RU2014103410A - Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана - Google Patents
Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014103410A RU2014103410A RU2014103410/28A RU2014103410A RU2014103410A RU 2014103410 A RU2014103410 A RU 2014103410A RU 2014103410/28 A RU2014103410/28 A RU 2014103410/28A RU 2014103410 A RU2014103410 A RU 2014103410A RU 2014103410 A RU2014103410 A RU 2014103410A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrates
- titanium oxide
- oxygen
- homogeneous mixture
- nitric oxide
- Prior art date
Links
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана, включающий обработку подложек гомогенной смесью четыреххлористого титана и кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке гомогенной смесью с добавкой оксида азота при молярном соотношении четыреххлористого титана к кислороду и оксиду азота, соответственно равном 1:1:(3,8-4,2), обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 160-300°C при скорости газового потока 15-20 л/ч.
Claims (1)
- Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана, включающий обработку подложек гомогенной смесью четыреххлористого титана и кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке гомогенной смесью с добавкой оксида азота при молярном соотношении четыреххлористого титана к кислороду и оксиду азота, соответственно равном 1:1:(3,8-4,2), обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 160-300°C при скорости газового потока 15-20 л/ч.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014103410/28A RU2014103410A (ru) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014103410/28A RU2014103410A (ru) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014103410A true RU2014103410A (ru) | 2015-08-10 |
Family
ID=53795741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014103410/28A RU2014103410A (ru) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2014103410A (ru) |
-
2014
- 2014-01-31 RU RU2014103410/28A patent/RU2014103410A/ru unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MX2016000314A (es) | Tratamiento de suspension liquida de gluten para reducir o remover aflatoxina. | |
| FI20165606A (fi) | Lämpökäsittely | |
| JP2015035607A5 (ru) | ||
| WO2015123720A8 (en) | Plasma hydrogel therapy | |
| MX2020002852A (es) | Tratamiento mejorado de dermatitis atopica con tradipitant. | |
| MY161721A (en) | Bonding Wire for Semiconductor Device Use and Method of Production of Same | |
| WO2016070205A3 (en) | Production of a spinel material | |
| EA201792096A2 (ru) | РАППγ АГОНИСТЫ ДЛЯ ЛЕЧЕНИЯ РАССЕЯННОГО СКЛЕРОЗА | |
| MX2017006026A (es) | Apilimod para uso en el tratamiento de cancer colorrectal. | |
| MX2017002796A (es) | Tasimelteon para tratar el sindrome de smith-magenis. | |
| SG10201811078XA (en) | Method Of Treatment Of Hypoxia Inducible Factor (HIF)-Related Conditions | |
| JP2014229900A5 (ru) | ||
| WO2019040105A3 (en) | COMPOUNDS, SALTS THEREOF AND METHODS FOR THE TREATMENT OF DISEASES | |
| NZ727292A (en) | Methods of treating incontinence and other sphincter deficiency disorders | |
| RU2014103410A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана | |
| RU2014103412A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия | |
| TWD184739S (zh) | 排氣配管 | |
| MX2018004663A (es) | Imagenologia bidimensional con procesamiento de multiples etapas. | |
| MX2016004887A (es) | Determinacion del grado de ramificacion. | |
| RU2013100540A (ru) | Способ формирования диэлектрической пленки | |
| RU2007106826A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана | |
| UA92511U (ru) | Способ адсорбционной очистки питьевой воды от ионов аммония | |
| RU2014148377A (ru) | Способ повышения конструктивной прочности конструкционных металлических материалов и изделий из них | |
| WO2016033160A3 (en) | Methods for controlling cell fate and consequences for disease | |
| RU2013137977A (ru) | Способ формирования р-области |