Claims (2)
1. Способ обработки рабочих поверхностей деталей газотурбинных установок, включающий нанесение защитного оксидного покрытия на предварительно механически обработанные и подготовленные поверхности деталей, последующее формирование на металлической поверхности композитной структуры металл-оксид при совместном реактивном распылении металлов, отличающийся тем, что в наносимом покрытии создают градиентный переходной слой из градиентного нанокомпозитного материала, содержащего две фазы: металлическую фазу с составом, соответствующим составу защищаемой поверхности, которую и диэлектрическую фазу, преимущественно, оксид циркония различной стехиометрии, которую наносят на упомянутую металлическую фазу, при этом соотношение фаз в переходном слое изменяют с возрастанием доли оксидной фазы по мере увеличения толщины пленки, обеспечивая при этом плавный переход от металлического материала к оксиду без межфазной границы макроскопического размера.1. The method of processing the working surfaces of parts of gas turbine plants, including applying a protective oxide coating to pre-machined and prepared surfaces of the parts, the subsequent formation of a metal-oxide composite structure on the metal surface during joint reactive spraying of metals, characterized in that a gradient transition is created in the applied coating a layer of a gradient nanocomposite material containing two phases: a metal phase with a composition corresponding to the composition of the surface to be protected, which is also the dielectric phase, mainly zirconium oxide of various stoichiometry, which is applied to the said metal phase, while the phase ratio in the transition layer changes with increasing proportion of the oxide phase as the film thickness increases, while ensuring a smooth transition from the metal material to oxide without a macroscopic interface.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для создания упомянутого градиентного переходного слоя используют магнетронную систему с двумя магнетронами, причем при помощи первого магнетрона распыляют мишень с металлическим сплавом, состав которого соответствует составу металлического изделия, и, преимущественно, содержащую никель, а при помощи второго магнетрона распыляют мишень из циркония с добавками стабилизирующих элементов, преимущественно, иттрия, причем первоначальное распыление мишеней осуществляют в атмосфере аргона таким образом, что интенсивность атомного потока, сформированного от первой никелевой мишени, превышает интенсивность атомного потока от циркониевой мишени, при этом, после формирования первичного сплошного металлического слоя, в рабочую камеру добавляют кислород, и придают процессу напыления характер реактивного, с образованием в напыляемой пленке оксида циркония при неокисленном никеле, при этом, в процессе напыления, парциальное давление кислорода плавно увеличивают до давления порядка 1,5·10-3 Па, а мощность первого магнетрона, распыляющего мишень с металлическим сплавом, уменьшают вплоть до его полного отключения, после чего продолжают напыление чистого оксида циркония до достижения им требуемой толщины, обеспечивая при этом требуемую наноструктурированность получаемого покрытия.
2. The method according to p. 1, characterized in that to create the aforementioned gradient transition layer using a magnetron system with two magnetrons, and using the first magnetron spray a target with a metal alloy, the composition of which corresponds to the composition of the metal product, and mainly containing Nickel, and using a second magnetron, a zirconium target is sprayed with additives of stabilizing elements, mainly yttrium, and the initial sputtering of the targets is carried out in an argon atmosphere in this way m, that the intensity of the atomic flux generated from the first nickel target exceeds the intensity of the atomic flux from the zirconium target, and, after the formation of the primary continuous metal layer, oxygen is added to the working chamber and the deposition process is given the character of a reactive one, with the formation of oxide in the sprayed film zirconium with non-oxidized nickel, while in the process of sputtering, the partial pressure of oxygen gradually increases to a pressure of the order of 1.5 · 10 -3 Pa, and the power of the first magnetron sputtering mish If the metal alloy is used, it is reduced until it is completely turned off, after which the spraying of pure zirconium oxide is continued until it reaches the required thickness, while ensuring the required nanostructured coating.