RU2008102628A - Способ получения фосфоросиликатных пленок - Google Patents
Способ получения фосфоросиликатных пленок Download PDFInfo
- Publication number
- RU2008102628A RU2008102628A RU2008102628/28A RU2008102628A RU2008102628A RU 2008102628 A RU2008102628 A RU 2008102628A RU 2008102628/28 A RU2008102628/28 A RU 2008102628/28A RU 2008102628 A RU2008102628 A RU 2008102628A RU 2008102628 A RU2008102628 A RU 2008102628A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrates
- oxygen
- nitric oxide
- phosphorus trichloride
- phosphorosilicate
- Prior art date
Links
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
Способ получения фосфоросиликатных пленок, включающий обработку подложек смесью трихлорида фосфора, кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке смесью с добавкой окиси азота при расходе компонентов: трихлорида фосфора, кислорода и оксид азота при следующем, соотношении газов: трихлорида фосфора PCl3=18 л/ч; кислорода O2=20±0,5 л/ч, окись азота NO=200±10 л/ч, обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 250-400°C.
Claims (1)
- Способ получения фосфоросиликатных пленок, включающий обработку подложек смесью трихлорида фосфора, кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке смесью с добавкой окиси азота при расходе компонентов: трихлорида фосфора, кислорода и оксид азота при следующем, соотношении газов: трихлорида фосфора PCl3=18 л/ч; кислорода O2=20±0,5 л/ч, окись азота NO=200±10 л/ч, обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 250-400°C.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008102628/28A RU2407105C2 (ru) | 2008-01-22 | 2008-01-22 | Способ получения фосфоросиликатных пленок |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008102628/28A RU2407105C2 (ru) | 2008-01-22 | 2008-01-22 | Способ получения фосфоросиликатных пленок |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008102628A true RU2008102628A (ru) | 2010-02-27 |
| RU2407105C2 RU2407105C2 (ru) | 2010-12-20 |
Family
ID=42127429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008102628/28A RU2407105C2 (ru) | 2008-01-22 | 2008-01-22 | Способ получения фосфоросиликатных пленок |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2407105C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2524149C1 (ru) * | 2013-01-09 | 2014-07-27 | Федеральное Государственное Бюджетное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Дагестанский Государственный Технический Университет" (Дгту) | Способ получения стекла из пятиокиси фосфора |
-
2008
- 2008-01-22 RU RU2008102628/28A patent/RU2407105C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2407105C2 (ru) | 2010-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2008073926A3 (en) | Formation of epitaxial layers containing silicon | |
| JP2013545275A5 (ru) | ||
| MX2010011611A (es) | Metodo de recubrimiento de zinc por difusion. | |
| WO2009148913A3 (en) | Method for treating substrates | |
| EP2532013A4 (en) | METHOD AND SYSTEM FOR MANUFACTURING CERAMIC WIRE, AND SUPERCONDUCTING WIRE USING THE SAME | |
| SA518392093B1 (ar) | جهاز مُعالجة جبس مُكلس وطريقة مُعالجة جبس مُكلس | |
| MX2016008291A (es) | Procedimiento integrado de oxicombustion y de produccion de oxigeno. | |
| JP2014510417A5 (ru) | ||
| WO2015040047A3 (en) | Exhaust treatment apparatus and method | |
| MX2015005835A (es) | Un fluido de tratamiento de petroleo o gas que contiene un complejo quelante o de coordinacion que se solidifica. | |
| RU2008102628A (ru) | Способ получения фосфоросиликатных пленок | |
| CN104671812A (zh) | 稳定氧化锆粉纤维毡的生产方法 | |
| WO2009041214A1 (ja) | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | |
| EA201291110A1 (ru) | Источник и устройство для обработки подложки | |
| RU2008127042A (ru) | Способ получения наночастиц оксида металла | |
| ATE555281T1 (de) | Verfahren zum regenerieren eines abgasreinigungsfilters sowie verdampfer | |
| RU2007106834A (ru) | Способ получения защитных пленок на основе окиси гафния | |
| RU2007106833A (ru) | Способ получения пленок оксида циркония | |
| RU2007128355A (ru) | Способ получения пленок оксида циркония | |
| JP2010527794A5 (ru) | ||
| RU2014103412A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида ниобия | |
| CN102978707A (zh) | 一种有效杜绝扩散炉管尾气管堵塞的处理方法 | |
| RU2458510C2 (ru) | Способ дымогенерации в среде инертного газа с индуктивным подводом энергии | |
| TW201915310A (zh) | 尾氣處理設備 | |
| RU2003118536A (ru) | Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20100123 |