RU2013132994A - Устройство свч плазменной обработки материалов - Google Patents
Устройство свч плазменной обработки материалов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013132994A RU2013132994A RU2013132994/07A RU2013132994A RU2013132994A RU 2013132994 A RU2013132994 A RU 2013132994A RU 2013132994/07 A RU2013132994/07 A RU 2013132994/07A RU 2013132994 A RU2013132994 A RU 2013132994A RU 2013132994 A RU2013132994 A RU 2013132994A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- microwave
- serves
- coaxial
- microwave plasma
- waveguide
- Prior art date
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Устройство СВЧ плазменной обработки материалов, содержащее СВЧ генератор, соединенный магистральным волноводом с Е-тройником, отличающееся тем, что с помощью аттенюаторов, коаксиально-волноводных переходов и коаксиальных кабелей СВЧ энергия от генератора передается к плоским спиральным антеннам, одна из которых размещена на диэлектрическом окне и служит для поджига технологической плазмы, а другая размещена вблизи обрабатываемой пластины и служит для ее нагрева, причем различные технологические газы подаются в различные зоны разрядно-реакционной камеры.
Claims (1)
- Устройство СВЧ плазменной обработки материалов, содержащее СВЧ генератор, соединенный магистральным волноводом с Е-тройником, отличающееся тем, что с помощью аттенюаторов, коаксиально-волноводных переходов и коаксиальных кабелей СВЧ энергия от генератора передается к плоским спиральным антеннам, одна из которых размещена на диэлектрическом окне и служит для поджига технологической плазмы, а другая размещена вблизи обрабатываемой пластины и служит для ее нагрева, причем различные технологические газы подаются в различные зоны разрядно-реакционной камеры.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013132994/07A RU2555743C2 (ru) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | Устройство свч плазменной обработки материалов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2013132994/07A RU2555743C2 (ru) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | Устройство свч плазменной обработки материалов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013132994A true RU2013132994A (ru) | 2015-01-27 |
| RU2555743C2 RU2555743C2 (ru) | 2015-07-10 |
Family
ID=53280926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013132994/07A RU2555743C2 (ru) | 2013-07-17 | 2013-07-17 | Устройство свч плазменной обработки материалов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2555743C2 (ru) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100745495B1 (ko) * | 1999-03-10 | 2007-08-03 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체 제조방법 및 반도체 제조장치 |
| RU2157061C1 (ru) * | 1999-03-23 | 2000-09-27 | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН | Устройство для свч-плазменной обработки материалов |
| RU2171555C1 (ru) * | 2000-03-06 | 2001-07-27 | Берлин Евгений Владимирович | Высокочастотный газоразрядный источник ионов высокой плотности с низкоимпедансной антенной |
| GB2439530B (en) * | 2006-05-26 | 2011-07-13 | Pera Innovation Ltd | Method of and apparatus for producing thermoplastic materials |
-
2013
- 2013-07-17 RU RU2013132994/07A patent/RU2555743C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2555743C2 (ru) | 2015-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CY1121221T1 (el) | Συσκευη και μεθοδος αφυδατωσης με χρηση ακτινοβολιας μικροκυματων | |
| CA2905931C (en) | Microwave plasma spectrometer using dielectric resonator | |
| EA201890356A3 (ru) | Массив для обработки материалов | |
| TW201613422A (en) | Frequency tuning for pulsed radio frequency plasma processing | |
| MX2017005133A (es) | Sistema de calentamiento por radiofrecuencia. | |
| MX2019007253A (es) | Metodo y aparato de aplicacion de microondas. | |
| TW201613421A (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing method | |
| JP2016092342A5 (ru) | ||
| MX347880B (es) | Aplicador de guia de ondas tubular regulado. | |
| TW201614760A (en) | Heater apparatus for substrate processing and liquid processing arraratus for substrate comprising the same | |
| EP3879558C0 (de) | Plasmagenerator, plasma-behandlungsvorrichtung und verfahren zum gepulsten bereitstellen von elektrischer leistung | |
| TR201910906T4 (tr) | Bir gaz ortamında elektronik siklotron rezonansı (RCE) yoluyla bir eksen boyunca büyük bir kapsama sahip bir plazma üretmeye yönelik cihaz | |
| MY183791A (en) | Microwave irradiating and heating device | |
| IL294801A (en) | Sulfur production | |
| RU2013132994A (ru) | Устройство свч плазменной обработки материалов | |
| TW201614756A (en) | Magnetic annealing apparatus and magnetic annealing method | |
| MY187667A (en) | Microwave irradiating and heating device | |
| TW201614759A (en) | Plasma processing apparatus | |
| JP2016018918A5 (ru) | ||
| MY181056A (en) | Microwave irradiating and heating device | |
| CY1123309T1 (el) | Συσκευη και μεθοδος κατεργασιας υγρου | |
| JP2016082180A5 (ru) | ||
| GB2567983A (en) | Microwave instrument | |
| UA93992U (ru) | УСТРОЙСТВО ДЛЯ СУШКИ СЫПУЧИХ диэлектрических материалов И ЗЕРНА электромагнитным полем | |
| RU2012140583A (ru) | Способ высокотемпературного нагрева электропроводного нитевидного материала свч плазмой |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190718 |