RU2013119135A - Маска высокой плотности для трехмерных подложек и способы ее получения - Google Patents
Маска высокой плотности для трехмерных подложек и способы ее получения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013119135A RU2013119135A RU2013119135/28A RU2013119135A RU2013119135A RU 2013119135 A RU2013119135 A RU 2013119135A RU 2013119135/28 A RU2013119135/28 A RU 2013119135/28A RU 2013119135 A RU2013119135 A RU 2013119135A RU 2013119135 A RU2013119135 A RU 2013119135A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- shadow masks
- manufacturing
- blanks
- mandrel
- planar
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract 42
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims abstract 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical group [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 238000007516 diamond turning Methods 0.000 claims 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02C—SPECTACLES; SUNGLASSES OR GOGGLES INSOFAR AS THEY HAVE THE SAME FEATURES AS SPECTACLES; CONTACT LENSES
- G02C7/00—Optical parts
- G02C7/02—Lenses; Lens systems ; Methods of designing lenses
- G02C7/04—Contact lenses for the eyes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
- B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
- B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
- B29D11/00038—Production of contact lenses
- B29D11/00125—Auxiliary operations, e.g. removing oxygen from the mould, conveying moulds from a storage to the production line in an inert atmosphere
- B29D11/00134—Curing of the contact lens material
- B29D11/00153—Differential curing, e.g. by differential radiation
- B29D11/00163—Movable masks or shutters, e.g. to vary the exposure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
- B29C33/0022—Multi-cavity moulds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/16—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by wave energy or particle radiation, e.g. infrared heating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49995—Shaping one-piece blank by removing material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
1. Способ изготовления одной или более теневых масок для использования в сочетании с неплоской подложкой, причем способ включает в себя следующие этапы:изготовление оправки, включающей одну или несколько форм, созданных в ней, при этом одна или несколько форм соответствуют по форме неплоской подложке, на которую должна помещаться маска;формирование одной или более заготовок теневых масок в одной или нескольких формах в оправке;удаление одной или более заготовок теневых масок из оправки; исоздание заданного шаблона в одной или более заготовках теневых масок для формирования одной или более теневых масок, причем заданный шаблон включает элементы, существенно меньшие, чем размер меньше одной или более теневых масок.2. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап изготовления оправки содержит изготовление по существу цилиндрической структуры с по существу параллельными передней и задней сторонами, и изготовления одной или более неплоских форм на передней стороне.3. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью токарного станка.4. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью фрезерного станка.5. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью станка-�
Claims (19)
1. Способ изготовления одной или более теневых масок для использования в сочетании с неплоской подложкой, причем способ включает в себя следующие этапы:
изготовление оправки, включающей одну или несколько форм, созданных в ней, при этом одна или несколько форм соответствуют по форме неплоской подложке, на которую должна помещаться маска;
формирование одной или более заготовок теневых масок в одной или нескольких формах в оправке;
удаление одной или более заготовок теневых масок из оправки; и
создание заданного шаблона в одной или более заготовках теневых масок для формирования одной или более теневых масок, причем заданный шаблон включает элементы, существенно меньшие, чем размер меньше одной или более теневых масок.
2. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап изготовления оправки содержит изготовление по существу цилиндрической структуры с по существу параллельными передней и задней сторонами, и изготовления одной или более неплоских форм на передней стороне.
3. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью токарного станка.
4. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью фрезерного станка.
5. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью станка-автомата с кольцевым столом.
6. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью алмазного точения.
7. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.2, в котором изготовление одной или более неплоских форм на передней стороне включает в себя резку одной или более неплоских форм с помощью электроэрозионной обработки.
8. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап формирования одной или более заготовок теневых масок в одной или более формах включает в себя процесс электроосаждения.
9. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.8, в котором процесс электроосаждения включает в себя гальваническое нанесение никеля в виде одной или более пленок до толщины менее чем 150 микрон.
10. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап удаления одной или более заготовок теневых масок из оправки включает в себя физическое отделение одной или более заготовок теневых масок от оправки.
11. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап удаления одной или более заготовок теневых масок из оправки включает в себя химическое удаление оправки.
12. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап изготовления заданного шаблона в заготовках теневых масок включает в себя лазерную микрообработку элементов в шаблоне.
13. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.12, в котором элементы в шаблоне могут иметь ширину одного микрона.
14. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап изготовления заданного шаблона в заготовках теневых масок включает в себя использование лазерной абляции.
15. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап изготовления заданного шаблона в заготовках теневых масок включает в себя использование химического травления.
16. Способ изготовления одной или более теневых масок по п.1, в котором этап изготовления заданного шаблона в заготовках теневых масок включает в себя использование плазменного травления.
17. Оправка для формирования заготовок теневых масок, содержащая:
по существу цилиндрическую конструкцию, включающую в себя первую сторону и вторую сторону, первая сторона и вторая сторона по существу параллельны;
один или несколько закрепляющих механизмов, совместно связанных с первой стороной по существу цилиндрической конструкции, при этом один или нескольких закрепляющих механизмов выполнены с возможностью фиксирования оправки к обрабатывающему инструменту, и
одну или нескольких форм, созданных на второй стороне, по существу, цилиндрической конструкции, при этом одна или несколько форм имеют неплоский шаблон, соответствующий неплоской подложке, на которую будет наноситься маска.
18. Оправка для формирования заготовок теневых масок по п.17, причем оправка содержит металлический материал.
19. Оправка для формирования заготовок теневых масок по п.18, в которой металлический материал содержит алюминий.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US13/455,209 | 2012-04-25 | ||
| US13/455,209 US9056432B2 (en) | 2012-04-25 | 2012-04-25 | High-density mask for three-dimensional substrates and methods for making the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013119135A true RU2013119135A (ru) | 2014-10-27 |
| RU2573127C2 RU2573127C2 (ru) | 2016-01-20 |
Family
ID=48626257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013119135/28A RU2573127C2 (ru) | 2012-04-25 | 2013-04-24 | Маска высокой плотности для трехмерных подложек и способы ее получения |
Country Status (12)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9056432B2 (ru) |
| EP (1) | EP2657009B1 (ru) |
| JP (1) | JP6246487B2 (ru) |
| KR (1) | KR20130120396A (ru) |
| CN (1) | CN103376564B (ru) |
| AU (1) | AU2013204341B2 (ru) |
| BR (1) | BR102013009987A2 (ru) |
| CA (1) | CA2810054A1 (ru) |
| IL (1) | IL225131A (ru) |
| RU (1) | RU2573127C2 (ru) |
| SG (1) | SG194282A1 (ru) |
| TW (1) | TWI598220B (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI645229B (zh) * | 2014-04-25 | 2018-12-21 | 壯生和壯生視覺關懷公司 | 三維基座的圖案化以及製成遮罩之方法 |
| US9907498B2 (en) * | 2014-09-04 | 2018-03-06 | Verily Life Sciences Llc | Channel formation |
| EP3328166A1 (en) * | 2016-11-29 | 2018-05-30 | IMEC vzw | Method for forming non-flat devices |
| CN111826607A (zh) * | 2019-04-18 | 2020-10-27 | 天通（嘉兴）新材料有限公司 | 一种激光管帽镀膜遮挡治具 |
Family Cites Families (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3900359A (en) * | 1973-02-26 | 1975-08-19 | Dynamics Res Corp | Method and apparatus for television tube shadow mask |
| US3944867A (en) * | 1974-03-15 | 1976-03-16 | Zenith Radio Corporation | Shadow mask having ribs bounding rectangular apertures |
| US4587455A (en) * | 1982-10-12 | 1986-05-06 | Hughes Aircraft Company | Controlled porosity dispenser cathode |
| JPS59501887A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-11-08 | ヒユ−ズ・エアクラフト・カンパニ− | 制御された有孔性のデイスペンサ陰極 |
| SU1254417A1 (ru) * | 1985-01-07 | 1986-08-30 | Предприятие П/Я А-1819 | Способ изготовлени фотошаблонов дл неплоских объектов |
| US4702574A (en) | 1985-10-15 | 1987-10-27 | Bausch & Lomb Incorporated | Contact lenses having fluorescent colorants and apparatus for making such lenses |
| US4680500A (en) * | 1986-03-06 | 1987-07-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Integral grid/cathode for vacuum tubes |
| JPH03264685A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-25 | Kyushu Hitachi Maxell Ltd | メタルマスクスクリーンの製造方法 |
| JPH0469617A (ja) * | 1990-07-11 | 1992-03-04 | Asahi Chem Ind Co Ltd | コンタクトレンズ用ボタン及びそれを用いたコンタクトレンズの製造方法 |
| JPH0580530A (ja) | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Hitachi Ltd | 薄膜パターン製造方法 |
| CA2076578A1 (en) * | 1992-08-21 | 1994-02-22 | Miroslav Milinkovic | Mandrel for use in nickel vapour deposition processes and nickel molds made therefrom |
| US5395718A (en) * | 1992-11-18 | 1995-03-07 | The Boeing Company | Conformal photolithographic method and mask for manufacturing parts with patterned curved surfaces |
| US5772864A (en) * | 1996-02-23 | 1998-06-30 | Meadox Medicals, Inc. | Method for manufacturing implantable medical devices |
| GB2315078A (en) | 1996-07-06 | 1998-01-21 | Ford Motor Co | Moulding tools |
| US5976340A (en) * | 1997-10-28 | 1999-11-02 | Lockheed Martin Corporation | Method of fabricating elevated temperature application parts with a serrated surface |
| US6162564A (en) | 1997-11-25 | 2000-12-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Mask blank and method of producing mask |
| US7476523B2 (en) | 2000-08-14 | 2009-01-13 | Surface Logix, Inc. | Method of patterning a surface using a deformable stamp |
| JP2002260547A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-13 | Toshiba Corp | カラー陰極線管 |
| US7387759B2 (en) | 2002-12-17 | 2008-06-17 | Novartis Ag | System and method for curing polymeric moldings having a masking collar |
| US20060011305A1 (en) * | 2003-09-19 | 2006-01-19 | Donald Sandell | Automated seal applicator |
| US20050074616A1 (en) | 2003-10-02 | 2005-04-07 | John Harchanko | Lithographic method for forming mold inserts and molds |
| US20060043623A1 (en) | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Powell P M | Masked precure of ophthalmic lenses: systems and methods thereof |
| US20060113054A1 (en) | 2004-12-01 | 2006-06-01 | Silvestrini Thomas A | Method of making an ocular implant |
| US7615501B2 (en) * | 2005-08-11 | 2009-11-10 | 3M Innovative Properties Company | Method for making a thin film layer |
| WO2007033060A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Board Of Regents Of The Nevada System Of Higher Education, On Behalf Of The University Of Nevada, Reno | Targets and processes for fabricating same |
| US20090284837A1 (en) * | 2008-05-13 | 2009-11-19 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus providing uniform separation of lens wafer and structure bonded thereto |
| JP2011098487A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Fujifilm Corp | 素子アレイ成形型、及び該成形型を用いて成形された素子アレイ |
-
2012
- 2012-04-25 US US13/455,209 patent/US9056432B2/en active Active
-
2013
- 2013-02-25 SG SG2013014105A patent/SG194282A1/en unknown
- 2013-03-10 IL IL225131A patent/IL225131A/en active IP Right Grant
- 2013-03-20 CA CA2810054A patent/CA2810054A1/en not_active Abandoned
- 2013-04-12 AU AU2013204341A patent/AU2013204341B2/en not_active Ceased
- 2013-04-22 KR KR20130044215A patent/KR20130120396A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-04-24 JP JP2013091216A patent/JP6246487B2/ja active Active
- 2013-04-24 RU RU2013119135/28A patent/RU2573127C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2013-04-24 BR BRBR102013009987-2A patent/BR102013009987A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2013-04-24 TW TW102114509A patent/TWI598220B/zh active
- 2013-04-25 EP EP13165414.7A patent/EP2657009B1/en active Active
- 2013-04-25 CN CN201310148427.1A patent/CN103376564B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2810054A1 (en) | 2013-10-25 |
| SG194282A1 (en) | 2013-11-29 |
| TWI598220B (zh) | 2017-09-11 |
| RU2573127C2 (ru) | 2016-01-20 |
| EP2657009A1 (en) | 2013-10-30 |
| US9056432B2 (en) | 2015-06-16 |
| JP6246487B2 (ja) | 2017-12-13 |
| IL225131A (en) | 2017-03-30 |
| IL225131A0 (en) | 2013-06-27 |
| CN103376564A (zh) | 2013-10-30 |
| KR20130120396A (ko) | 2013-11-04 |
| BR102013009987A2 (pt) | 2015-06-16 |
| AU2013204341B2 (en) | 2014-12-18 |
| US20130284691A1 (en) | 2013-10-31 |
| TW201412508A (zh) | 2014-04-01 |
| JP2013229605A (ja) | 2013-11-07 |
| AU2013204341A1 (en) | 2013-11-14 |
| CN103376564B (zh) | 2016-11-09 |
| EP2657009B1 (en) | 2020-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2013119135A (ru) | Маска высокой плотности для трехмерных подложек и способы ее получения | |
| CN105728807B (zh) | 薄壁零件的加工方法 | |
| WO2015095151A3 (en) | Laser processing of slots and holes | |
| JP2017078225A5 (ru) | ||
| KR102345170B1 (ko) | 기판의 가공방법 | |
| JP2014506195A5 (ru) | ||
| CN109786325A (zh) | 小直径晶片的制造方法 | |
| CN102689145B (zh) | 细长复杂t型零件数控加工变形控制方法 | |
| CN103594335A (zh) | 一种平板电容的划切方法 | |
| CN105578771A (zh) | 电路板内槽的加工方法 | |
| CN103874333A (zh) | 一种铁氟龙高频电路板的制作方法 | |
| CN104846372B (zh) | 局部蚀刻制作立体件的方法及定位治具 | |
| CN104668895B (zh) | 芯片夹持环的制作方法 | |
| US10414685B2 (en) | Substrate processing method | |
| CN101920438A (zh) | 一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺 | |
| CN106222659B (zh) | 用于金属料带的连续蚀刻方法 | |
| CN101574780A (zh) | 磁控溅射环件用钽凸结体生产方法及冲压模具 | |
| CN105887086A (zh) | 锚型三维立体蚀刻方法 | |
| CN102510666B (zh) | 高密度互连印刷电路板上盲捞沉孔的加工工艺 | |
| CN113857600B (zh) | 一种核电用燃料组件过滤板的慢走丝加工方法 | |
| TW201429663A (zh) | 導光板模仁的製造方法 | |
| CN110868805B (zh) | 一种带立体图形的线路板的制作工艺 | |
| CN109482987B (zh) | 一种激光选区熔化成形辅助支撑结构去除方法 | |
| CN104625584A (zh) | 印制板外形加工方法 | |
| CN105537775A (zh) | 一种微波吸收材料激光切割方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200425 |