RU2016145911A - Основанная на моделировании травильной линии оптимизация последовательности подвергаемых травлению полос - Google Patents

Основанная на моделировании травильной линии оптимизация последовательности подвергаемых травлению полос Download PDF

Info

Publication number
RU2016145911A
RU2016145911A RU2016145911A RU2016145911A RU2016145911A RU 2016145911 A RU2016145911 A RU 2016145911A RU 2016145911 A RU2016145911 A RU 2016145911A RU 2016145911 A RU2016145911 A RU 2016145911A RU 2016145911 A RU2016145911 A RU 2016145911A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
computer
etching line
etching
sequences
sequence
Prior art date
Application number
RU2016145911A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2682447C2 (ru
RU2016145911A3 (ru
Inventor
Александер ТЕКАЛЕ
Самуэль ВАЛЬТЕР
Original Assignee
Прайметалз Текнолоджиз Джермани Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=50624442&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2016145911(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Прайметалз Текнолоджиз Джермани Гмбх filed Critical Прайметалз Текнолоджиз Джермани Гмбх
Publication of RU2016145911A publication Critical patent/RU2016145911A/ru
Publication of RU2016145911A3 publication Critical patent/RU2016145911A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2682447C2 publication Critical patent/RU2682447C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
    • G05B13/02—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
    • G05B13/04—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G3/00—Apparatus for cleaning or pickling metallic material
    • C23G3/02—Apparatus for cleaning or pickling metallic material for cleaning wires, strips, filaments continuously
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B13/00—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
    • G05B13/02—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
    • G05B13/04—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
    • G05B13/041—Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators in which a variable is automatically adjusted to optimise the performance
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B17/00—Systems involving the use of models or simulators of said systems
    • G05B17/02—Systems involving the use of models or simulators of said systems electric

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Claims (22)

1. Способ работы травильной линии, в которой должно подвергаться травлению некоторое количество подвергаемых травлению полос (2), которые, соответственно, имеют начальные свойства материала (МЕ), причем способ работы содержит следующие этапы:
а) компьютер (5) устанавливает некоторое количество последовательностей (Gi), которые содержат, соответственно, определенное количество полос (2), подвергаемых травлению,
b) компьютер (5) определяет для установленных последовательностей (Gi) посредством основанной на физико-математических уравнениях модели (9) травильной линии с применением их начальных свойств материала (МЕ) соответствующий оптимизированный режим работы травильной линии и на основе режима работы по меньшей мере одну соответствующую числовую меру (М),
с) до тех пор, пока не выполнен критерий прерывания (K), компьютер (5) изменяет установленные последовательности (Gi) в соответствии с предписанием изменения и возвращается назад к этапу b),
d) как только критерий прерывания (K) выполнен, компьютер (5) либо выбирает одну из установленных последними последовательностей (Gi) и инициирует управление травильной линией в соответствии с выбранной последовательностью (Gi), либо предоставляет оператору (13) несколько из установленных последними последовательностей (Gi) вместе с их соответствующей числовой мерой (М) для выбора, принимает от оператора (13) команду выбора (SEL), чтобы выбрать одну из предложенных последовательностей (Gi), и инициирует управление травильной линией в соответствии с последовательностью (Gi), выбранной оператором (13),
причем в качестве критерия прерывания (K) при необходимости может определяться, что:
- не происходят никакие или происходят только незначительные улучшения наилучшей числовой меры (М) в течение некоторого количества последовательных итераций, и/или
- достигнуто предварительно определенное максимальное число итераций, и/или
- определяется последовательность полос, которая считается достаточно хорошей.
2. Способ работы по п. 1, отличающийся тем, что свойства материала (МЕ) полос (2) включают в себя химический состав (С) и/или геометрические параметры (b, h) и/или предысторию (Н) соответствующей полосы (2).
3. Способ работы по п. 1 или 2, отличающийся тем, что компьютер (5) дополнительно принимает относящиеся к полосам (2) и/или относящиеся к травильной линии граничные условия (R1, R2), и что компьютер (5) учитывает граничные условия (R1, R2) в рамках определения соответствующего оптимизированного режима работы травильной линии и/или изменения последовательностей (Gi).
4. Способ работы по пп. 1, 2 или 3, отличающийся тем, что компьютер (5) принимает начальное состояние (ZA) травильной линии и учитывает начальное состояние (ZA) травильной линии в рамках определения соответствующего оптимизированного режима работы травильной линии и/или изменении последовательностей (Gi).
5. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что компьютер (5) определяет перед выполнением этапа а) начальную последовательность (GA) полос (2), и компьютер (5) определяет количество последовательностей (Gi) на этапе а) на основе начальной последовательности (GA).
6. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что в числовые меры (М) входят общая длительность процесса (ti) и/или общая потребность в энергии (Ei) травильной линии для травления количества полос (2) согласно соответствующей последовательности (Gi).
7. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что компьютер (5) изменяет установленные последовательности (Gi) на этапе с), учитывая определенные на этапе b) величины или промежуточные результаты.
8. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что компьютер (5) изменяет установленные последовательности (Gi) на этапе с) с применением методов математической оптимизации.
9. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что этапы а)-d) выполняют во время того, когда полоса (2) уже находится в травильной линии, причем находящаяся в травильной линии полоса (2) в устанавливаемых на этапе а) последовательностях (Gi) является первой полосой (2), и причем находящаяся в травильной линии полоса (2) в изменяемых на этапе с) последовательностях (Gi) остается первой полосой (2).
10. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что во время управления травильной линией согласно выбранной последовательности (Gi) регистрируют рабочие данные травильной линии, и причем модель (9) травильной линии и/или предписание изменения адаптируют на основе отклонения рабочих данных травильной линии от ожидаемых рабочих данных травильной линии.
11. Машиночитаемый программный код для компьютера (5), причем программный код содержит управляющие команды (8), выполнение которых вызывает то, что компьютер (5) выполняет способ работы по любому из предыдущих пунктов.
12. Программный код по п. 11, отличающийся тем, что программный код сохранен на носителе (7) данных.
13. Компьютер, программируемый программным кодом (6) по п. 11.
14. Компьютер по п. 13, отличающийся тем, что компьютер (5) выполнен как устройство (4) управления для травильной линии для травления полос (2) или связан информационно-технически с таким устройством (4) управления.
RU2016145911A 2014-04-24 2015-03-25 Основанная на моделировании травильной линии оптимизация последовательности подвергаемых травлению полос RU2682447C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP14165815.3A EP2937747A1 (de) 2014-04-24 2014-04-24 Auf Modellierung einer Beizlinie beruhende Optimierung einer Sequenz von zu beizenden Bändern
EP14165815.3 2014-04-24
PCT/EP2015/056344 WO2015161975A2 (de) 2014-04-24 2015-03-25 Auf modellierung einer beizlinie beruhende optimierung einer sequenz von zu beizenden bändern

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2016145911A true RU2016145911A (ru) 2018-05-24
RU2016145911A3 RU2016145911A3 (ru) 2018-08-31
RU2682447C2 RU2682447C2 (ru) 2019-03-19

Family

ID=50624442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016145911A RU2682447C2 (ru) 2014-04-24 2015-03-25 Основанная на моделировании травильной линии оптимизация последовательности подвергаемых травлению полос

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11053596B2 (ru)
EP (2) EP2937747A1 (ru)
CN (1) CN106462120B (ru)
RU (1) RU2682447C2 (ru)
WO (1) WO2015161975A2 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2937747A1 (de) * 2014-04-24 2015-10-28 Siemens Aktiengesellschaft Auf Modellierung einer Beizlinie beruhende Optimierung einer Sequenz von zu beizenden Bändern
CN105785963B (zh) * 2016-05-18 2018-08-10 中南大学 一种基于人工蜂群算法的炼钢连铸调度方法
CN106054616B (zh) * 2016-07-27 2018-12-14 昆明理工大学 模糊逻辑优化pid控制器参数的钛带卷连续酸洗活套高度控制方法
CN110520805B (zh) * 2017-04-18 2022-12-06 首要金属科技德国有限责任公司 过程模型的建模优化

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6410351B1 (en) * 2000-07-13 2002-06-25 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for modeling thickness profiles and controlling subsequent etch process
WO2003023075A1 (en) * 2001-09-13 2003-03-20 Ak Properties, Inc. Method of producing (110)[001] grain oriented electrical steel using strip casting
ITRM20010747A1 (it) * 2001-12-19 2003-06-19 Ct Sviluppo Materiali Spa Procedimento a ridotto impatto ambientale e relativo impianto per descagliare, decapare e finire/passivare, in modo continuo, integrato e fl
WO2003080502A1 (en) 2002-03-25 2003-10-02 Matvice Ehf. A method and apparatus for processing nanoscopic structures
DE10306273A1 (de) 2003-02-14 2004-09-02 Siemens Ag Mathematisches Modell für eine hüttentechnische Anlage und Optimierungsverfahren für den Betrieb einer hüttentechnischen Anlage unter Verwendung eines derartigen Modells
US7127358B2 (en) * 2004-03-30 2006-10-24 Tokyo Electron Limited Method and system for run-to-run control
US7242998B2 (en) * 2005-03-07 2007-07-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Etching operation management systems and methods
US20070122920A1 (en) 2005-11-29 2007-05-31 Bornstein William B Method for improved control of critical dimensions of etched structures on semiconductor wafers
FR2925530B1 (fr) * 2007-12-21 2010-08-27 Siemens Vai Metals Tech Sas Installation et procede pour le decapage en continu de bandes d'acier
US8019458B2 (en) * 2008-08-06 2011-09-13 Tokyo Electron Limited Creating multi-layer/multi-input/multi-output (MLMIMO) models for metal-gate structures
JP5784634B2 (ja) * 2010-01-11 2015-09-24 コレン コーポレーション 金属表面のスケール調整
WO2014082189A1 (zh) * 2012-11-30 2014-06-05 宝山钢铁股份有限公司 冷轧酸洗酸浓度控制方法和装置
US20160045841A1 (en) * 2013-03-15 2016-02-18 Transtar Group, Ltd. New and improved system for processing various chemicals and materials
EP2937747A1 (de) * 2014-04-24 2015-10-28 Siemens Aktiengesellschaft Auf Modellierung einer Beizlinie beruhende Optimierung einer Sequenz von zu beizenden Bändern
CN105483310B (zh) * 2015-11-23 2017-05-10 东北大学 一种面向全流程生产的炼钢组批与排产方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015161975A2 (de) 2015-10-29
EP3134775B1 (de) 2018-05-09
CN106462120A (zh) 2017-02-22
WO2015161975A3 (de) 2016-03-17
US20170044676A1 (en) 2017-02-16
RU2682447C2 (ru) 2019-03-19
EP3134775A2 (de) 2017-03-01
CN106462120B (zh) 2019-11-19
RU2016145911A3 (ru) 2018-08-31
US11053596B2 (en) 2021-07-06
EP2937747A1 (de) 2015-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2016145911A (ru) Основанная на моделировании травильной линии оптимизация последовательности подвергаемых травлению полос
JP2022160577A5 (ru)
JP2015057697A5 (ru)
JP2017073142A5 (ru)
JP2015011722A5 (ru)
JP2011030163A5 (ja) 撮像制御装置、撮像方法、プログラム
JP2011034267A5 (ru)
JP2015173941A5 (ru)
MX2016010454A (es) Metodo para evaluar automaticamente una ausencia de electroencefalograma (eeg), programa de ordenador y dispositivo de evaluacion del mismo.
EP2792856A3 (en) Steam turbine power plant
JP2018079330A5 (ru)
CN104317894A (zh) 样本标注的确定方法和装置
TR201718988A2 (tr) Bi̇r ci̇hazin çalişmasini kontrol etmek i̇çi̇n si̇stemler ve yöntemler
JP2014079941A5 (ru)
RU2013124363A (ru) Кодирующее и декодирующее устройство для низкоскоростных сигналов
JP2015220505A5 (ru)
DE112016001566A5 (de) Verfahren zum betrieb einer waschmaschine mit schaumdetektion durch eine motorstromauswertung sowie hierzu geeignete waschmaschine
RU2017100479A (ru) Адаптивное акцентирование в качестве услуги
JP2015018325A5 (ru)
JP2017049801A5 (ru)
RU2017115665A (ru) Способ и устройство для уведомления о разрешении полностью отключать газотурбинный двигатель летательного аппарата
RU2017101704A (ru) Способ контроля управляющего устройства транспортного средства
JP2017010111A (ja) ノイズデータ除去支援装置、方法、および、プログラム
JP2015166724A5 (ru)
RU2015116891A (ru) Системы и способы для переупорядочивания последовательных действий