RU2014117826A - METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE - Google Patents

METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE Download PDF

Info

Publication number
RU2014117826A
RU2014117826A RU2014117826/02A RU2014117826A RU2014117826A RU 2014117826 A RU2014117826 A RU 2014117826A RU 2014117826/02 A RU2014117826/02 A RU 2014117826/02A RU 2014117826 A RU2014117826 A RU 2014117826A RU 2014117826 A RU2014117826 A RU 2014117826A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
metal
composition
target
zirconium oxide
magnetron
Prior art date
Application number
RU2014117826/02A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Олег Владимирович Стогней
Сергей Георгиевич Валюхов
Валерий Евгеньевич Бурыкин
Максим Сергеевич Филатов
Владимир Викторович Черниченко
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет"
Priority to RU2014117826/02A priority Critical patent/RU2014117826A/en
Publication of RU2014117826A publication Critical patent/RU2014117826A/en

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

1. Способ улучшения адгезионных свойств композитных покрытий на основе оксида циркония, включающий нанесение оксидного покрытия на металлическую поверхность, формирование на металлической поверхности композитной структуры металл-оксид при совместном реактивном распылении металлов, отличающийся тем, что в получаемом покрытии из оксида циркония, стабилизированного иттрием, создают градиентный переходный слой, содержащий две фазы - металлическую фазу с составом, соответствующим составу защищаемой поверхности, и диэлектрическую фазу, содержащую, преимущественно, оксид циркония различной стехиометрии, нанесенную на упомянутую металлическую фазу.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что получения упомянутого градиентного переходного слоя используют магнетронную систему с двумя магнетронами, при этом при помощи первого магнетрона распыляют мишень с металлическим сплавом, состав которого соответствует составу металлического изделия, и, преимущественно, содержащую никель, а при помощи второго магнетрона распыляют мишень из циркония с добавками стабилизирующих элементов, преимущественно, иттрия, причем первоначальное распыление мишеней осуществляют в атмосфере аргона таким образом, что интенсивность атомного потока, сформированного от первой никелевой мишени, превышает интенсивность атомного потока от циркониевой мишени, при этом, после формирования первичного сплошного металлического слоя, в рабочую камеру добавляют кислород, и придают процессу напыления характер реактивного, с образованием в напыляемой пленке оксида циркония при неокисленном никеле, при этом, в процессе напыления, парциальное давл1. A method of improving the adhesive properties of zirconium oxide composite coatings, comprising applying an oxide coating to a metal surface, forming a metal-oxide composite structure on a metal surface by co-reactive spraying of metals, characterized in that in the resulting yttrium stabilized zirconia coating, create a gradient transition layer containing two phases - a metal phase with a composition corresponding to the composition of the surface to be protected, and a dielectric phase, with predominantly zirconium oxide containing various stoichiometry deposited on said metal phase. 2. A method according to claim 1, characterized in that the production of the said gradient transition layer uses a magnetron system with two magnetrons, while using the first magnetron a target is sprayed with a metal alloy, the composition of which corresponds to the composition of the metal product, and mainly containing nickel, and when using a second magnetron, they spray a target from zirconium with additives of stabilizing elements, mainly yttrium, and the initial sputtering of the targets is carried out in an argon atmosphere in this way that the intensity of the atomic flux generated from the first nickel target exceeds the intensity of the atomic flux from the zirconium target; moreover, after the formation of the primary continuous metal layer, oxygen is added to the working chamber and the deposition process is reactive, with the formation of zirconium oxide in the sprayed film non-oxidized nickel, while in the process of spraying, partial pressure

Claims (2)

1. Способ улучшения адгезионных свойств композитных покрытий на основе оксида циркония, включающий нанесение оксидного покрытия на металлическую поверхность, формирование на металлической поверхности композитной структуры металл-оксид при совместном реактивном распылении металлов, отличающийся тем, что в получаемом покрытии из оксида циркония, стабилизированного иттрием, создают градиентный переходный слой, содержащий две фазы - металлическую фазу с составом, соответствующим составу защищаемой поверхности, и диэлектрическую фазу, содержащую, преимущественно, оксид циркония различной стехиометрии, нанесенную на упомянутую металлическую фазу.1. A method of improving the adhesive properties of zirconium oxide composite coatings, comprising applying an oxide coating to a metal surface, forming a metal-oxide composite structure on a metal surface by co-reactive spraying of metals, characterized in that in the resulting yttrium stabilized zirconia coating, create a gradient transition layer containing two phases - a metal phase with a composition corresponding to the composition of the surface to be protected, and a dielectric phase, with containing mainly zirconium oxide of various stoichiometry deposited on said metal phase. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что получения упомянутого градиентного переходного слоя используют магнетронную систему с двумя магнетронами, при этом при помощи первого магнетрона распыляют мишень с металлическим сплавом, состав которого соответствует составу металлического изделия, и, преимущественно, содержащую никель, а при помощи второго магнетрона распыляют мишень из циркония с добавками стабилизирующих элементов, преимущественно, иттрия, причем первоначальное распыление мишеней осуществляют в атмосфере аргона таким образом, что интенсивность атомного потока, сформированного от первой никелевой мишени, превышает интенсивность атомного потока от циркониевой мишени, при этом, после формирования первичного сплошного металлического слоя, в рабочую камеру добавляют кислород, и придают процессу напыления характер реактивного, с образованием в напыляемой пленке оксида циркония при неокисленном никеле, при этом, в процессе напыления, парциальное давление кислорода плавно увеличивают до давления порядка 1,5·10-3 Па, а мощность первого магнетрона, распыляющего мишень с металлическим сплавом, уменьшают вплоть до его полного отключения, после чего продолжают напыление чистого оксида циркония до достижения им требуемой толщины. 2. The method according to p. 1, characterized in that the receipt of the aforementioned gradient transition layer using a magnetron system with two magnetrons, while using the first magnetron spray a target with a metal alloy, the composition of which corresponds to the composition of the metal product, and mainly containing Nickel, and using a second magnetron, a zirconium target is sprayed with additives of stabilizing elements, mainly yttrium, and the initial sputtering of the targets is carried out in an argon atmosphere in this way that the intensity of the atomic flux generated from the first nickel target exceeds the intensity of the atomic flux from the zirconium target, and, after the formation of the primary continuous metal layer, oxygen is added to the working chamber and the deposition process is given the character of a reactive one, with the formation of zirconium oxide in the sprayed film with unoxidized nickel, in this case, during the deposition process, the partial pressure of oxygen gradually increases to a pressure of the order of 1.5 · 10 -3 Pa, and the power of the first magnetron sputtering miche alloy with a metal alloy is reduced until it is completely turned off, after which they continue to spray pure zirconium oxide until it reaches the required thickness.
RU2014117826/02A 2014-04-29 2014-04-29 METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE RU2014117826A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014117826/02A RU2014117826A (en) 2014-04-29 2014-04-29 METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014117826/02A RU2014117826A (en) 2014-04-29 2014-04-29 METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2014117826A true RU2014117826A (en) 2015-11-10

Family

ID=54536224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014117826/02A RU2014117826A (en) 2014-04-29 2014-04-29 METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2014117826A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BRPI0907265A2 (en) Method for the production of metal oxide layers by arc spraying, metallurgical powder target, metal oxide layer and its use.
CA2916769C (en) Tib2 layers and manufacture thereof
TWI547574B (en) Device housing and manufacture method
RU2014117429A (en) METHOD FOR INCREASING ADHESION STRENGTH OF COMPOSITE OXIDE COATINGS
RU2014117826A (en) METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE
RU2014108807A (en) NANOSTRUCTURAL COATING FROM ZIRCONIUM OXIDE AND METHOD OF ITS APPLICATION
RU2013132038A (en) METHOD FOR PRODUCING MULTI-LAYERED GRADIENT COATING BY MAGNETRON SPRAYING METHOD
TW201522711A (en) Housing and manufacture method for same
RU2014117825A (en) METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE
RU2014117824A (en) METHOD FOR IMPROVING ADHESION PROPERTIES OF COMPOSITE COATINGS BASED ON ZIRCONIUM OXIDE
RU2014108803A (en) METHOD FOR APPLICATION OF OXIDE COATING ON METAL SURFACE
RU2014118299A (en) METHOD FOR PROCESSING WORKING SURFACES OF PARTS FOR VANE MACHINES
RU2014117430A (en) METHOD FOR INCREASING ADHESION STRENGTH OF COMPOSITE OXIDE COATINGS
RU2014118041A (en) METHOD FOR APPLYING A COMPOSITE OXIDE COATING ON A METAL SURFACE
RU2014118301A (en) METHOD FOR PROCESSING WORKING SURFACES OF GAS-TURBINE INSTALLATIONS
RU2014108809A (en) METHOD FOR INCREASING HEAT RESISTANCE AND HEAT RESISTANCE OF COMPOSITE OXIDE COATINGS
RU2009114631A (en) METHOD FOR APPLYING METAL COATINGS ON PRODUCTS FROM CERAMICS
RU2014118303A (en) METHOD FOR APPLYING A COMPOSITE OXIDE COATING ON A METAL SURFACE
RU2014118043A (en) METHOD FOR PROCESSING WORKING SURFACES OF PARTS FOR GAS-TURBINE UNITS
RU2014118087A (en) METHOD FOR PROCESSING WORKING SURFACES OF PARTS FOR VANE MACHINES
RU2009138176A (en) METHOD FOR PRODUCING NANOSTRUCTURED GRADIENT OXIDE COATING OF CATALYTIC CLASS BY MAGNETRON SPRAYING METHOD
JPWO2020234484A5 (en)
CN104513962A (en) Method for preparing titanium nitride film on magnesium alloy through magnetron sputtering
PL415523A1 (en) Method for improving performance properties of magnesium alloys
UA102872U (en) METHOD OF FORMATION OF INSULATING MAGNUM OXIDE COATING ON HEATING ELEMENT

Legal Events

Date Code Title Description
FA91 Application withdrawn (on applicant's request)

Effective date: 20160309