RU2019863C1 - Assembly of control and representation electrodes for liquid-crystal screen and method of production - Google Patents
Assembly of control and representation electrodes for liquid-crystal screen and method of production Download PDFInfo
- Publication number
- RU2019863C1 RU2019863C1 SU4911997A RU2019863C1 RU 2019863 C1 RU2019863 C1 RU 2019863C1 SU 4911997 A SU4911997 A SU 4911997A RU 2019863 C1 RU2019863 C1 RU 2019863C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrodes
- layer
- tantalum
- matrix
- strip
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано в устройствах отображения информации с высокой информационной емкостью, в частности в телевидении, портативных персональных ЭВМ, контрольно-измерительной аппаратуре. The invention relates to automation and computer technology and can be used in devices for displaying information with high information capacity, in particular in television, portable personal computers, instrumentation.
Известна система управляющих и отображающих электродов для жидкокристаллического экрана, включающая стеклянную изолирующую пластину, покрытую слоем термического оксида тантала, на которой сформированы группа параллельных полосковых танталовых электродов, покрытых сверху пассивирующим слоем анодного оксида тантала, а на боковой поверхности тонким анодным оксидом тантала, матрица прозрачных проводящих отображающих электродов из оксида индия и матрица вторых электродов нелинейных элементов из хрома, через которые прозрачные проводящие электроды последовательно соединены с танталовыми электродами. A known system of control and display electrodes for a liquid crystal screen, including a glass insulating plate coated with a layer of thermal tantalum oxide, on which a group of parallel strip tantalum electrodes are formed, coated on top with a passivating layer of anode tantalum oxide, and on the side surface with a thin anode tantalum oxide, a matrix of transparent conductive imaging electrodes of indium oxide and a matrix of second electrodes of non-linear elements of chromium through which transparent wires Suitable electrodes are connected in series with tantalum electrodes.
Способ изготовления системы управляющих и отображающих электродов для жидкокристаллического экрана заключается в последовательном формировании на стеклянной изолирующей пластине со сформированным слоем диэлектрика группы параллельных танталовых полосковых электродов, покрытых сверху пассивирующим диэлектриком анодного оксида тантала и на боковых поверхностях тонким диэлектриком анодного оксида тантала путем напыления танталовой пленки, электрохимического окисления всей поверхности напыленной пленки на определенную толщину, проведения фотолитографии по рисунку танталовых электродов, плазмохимического травления пленок оксида тантала и тантала через сформированную маску и электрохимического окисления вскрытых боковых поверхностей танталовых электродов на определенную толщину, формирования матрицы прозрачных проводящих отображающих электродов из оксида индия и вторых электродов нелинейных элементов со структурой МДМ из хрома путем напыления соответствующей пленки и проведения операции фотолитографии. A method of manufacturing a system of control and display electrodes for a liquid crystal screen consists in sequentially forming on a glass insulating plate with a formed dielectric layer a group of parallel tantalum strip electrodes coated on top with a passivating dielectric of tantalum anode oxide and on the side surfaces with a thin dielectric of tantalum anode oxide, sputtering tantalum film oxidation of the entire surface of the sprayed film to a certain thickness, conducting photolithography according to the pattern of tantalum electrodes, plasma-chemical etching of tantalum and tantalum oxide films through the formed mask and electrochemical oxidation of the exposed side surfaces of tantalum electrodes to a certain thickness, forming a matrix of transparent conductive imaging electrodes of indium oxide and second electrodes of nonlinear elements with a MDM structure of chromium by sputtering appropriate film and photolithography operation.
Недостатками известной системы управляющих и отображающих электродов являются наличие паразитной емкости вертикального МДМ элемента, невоспроизводимость симметричности вольт-амперной характеристики (ВАХ) структуры Та-Та2О5-Cr, а также имеющиеся топологические неровности на поверхности АМ, за счет конечной толщины формируемых элементов. Недостатками способа изготовления являются невозможность устранения вертикального паразитного МДМ элемента и сложность травления двухслойной пленки оксид тантала-тантал за счет высоких требований к плазмостойкости фоторезистивной маски.The disadvantages of the known system of control and display electrodes are the presence of parasitic capacitance of the vertical MDM element, the irreproducibility of the symmetry of the current-voltage characteristic (CVC) of the Ta-Ta 2 O 5 -Cr structure, as well as the existing topological irregularities on the AM surface, due to the finite thickness of the formed elements. The disadvantages of the manufacturing method are the inability to eliminate the vertical parasitic MDM element and the difficulty of etching a two-layer tantalum-tantalum oxide film due to the high plasma resistance requirements of the photoresist mask.
Наиболее близкими по технической сущности к заявляемой системе управляющих и отображающих электродов для жидкокристаллического экрана и способу ее изготовления является система, включающая стеклянную изолирующую пластину со слоем термического оксида тантала, на которой сформированы группа параллельных полосковых танталовых электродов, покрытых слоем тонкого оксида тантала, матрица прозрачных проводящих отображающих электродов из оксида индия и матрица вторых электродов нелинейных элементов из Cr, сформированных на боковой поверхности танталовых электродов, через которые прозрачные отображающие электроды соединены с танталовыми электродами. The closest in technical essence to the claimed system of control and display electrodes for a liquid crystal screen and the method of its manufacture is a system comprising a glass insulating plate with a layer of thermal tantalum oxide, on which a group of parallel strip tantalum electrodes coated with a layer of thin tantalum oxide, a matrix of transparent conductive imaging electrodes of indium oxide and a matrix of second electrodes of non-linear elements of Cr formed on the side surface tantalum spine electrodes through which transparent electrodes are connected to the displaying electrodes tantalum.
Способ изготовления системы управляющих и отображающих электродов для жидкокристаллического экрана, заключается в следующем. На стеклянную пластину со слоем термического оксида тантала напыляется пленка тантала и методом фотолитографии формируются танталовые электроды, проводится электрохимическое окисление последних на определенную толщину, наносится слой фоторезиста на сфоpмированную структуру, проводится его засветка с обратной стороны через маску танталовых электродов и проявляется, затем напыляется пленка хрома, проводится операция взрывной литографии, в результате которой происходит удаление пленки хрома над танталовыми электродами, методом фотолитографии формируются вторые электроды нелинейных элементов и методом напыления и фотолитографии формируются прозрачные отображающие электроды из оксида индия. A method of manufacturing a system of control and display electrodes for a liquid crystal screen is as follows. A tantalum film is sprayed onto a glass plate with a layer of thermal tantalum oxide and tantalum electrodes are formed by photolithography, electrochemical oxidation of the latter to a certain thickness is carried out, a layer of photoresist is applied to the formed structure, it is illuminated from the back through a mask of tantalum electrodes and appears, then a chromium film is sprayed , an operation of explosive lithography is performed, as a result of which the chromium film is removed over tantalum electrodes, by the photo method itografii second electrodes are formed of non-linear elements and sputtering method and the photolithography are formed of transparent reflecting indium oxide electrodes.
Недостатками известной системы управляющих и отображающих электродов являются наличие неровностей на поверхности активной матрицы за счет конечной толщины топологических элементов и невоспроизводимость симметричности ВАХ структуры Та-Та2О5-Cr, что приводит к неравномерности изображения и снижению контраста ЖК-экрана. Недостатком известного способа изготовления системы управляющих и отображающих электродов является невозможность получения планарной поверхности активной матрицы, что приводит к технологическим трудностям удержания зазора в ЖК-экранах с активной матрицей.The disadvantages of the known system of control and display electrodes are the presence of irregularities on the surface of the active matrix due to the finite thickness of topological elements and the irreproducibility of the symmetry of the I – V characteristics of the Ta-Ta 2 O 5 -Cr structure, which leads to image unevenness and a decrease in the contrast of the LCD screen. A disadvantage of the known method of manufacturing a system of control and display electrodes is the inability to obtain a planar surface of the active matrix, which leads to technological difficulties in maintaining the gap in LCD screens with an active matrix.
Целью изобретения является повышение равномерности и контраста изображения за счет улучшения условий удержания зазора в жидкокристаллическом экране. The aim of the invention is to increase the uniformity and contrast of the image by improving the conditions of retention of the gap in the liquid crystal screen.
Указанная цель достигается тем, что:
1. В системе управляющих и отображающих электродов для жидкокристаллического экрана, включающей прозрачную изолирующую подложку со слоем диэлектрика, на котором сфоpмированы группа параллельных полосковых танталовых электродов со слоем оксида тантала, являющихся шинами столбцов или строк и одновременно первыми электродами нелинейных элементов, матрица вторых электродов нелинейных элементов, сформированных на боковой поверхности полосковых танталовых электродов со слоем оксида тантала, а также матрицу прозрачных проводящих отображающих электродов, которые через вторые электроды нелинейных элементов последовательно соединены с полосковыми танталовыми электродами, вторые электроды нелинейных элементов выполнены из алюминия, поверхность подложки между танталовыми электродами, а в местах размещения нелинейных элементов между алюминиевыми и танталовыми электродами, заполнена слоем пористого оксида алюминия, на котором размещены прозрачные отображающие электроды, причем суммарная толщина слоя пористого оксида алюминия и прозрачных отображающих электродов равна толщине полосковых танталовых электродов со слоем оксида тантала.The specified goal is achieved by the fact that:
1. In the system of control and display electrodes for a liquid crystal screen, including a transparent insulating substrate with a dielectric layer on which a group of parallel strip tantalum electrodes with a layer of tantalum oxide are formed, which are busbars of columns or rows and simultaneously the first electrodes of nonlinear elements, the matrix of the second electrodes of nonlinear elements formed on the side surface of strip tantalum electrodes with a layer of tantalum oxide, as well as a matrix of transparent conductive displays electrodes, which are connected through series of second electrodes of nonlinear elements to strip tantalum electrodes, the second electrodes of nonlinear elements are made of aluminum, the substrate surface between tantalum electrodes, and in the places of placement of nonlinear elements between aluminum and tantalum electrodes, it is filled with a layer of porous alumina on which placed transparent display electrodes, and the total thickness of the layer of porous alumina and transparent display electrodes equal and the thickness of the strip tantalum electrodes with a layer of tantalum oxide.
2. В способе изготовления системы управляющих и отображающих электродов для жидкокристаллического экрана, заключающемся в том, что на прозрачной изолирующей подложке со слоем диэлектрика формируют группу полосковых танталовых электродов, являющихся одновременно шинами столбцов или строк и первыми электродами нелинейных элементов, затем методом электрохимического окисления формируют на них слой оксида тантала, формируют матрицу вторых электродов нелинейных элементов и методом фотолитографии формируют матрицу прозрачных проводящих отображающих электродов, матрицу вторых электродов нелинейных элементов формируют путем нанесения слоя фоторезиста на сформированные танталовые электроды, проведения экспонирования фоторезиста с обратной стороны изолирующей подложки, формирования фоторезистивной маски по рисунку танталовых электродов, нанесения слоя алюминия на сфоpмированную структуру, проведения взрывной фотолитографии для удаления слоя алюминия над танталовыми электродами, проведения операции фотолитографии по рисунку вторых электродов нелинейных элементов и электрохимического окисления слоя алюминия по сформированному рисунку в электролите на основе фосфорной кислоты, а матрицу прозрачных проводящих отображающих электродов фоpмируют на слое пористого оксида алюминия, полученного в результате электрохимического окисления слоя алюминия. 2. In a method of manufacturing a system of control and display electrodes for a liquid crystal screen, which consists in the fact that a group of strip tantalum electrodes are formed on a transparent insulating substrate with a dielectric layer, which are both column or row buses and the first electrodes of nonlinear elements, then they are formed by electrochemical oxidation on a layer of tantalum oxide, form a matrix of second electrodes of nonlinear elements and form a matrix of transparent conductive materials by photolithography imaging electrodes, the matrix of the second electrodes of nonlinear elements is formed by applying a photoresist layer on the formed tantalum electrodes, exposing the photoresist from the back of the insulating substrate, forming a photoresist mask according to the pattern of the tantalum electrodes, applying an aluminum layer to the formed structure, performing explosive photolithography to remove the aluminum layer above tantalum electrodes, photolithography operations according to the pattern of the second electrodes of nonlinear elements and the electrochemical oxidation of the aluminum layer patterned in an electrolyte based on phosphoric acid and the matrix of transparent conducting electrodes fopmiruyut displaying on a layer of porous alumina obtained by electrolytic oxidation of the aluminum layer.
На фиг. 1-8 схематично изображен технологический процесс изготовления системы управляющих и отображающих электродов; на фиг. 9 - фрагмент топологии системы управляющих и отображающих электродов. In FIG. 1-8 schematically depicts the manufacturing process of a system of control and display electrodes; in FIG. 9 is a fragment of the topology of the system of control and display electrodes.
Использование Al в качестве второго электрода, кроме большей симметричности, позволяет расширить допустимый температурный диапазон технологического процесса, что является немаловажным фактором для обеспечения качественной ориентации и сборки ЖК-экранов, не используя специальных низкотемпературных технологических операций. The use of Al as a second electrode, in addition to greater symmetry, allows you to expand the allowable temperature range of the process, which is an important factor for ensuring high-quality orientation and assembly of LCD screens, without using special low-temperature technological operations.
Система управляющих и отображающих электродов (см. фиг. 9) экранами включает в себя прозрачную изолирующую пластину 1, на внутренней стороне которой нанесен слой диэлектрика 2, выполняющий функции стоп слоя, выполнены группа проводящих полосковых электродов 3, покрытых слоем диэлектрика 6, тонкопленочные управляющие элементы 5 и прозрачные проводящие отображающие электроды 4, которые последовательно соединены через управляющие тонкопленочные элементы 5 с проводящими полосковыми электродами 3 и образуют ряды элементов отображения, являющиеся шинами столбцов (строк). The system of control and display electrodes (see Fig. 9) with screens includes a
Матрица нелинейных элементов со структурой МДМ работает следующим образом. Сканирующие импульсы напряжения определенной амплитуды и длительности последовательно прикладываются к шинам строк одновременно с каждым сканирующим импульсом отображаемая информация в виде ряда информационных импульсов напряжения противоположной полярности (также определенной амплитуды и длительности) прикладываются к соответствующим шинам столбцов. В результате в соответствующих пересечениях шин столбцов и строк управляющие элементы 5 переходят в низкоомное состояние и через них происходит заряд емкости элементарных ЖК ячеек, образуемых на пересечении проводящих полосковых электродов, являющихся шинами столбцов и прозрачных отображающих электродов 4, которые через управляющие элементы 5 соединены с проводящими полосковыми электродами 3, и выполняющих функции запоминающих конденсаторов, т.е. происходит запоминание информации, которая сохраняется в течение времени кадра (для предлагаемого устройства время кадра составляло 20 мс). Нелинейные элементы 5 выполняют роль ключевых элементов, позволяющих увеличить время хранения информации на элементах отображения, что позволяет значительно увеличить количество мультиплексируемых строк (до 1000) без заметного ухудшения качества изображения. A matrix of nonlinear elements with an MDM structure works as follows. Scanning voltage pulses of a certain amplitude and duration are sequentially applied to the line buses simultaneously with each scanning pulse, the displayed information in the form of a series of information voltage pulses of opposite polarity (also of a certain amplitude and duration) is applied to the corresponding column buses. As a result, at the respective intersections of the column and row buses, the
Изготовление системы управляющих и отображающих электродов включает следующие основные операции (см. фиг. 1-8):
1. Нанесение на прозрачную изолирующую пластину слоя диэлектрика, например Та2О5, Al2O3, SiO2 и др.;
2. Нанесение слоя металла и формирование методом фотолитографии и травления проводящих полосковых электродов;
3. Формирование слоя диэлектрика управляющих МДМ структур;
4. Нанесение на сформированную структуру слоя фоторезиста, проведение экспонирования с обратной стороны прозрачной изолирующей подложки, проявление полученной фоторезистивной маски, повторяющей рисунок сформированных полосковых электродов;
5. Напыление пленки алюминия и проведение операции взрывной фотолитографии, в результате которой удаляется Al над электродами;
6. Проведение фотолитографии по рисунку вторых электродов;
7. Электрохимическое окисление Al через сформированную маску в электролите на основе фосфорной кислоты;
8. Нанесение прозрачного проводящего материала и формирование методом фотолитографии и травления матрицы прозрачных проводящих отображающих электродов.The manufacture of a system of control and display electrodes includes the following basic operations (see Fig. 1-8):
1. Application of a dielectric layer on a transparent insulating plate, for example, Ta 2 O 5 , Al 2 O 3 , SiO 2 , etc .;
2. Deposition of a metal layer and formation by the method of photolithography and etching of conductive strip electrodes;
3. The formation of the dielectric layer of the control MDM structures;
4. Application of a photoresist layer on the formed structure, exposure on the back side of a transparent insulating substrate, the manifestation of the obtained photoresist mask, repeating the pattern of formed strip electrodes;
5. The deposition of an aluminum film and the operation of explosive photolithography, as a result of which Al is removed over the electrodes;
6. Photolithography according to the pattern of the second electrodes;
7. Electrochemical oxidation of Al through a formed mask in an electrolyte based on phosphoric acid;
8. Application of a transparent conductive material and formation by a method of photolithography and etching of a matrix of transparent conductive imaging electrodes.
Как видно из перечисленных операций и фиг. 7, при формировании вторых электродов вместо стандартной операции травления напыленной пленки используется процесс электрохимического окисления алюминиевой пленки, что в совокупности с удалением пленки алюминия над танталовыми полосковыми электродами методом взрывной фотолитографии позволяет избежать формирования топологического рельефа на поверхности активной матрицы выше определенной величины. Однако следует учитывать коэффициент роста оксида Al при электрохимическом окислении пленки алюминия (толщина оксида равна 1,3 толщины исходной пленки Al). Если подобрать соответствующим образом толщины формируемых слоев, то топологический рельеф системы управляющих и отображающих электродов можно практически исключить. As can be seen from the above operations and FIG. 7, when forming the second electrodes, instead of the standard operation of etching the deposited film, the process of electrochemical oxidation of the aluminum film is used, which, together with the removal of the aluminum film above the tantalum strip electrodes by explosive photolithography, avoids the formation of a topological relief on the surface of the active matrix above a certain value. However, one should take into account the growth rate of Al oxide during the electrochemical oxidation of an aluminum film (the thickness of the oxide is 1.3 times the thickness of the initial Al film). If the thicknesses of the formed layers are appropriately selected, then the topological relief of the system of control and display electrodes can be practically eliminated.
П р и м е р. На основании предложенной конструкции системы управляющих и отображающих электродов и способа ее изготовления был изготовлен ЖК экран информационной емкостью 640х400 элементов отображения. PRI me R. Based on the proposed design of the system of control and display electrodes and the method of its manufacture, an LCD screen with an information capacity of 640x400 display elements was manufactured.
Технологический маршрут изготовления системы управляющих и отображающих электродов включал следующие операции:
1. Нанесение на прозрачную изолирующую пластину слоя термического оксида тантала толщиной 200-300 нм;
2. Напыление методом ВЧ магнетронного распыления пленки тантала толщиной 0,3 мкм;
3. Фотолитография по рисунку проводящих полосковых электродов;
4. Плазмохимическое травление танталовой пленки по сформированному рисунку в плазме CF6:
5. Электрохимическое окисление танталовых электродов в 0,01%-ном водном растворе лимонной кислоты при напряжении формовки 30-35В;
6. Отжиг структуры в среде азота или в вакууме при температуре 250оС в течение 90 мин;
7. Нанесение фоторезиста толщиной 0,5 мкм, экспонирование с обратной стороны обрабатываемой подложки, проявление и задубливание фоторезистивной маски;
8. Напыление пленки Al толщиной 0,15 мкм методом электронно-лучевого испарения;
9. Удаление методом взрыва алюминиевой пленки над танталовыми электродами;
10. Фотолитография по рисунку вторых электродов;
11. Электрохимическое окисление Al через сформированную маску в 4%-ном водном растворе фосфорной кислоты в гальваностатическом режиме при напряжении анодирования не более 30 В;
12. Напыление методом ВЧ магнетронного распыления пленки оксида индия-олова толщиной 0,1 мкм и формирование методом фотолитографии и травления матрицы прозрачных проводящих отображающих электродов.The technological route of manufacturing the system of control and display electrodes included the following operations:
1. Application of a layer of thermal tantalum oxide on a transparent insulating plate with a thickness of 200-300 nm;
2. Spraying by RF magnetron sputtering of a tantalum film with a thickness of 0.3 μm;
3. Photolithography according to the pattern of conductive strip electrodes;
4. Plasma-chemical etching of the tantalum film according to the formed pattern in plasma CF 6 :
5. Electrochemical oxidation of tantalum electrodes in a 0.01% aqueous solution of citric acid at a molding voltage of 30-35V;
6. Annealing the structure in nitrogen or in vacuum at a temperature of 250 about C for 90 minutes;
7. Application of a photoresist with a thickness of 0.5 μm, exposure from the back of the processed substrate, the manifestation and subduing of the photoresist mask;
8. Spraying of an Al film 0.15 μm thick by electron beam evaporation;
9. Removal by explosion of an aluminum film over tantalum electrodes;
10. Photolithography according to the pattern of the second electrodes;
11. Electrochemical oxidation of Al through the formed mask in a 4% aqueous solution of phosphoric acid in the galvanostatic mode at anodizing voltage of not more than 30 V;
12. Spraying by a method of RF magnetron sputtering a film of indium-tin oxide with a thickness of 0.1 μm and forming by a method of photolithography and etching a matrix of transparent conducting imaging electrodes.
Исследования толщин формируемых слоев показали, что неравномерность по поверхности активной матрицы составляет не более 0,05 мкм, что позволяет уверенно удерживать зазор в ЖК-экране, соответствующий оптимальным условиям работы ЖК-материала. Studies of the thicknesses of the formed layers showed that the unevenness on the surface of the active matrix is not more than 0.05 μm, which allows you to confidently keep a gap in the LCD screen that corresponds to the optimal operating conditions of the LCD material.
При следующих управляющих напряжениях и характеристиках экрана:
Амплитуда импульсов,
подаваемых на строки
(импульсы сканирова- ния) Не более ±18 В
Амплитуда импульсов,
подаваемых на столбцы
(информационные импуль- сы) Не более ±3 В
Число мультиплексиру- емых строк 400 Время кадра 20 мс Зазор в ЖК экране 6 мкм Используемый эффект Твист ЖК материал ЖК 1289
Нелинейные элементы обеспечивали следующие параметры: Ток включено Не менее 10 Е-7 Ток выключено Не более 10 Е-12
Экспериментальные ЖК экраны обеспечивали следующие светотехнические характеристики: Контраст Не менее 25:1 Угол обзора по горизон- тали Не менее ±65 Угол обзора по верти- кали Не менее ±45
Исследования экспериментальных образцов показали, что ЖК-экран с системой управляющих и отображающих электродов предлагаемой конструкции по основным характеристикам (величинам управляющих напряжений, разрешающей способности, энергопотреблению и др.) не уступает устройству аналогичного назначения (прототипу). В то же время было достигнуто улучшение условий удержания зазора в ЖК-экране с точностью не менее ± 0,1 мкм, что привело к увеличению процента выхода годных изделий в два раза по сравнению со стандартной технологией изготовления ЖК-экранов с активных матриц.With the following control voltages and screen characteristics:
Pulse amplitude
served on lines
(scanning pulses) Not more than ± 18 V
Pulse amplitude
fed to columns
(information pulses) Not more than ± 3 V
Number of multiplexed lines 400 Frame time 20 ms Gap in the
Nonlinear elements provided the following parameters: Current on Not less than 10 E-7 Current off Not more than 10 E-12
The experimental LCD screens provided the following lighting characteristics: Contrast At least 25: 1 Horizontal viewing angle At least ± 65 Vertical viewing angle At least ± 45
Studies of experimental samples showed that the LCD screen with a system of control and display electrodes of the proposed design is not inferior to a device of a similar purpose (prototype) in terms of basic characteristics (values of control voltages, resolution, power consumption, etc.). At the same time, an improvement was achieved in the conditions for retaining the gap in the LCD screen with an accuracy of at least ± 0.1 μm, which led to a doubling of the yield rate of products by a factor of two compared to the standard technology for manufacturing LCD screens with active matrices.
Преимущества предлагаемой конструкции системы управляющих и отображающих электродов для управления ЖК-экранами:
высокая степень планарности активной матрицы, что позволяет улучшить условия удержания зазора в ЖК-экранах и повысить процент выхода годных изделий при сборке;
симметричность и воспроизводимость вольт-амперных характеристик нелинейных элементов со структурой Та-Та2О5-Al.The advantages of the proposed design of a system of control and display electrodes for controlling LCD screens:
a high degree of planarity of the active matrix, which allows to improve the conditions for maintaining the gap in the LCD screens and to increase the percentage of suitable products during assembly;
symmetry and reproducibility of the current-voltage characteristics of nonlinear elements with the structure of Ta-Ta 2 O 5 -Al.
отсутствие миграции ионов щелочных металлов из стекла в слой ЖК материала в собранном экране, за счет дополнительного слоя диэлектрика (пористого оксида Al);
Преимущества предлагаемого способа изготовления системы управляющих и отображающих электродов:
способ позволяет получить планарную поверхность матрицы с высокой степенью точности;
расширенный температурный диапазон технологического процесса за счет использования Al в качестве материала верхнего электрода нелинейных элементов, что позволяет использовать стандартные процессы при сборке ЖК-экранов. the absence of migration of alkali metal ions from glass to the layer of LC material in the assembled screen due to an additional dielectric layer (porous Al oxide);
The advantages of the proposed method of manufacturing a system of control and display electrodes:
the method allows to obtain a planar surface of the matrix with a high degree of accuracy;
extended temperature range of the process due to the use of Al as the material of the upper electrode of nonlinear elements, which allows the use of standard processes in the assembly of LCD screens.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4911997 RU2019863C1 (en) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | Assembly of control and representation electrodes for liquid-crystal screen and method of production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4911997 RU2019863C1 (en) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | Assembly of control and representation electrodes for liquid-crystal screen and method of production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2019863C1 true RU2019863C1 (en) | 1994-09-15 |
Family
ID=21560912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU4911997 RU2019863C1 (en) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | Assembly of control and representation electrodes for liquid-crystal screen and method of production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2019863C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2464606C1 (en) * | 2008-09-12 | 2012-10-20 | Шарп Кабусики Кайся | Active matrix substrate, display panel and display device |
-
1991
- 1991-02-20 RU SU4911997 patent/RU2019863C1/en active
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Morozumi S., Active matrix LCD displays find new in consumer products, JEE, 1986, v.41 N1, р.66-69. * |
| Wisnieff R. et al, A lift - off process of build edge junction MIM octive device orrays, Proc. JDRC, 1988, p.p.248-249. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2464606C1 (en) * | 2008-09-12 | 2012-10-20 | Шарп Кабусики Кайся | Active matrix substrate, display panel and display device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0395161B1 (en) | Mim devices, their method of fabrication and display devices incorporating such devices | |
| US5838398A (en) | Cathode structure for a plasma addressed liquid crystal display panel | |
| RU2019863C1 (en) | Assembly of control and representation electrodes for liquid-crystal screen and method of production | |
| JPH03190141A (en) | Thin-film transistor for plate display and manufacture thereof | |
| JP3271084B2 (en) | Plasma address electro-optical device | |
| JPH01270027A (en) | Liquid crystal display device | |
| JPH0345930A (en) | Two-terminal type nonlinear element | |
| JP3271082B2 (en) | Plasma address electro-optical device | |
| JP2001506018A (en) | Channel plate and flat panel display incorporating the same | |
| RU2031424C1 (en) | Liquid crystal screen | |
| JP3306986B2 (en) | Liquid crystal device manufacturing method | |
| JPH0254577A (en) | Manufacture of thin film transistor | |
| JPH06251718A (en) | Plasma address display deice | |
| JPH08320495A (en) | Liquid crystal display device and its production | |
| JPS6173373A (en) | Thin-film transistor | |
| JPH06308539A (en) | Production of matrix array substrate | |
| JPH06337440A (en) | Mim type nonlinear element and manufacture thereof | |
| JPH01300226A (en) | Matrix array substrate and its manufacture | |
| JP2695827B2 (en) | Matrix array substrate | |
| JPH0572520A (en) | Plasma address electro-optical device | |
| JPH03174123A (en) | Electrooptical device and production thereof | |
| KR920006432B1 (en) | Thin film transistor for plate display and its manufacturing method | |
| JPH0720501A (en) | Nonlinear resistive element and its production | |
| JPH0352277A (en) | Manufacture of nonlinear element | |
| JPH05297415A (en) | Liquid crystal display device and its production |