RU2014103412A - Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия - Google Patents
Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014103412A RU2014103412A RU2014103412/28A RU2014103412A RU2014103412A RU 2014103412 A RU2014103412 A RU 2014103412A RU 2014103412/28 A RU2014103412/28 A RU 2014103412/28A RU 2014103412 A RU2014103412 A RU 2014103412A RU 2014103412 A RU2014103412 A RU 2014103412A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrates
- niobium
- oxygen
- nitric oxide
- niobium oxide
- Prior art date
Links
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия, включающий обработку подложек гомогенной газовой смесью четыреххлористого ниобия и кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке гомогенной газовой смесью с добавкой оксида азота при молярном соотношении четыреххлористого ниобия к кислороду и оксиду азота, соответственно равном 1:1:(1,58-2,2), обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 140-300°С при скорости газового потока 15-20 л/ч.
Claims (1)
- Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия, включающий обработку подложек гомогенной газовой смесью четыреххлористого ниобия и кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке гомогенной газовой смесью с добавкой оксида азота при молярном соотношении четыреххлористого ниобия к кислороду и оксиду азота, соответственно равном 1:1:(1,58-2,2), обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 140-300°С при скорости газового потока 15-20 л/ч.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014103412/28A RU2014103412A (ru) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014103412/28A RU2014103412A (ru) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014103412A true RU2014103412A (ru) | 2015-08-10 |
Family
ID=53795743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014103412/28A RU2014103412A (ru) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2014103412A (ru) |
-
2014
- 2014-01-31 RU RU2014103412/28A patent/RU2014103412A/ru not_active Application Discontinuation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY195318A (en) | Multispecific Antibody Constructs | |
| FI20165606A (fi) | Lämpökäsittely | |
| MX2016000314A (es) | Tratamiento de suspension liquida de gluten para reducir o remover aflatoxina. | |
| MY161721A (en) | Bonding Wire for Semiconductor Device Use and Method of Production of Same | |
| WO2015123720A8 (en) | Plasma hydrogel therapy | |
| SA518400347B1 (ar) | إنتاج اليوريا مع البيوريت المُتحكم فيه | |
| WO2016070205A3 (en) | Production of a spinel material | |
| MY168445A (en) | Heat treatment method of synthetic quartzglas | |
| SG10201811078XA (en) | Method Of Treatment Of Hypoxia Inducible Factor (HIF)-Related Conditions | |
| JP2014229900A5 (ru) | ||
| MY187147A (en) | A system for continuously preparing coated particles in a large scale | |
| NZ727292A (en) | Methods of treating incontinence and other sphincter deficiency disorders | |
| RU2014103412A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия | |
| RU2014103410A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана | |
| WO2016209333A3 (en) | Eliminating emissive sub-bandgap states in nanocrystals | |
| MD4280C1 (ru) | Способ роста структуры pInP-nCdS | |
| WO2014140924A3 (en) | Biological devices and methods for increasing the production of lycopene from plants | |
| PH12015502710B1 (en) | Bonding wire for semiconductor device use and method of production of same | |
| MX2018004663A (es) | Imagenologia bidimensional con procesamiento de multiples etapas. | |
| MX2016004887A (es) | Determinacion del grado de ramificacion. | |
| RU2013100540A (ru) | Способ формирования диэлектрической пленки | |
| UA92511U (ru) | Способ адсорбционной очистки питьевой воды от ионов аммония | |
| RU2007106826A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана | |
| RU2014148377A (ru) | Способ повышения конструктивной прочности конструкционных металлических материалов и изделий из них | |
| RU2008102628A (ru) | Способ получения фосфоросиликатных пленок |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20150529 |