Claims (2)
1. Способ нанесения композитного оксидного покрытия на металлическую поверхность, включающий формирование на металлической поверхности композитной структуры металл-оксид при совместном реактивном распылении металлов, отличающийся тем, в получаемом покрытии из оксида циркония, стабилизированного иттрием, создают градиентный переходный слой из градиентного нанокомпозитного материала, содержащего две фазы: металлическую фазу с составом, соответствующим составу защищаемой поверхности, и расположенную в непосредственной близости от защищаемой поверхности и диэлектрическую фазу, преимущественно, оксид циркония различной стехиометрии, нанесенную на упомянутую металлическую фазу, при этом соотношение фаз в переходном слое изменяется с возрастанием доли оксидной фазы по мере увеличения толщины пленки, обеспечивая при этом плавный переход от металлического материала к оксиду.1. A method of applying a composite oxide coating to a metal surface, comprising forming a metal-oxide composite structure on the metal surface by co-reactive spraying of metals, characterized in that in the resulting coating of yttrium stabilized zirconia, a gradient transition layer is created from a gradient nanocomposite material containing two phases: a metal phase with a composition corresponding to the composition of the surface to be protected, and located in close proximity to protects the surface and a dielectric phase, preferably zirconium oxide of varying stoichiometry deposited on said metal phase, wherein the ratio of phases in the transition layer varies with the proportion of the oxide phase increases with increasing film thickness while providing a smooth transition from the metallic to the oxide material.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для создания указанного градиентного переходного слоя используют магнетронную систему с двумя магнетронами, причем при помощи первого магнетрона распыляют мишень с металлическим сплавом, состав которого соответствует составу металлического изделия, и, преимущественно, содержащую никель, а при помощи второго магнетрона распыляют мишень из циркония с добавками стабилизирующих элементов, преимущественно, иттрия, причем первоначальное распыление мишеней осуществляют в атмосфере аргона таким образом, что интенсивность атомного потока, сформированного от первой никелевой мишени, превышает интенсивность атомного потока от циркониевой мишени, при этом, после формирования первичного сплошного металлического слоя, в рабочую камеру добавляют кислород, и придают процессу напыления характер реактивного, с образованием в напыляемой пленке оксида циркония при неокисленном никеле, при этом, в процессе напыления, парциальное давление кислорода плавно увеличивают до давления порядка 1,5·10-3 Па, а мощность первого магнетрона, распыляющего мишень с металлическим сплавом, уменьшают вплоть до его полного отключения, после чего продолжают напыление чистого оксида циркония до достижения им требуемой толщины.
2. The method according to p. 1, characterized in that to create the specified gradient transition layer using a magnetron system with two magnetrons, and using the first magnetron spray a target with a metal alloy, the composition of which corresponds to the composition of the metal product, and mainly containing Nickel, and using a second magnetron, a zirconium target is sprayed with additives of stabilizing elements, mainly yttrium, and the initial sputtering of the targets is carried out in an argon atmosphere in this way that the intensity of the atomic flux generated from the first nickel target exceeds the intensity of the atomic flux from the zirconium target, and, after the formation of the primary continuous metal layer, oxygen is added to the working chamber and the deposition process is given the character of a reactive one, with the formation of zirconium oxide in the sprayed film with unoxidized nickel, in this case, during the deposition process, the partial pressure of oxygen gradually increases to a pressure of the order of 1.5 · 10 -3 Pa, and the power of the first magnetron sputtering miche alloy with a metal alloy is reduced until it is completely turned off, after which they continue to spray pure zirconium oxide until it reaches the required thickness.