiece into a product through laser processing
KR20220061947A (ko) * 2019-06-28 2022-05-13 마이크로-램, 인코포레이티드 광기계 툴링
DE102019005691A1 (de) * 2019-08-14 2021-02-18 Innolite Gmbh Vorrichtung mit einem Werkzeughalter und einer Werkzeugschneide zum Drehen einer optisch funktionalen Oberfläche eines Werkstücks und Verfahren für das Drehen einer Oberfläche eines Werkstücks mit einem monokristallinen Diamanten
JP7378894B2 (ja) * 2019-11-06 2023-11-14 株式会社ディスコ 加工装置
CN111347571A (zh) * 2020-03-17 2020-06-30 华中科技大学 用于光学硬脆材料的激光辅助低损伤切削加工系统及方法
CN112475339B (zh) * 2020-11-23 2022-06-03 长春理工大学 一种激光原位辅助车削刀具及其使用方法
CN112743297B (zh) * 2020-12-24 2022-10-11 天津大学 激光在线预加热辅助加工方法
JP7380632B2 (ja) * 2021-03-31 2023-11-15 株式会社プロテリアル 加工方法
DE102021002115A1 (de) 2021-04-22 2022-10-27 Innolite Gmbh Vorrichtung und Verfahren mit einem optisch durchlässigen Werkzeug
CN114289876A (zh) * 2021-12-30 2022-04-08 华中科技大学 一种闪烁晶体和其加工方法、探测器和其应用
CN114799933A (zh) * 2022-05-05 2022-07-29 中国科学院光电技术研究所 一种激光辅助切削刀具
CN115026597A (zh) * 2022-07-15 2022-09-09 哈尔滨理工大学 一种基于ros操作系统的激光辅助制孔的末端执行器

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE794853A (fr) * 1972-02-02 1973-05-29 Western Electric Co Guide d'ondes optiques a monocristal de granat
SU593827A1 (ru) * 1976-05-19 1978-02-25 Бюраканская Оптико-Механическая Лаборатория Ан Армянской Сср Резец
SU1419813A1 (ru) * 1982-03-24 1988-08-30 Kurikhin Vladimir Способ резани материала лезвийным инструментом В.И.Курихина
SU1242309A1 (ru) * 1985-02-04 1986-07-07 Предприятие П/Я В-2572 Инструмент дл оптико-механической обработки материалов
US4839250A (en) * 1987-08-10 1989-06-13 Polaroid Corporation, Patent Department Method of replicating volume phase reflection holograms
JP3046316B2 (ja) * 1989-10-20 2000-05-29 株式会社エス・エル・ティ・ジャパン レーザ光の照射装置
DE19613183C1 (de) * 1996-04-02 1997-07-10 Daimler Benz Ag Verfahren und Vorrichtung zum Feindrehen eines Werkstückes aus einem härtbaren Stahl mittels Drehmeißel
CA2259700C (en) * 1998-01-21 2007-05-08 Clive G. Whittenbury Laser-assisted cutting device
TW460758B (en) * 1998-05-14 2001-10-21 Holographic Lithography System A holographic lithography system for generating an interference pattern suitable for selectively exposing a photosensitive material
TW580416B (en) * 2002-11-28 2004-03-21 Ind Tech Res Inst Laser-assisted machining process
US8656815B2 (en) * 2004-12-06 2014-02-25 Konica Minolta Opto, Inc. Transfer optical surface machining method, optical device producing mold and optical device
CA2558898C (en) * 2005-09-07 2013-11-05 Purdue Research Foundation Laser assisted machining process with distributed lasers
WO2007040528A1 (en) * 2005-09-28 2007-04-12 The Board Of Trustees Of Western Michigan University, A Corporation Of The State Of Michigan Micro laser assisted machining
CN100493814C (zh) * 2007-10-10 2009-06-03 厦门大学 带有测量装置的多功能激光加工刀具
BR112012001213B8 (pt) * 2009-07-23 2021-12-21 Koninklijke Philips Electronics Nv Aparelho de cortar cabelo e método de ultilização do aparelho de cortar cabelo
JP5427575B2 (ja) * 2009-08-28 2014-02-26 三菱重工業株式会社 オーステナイト系ステンレス鋼製機器および配管の切削加工方法ならびにこれを用いて切削加工された原子力プラントの機器および配管
CN101817694A (zh) * 2010-03-22 2010-09-01 天津大学 超精密加工中多物理场作用抑制单晶金刚石刀具磨损方法
GB201010061D0 (en) * 2010-06-16 2010-07-21 Element Six Ltd Rotary machine tools
JP2012106325A (ja) * 2010-11-19 2012-06-07 Denso Corp 切削加工方法
CN102765876A (zh) * 2011-05-05 2012-11-07 上海镭立激光科技有限公司 一种激光自聚焦穿丝玻璃切割方法
US9802283B2 (en) * 2012-09-06 2017-10-31 Namiki Seimitsu Houseki Kabushiki Kaisha Cutting tool and cutting method
CN103521791B (zh) * 2013-10-18 2015-11-18 安徽大学 一种车外圆仿生刀具
US9576836B2 (en) * 2014-11-07 2017-02-21 International Business Machines Corporation Damage-free self-limiting through-substrate laser ablation
CA2946973C (en) 2015-10-30 2020-05-12 The Board Of Trustees Of Western Michigan University Laser augmented diamond drilling apparatus and method
CN108818118B (zh) * 2018-06-11 2021-02-19 瑞泰光学(常州)有限公司 激光辅助微加工系统及其温度控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
IL264010B (en) 2022-07-01
IL264010A (en) 2019-01-31
US20180015578A1 (en) 2018-01-18
CA3029966A1 (en) 2018-01-25
CN108463309A (zh) 2018-08-28
KR102156181B1 (ko) 2020-09-15
EP3484658A4 (en) 2020-04-15
RU2712678C1 (ru) 2020-01-30
EP3484658A1 (en) 2019-05-22
RU2730571C2 (ru) 2020-08-24
US20200016707A1 (en) 2020-01-16
JP2019524470A (ja) 2019-09-05
KR20190018565A (ko) 2019-02-22
US10449644B2 (en) 2019-10-22
CN111331260A (zh) 2020-06-26
CN108463309B (zh) 2020-04-07
WO2018017584A1 (en) 2018-01-25
CA3029966C (en) 2021-02-02
JP6733055B2 (ja) 2020-07-29
RU2020101119A3 (ru) 2020-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2020101119A (ru) Инструмент с пропусканием лазерного излучения
KR101908079B1 (ko) 레이저 빔의 빔 파라미터 곱을 변화시키는 장치
KR101547806B1 (ko) 멀티 초점을 가지는 비구면 렌즈를 이용한 취성 기판 가공 장치
US10744597B1 (en) Multi-focus optics
JP2020500810A5 (ru)
JP2019515332A5 (ru)
EP1457806A3 (en) Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, and method of manufacturing a semiconductor device
CN103252575B (zh) 一种用于激光材料加工的光学传输方法及系统
CN106842587A (zh) 衍射光学方法实现高斯光整形为超高长宽比的极细线型均匀光斑
WO2015116926A1 (en) Collimating lens with convex hyperbolic surface
TW201523772A (zh) 用於鐳射壓焊方式的倒裝晶片焊接的鐳射光學裝置
CN104692640A (zh) 切割基板的方法
CN106873168B (zh) 一种应用于半导体激光器光束整形的透镜
TW201714694A (zh) 雷射處理方法及使用多重聚焦的雷射處理裝置
CN104977665A (zh) 一种激光器光纤耦合器件及耦合方法
CN110753596B (zh) 用于对透明易碎的工件进行基于激光的分离的装置和方法
KR101733434B1 (ko) 구면수차를 이용한 기판절단방법
KR20080112691A (ko) 레이저를 이용한 공작물 가공장치
CN113305426A (zh) 一种用于激光切割的贝塞尔光束镜头
TWI649147B (zh) 雷射發射加工工具及用於加工具有該工具之工件之系統及方法
TW201722605A (zh) 硬脆材料的雷射切割方法及雷射切割機
US7941018B2 (en) Block-terminated fiber for laser generation of ultrasonic waves
CN217571287U (zh) 一种用于激光切割的贝塞尔光束镜头
US11982841B2 (en) Laser beam delivery system
US20180117705A1 (en) Device and method for laser processing of diamonds