RU2013115737A - Электроактивный полимерный исполнительный механизм - Google Patents

Электроактивный полимерный исполнительный механизм Download PDF

Info

Publication number
RU2013115737A
RU2013115737A RU2013115737/28A RU2013115737A RU2013115737A RU 2013115737 A RU2013115737 A RU 2013115737A RU 2013115737/28 A RU2013115737/28 A RU 2013115737/28A RU 2013115737 A RU2013115737 A RU 2013115737A RU 2013115737 A RU2013115737 A RU 2013115737A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
actuator according
electroactive polymer
actuator
counter electrode
Prior art date
Application number
RU2013115737/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2589245C2 (ru
Inventor
Дирк БРОККЕН
КОНИНГ Хендрик ДЕ
Уэнди Мирей МАРТАМ
Флорис Мария Хермансз КРОМПВУТС
Юрген Вогт
Францискус Якобус ВОССЕН
Original Assignee
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Publication of RU2013115737A publication Critical patent/RU2013115737A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2589245C2 publication Critical patent/RU2589245C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/206—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using only longitudinal or thickness displacement, e.g. d33 or d31 type devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/877—Conductive materials
    • H10N30/878—Conductive materials the principal material being non-metallic, e.g. oxide or carbon based
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/857—Macromolecular compositions

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

1. Исполнительный механизм, содержащий:- слой (402, 602) электроактивного полимера,- эластичную электродную структуру (403, 603), размещенную на первой стороне слоя (402, 602) электроактивного полимера,- слой (401, 601) противоэлектрода, размещенный на второй стороне слоя (402, 602) электроактивного полимера, и- пассивный слой (604), который прикреплен к первой стороне слоя (402, 602) электроактивного полимера, причем пассивный слой (604) образует опорный слой для прикрепления исполнительного механизма к подложке,при этом эластичная электродная структура (403, 603) имеет касательный модуль упругости Y, который меньше или практически равен модулю упругости Yслоя (402, 602) электроактивного полимера, иотношение Y/Yкасательного модуля упругости Yслоя (601) противоэлектрода и касательного модуля упругости Yслоя (602) электроактивного полимера составляет, по меньшей мере, 10.2. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (401, 601) противоэлектрода является механически однородным во всех касательных направлениях.3. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (402, 602) электроактивного полимера содержит материал, выбираемый из группы, включающей в себя акриловый полимер, поли[стирол-b-(сополимер этилена с бутиленом)-b-стирол], полиуретан, поливинилхлорид и силикон.4. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что эластичная электродная структура (403, 603) содержит материал, выбираемый из группы, включающей в себя углеродную сажу, углеродные нанотрубки, графен, полианилин и поли(3,4-этилендиокситиофен).5. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (401, 601) противоэлектрода имеет оптически отражающую поверхность.6. Исполнитель�

Claims (14)

1. Исполнительный механизм, содержащий:
- слой (402, 602) электроактивного полимера,
- эластичную электродную структуру (403, 603), размещенную на первой стороне слоя (402, 602) электроактивного полимера,
- слой (401, 601) противоэлектрода, размещенный на второй стороне слоя (402, 602) электроактивного полимера, и
- пассивный слой (604), который прикреплен к первой стороне слоя (402, 602) электроактивного полимера, причем пассивный слой (604) образует опорный слой для прикрепления исполнительного механизма к подложке,
при этом эластичная электродная структура (403, 603) имеет касательный модуль упругости Yel, который меньше или практически равен модулю упругости YEAP слоя (402, 602) электроактивного полимера, и
отношение Yc/YEAP касательного модуля упругости Yc слоя (601) противоэлектрода и касательного модуля упругости YEAP слоя (602) электроактивного полимера составляет, по меньшей мере, 10.
2. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (401, 601) противоэлектрода является механически однородным во всех касательных направлениях.
3. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (402, 602) электроактивного полимера содержит материал, выбираемый из группы, включающей в себя акриловый полимер, поли[стирол-b-(сополимер этилена с бутиленом)-b-стирол], полиуретан, поливинилхлорид и силикон.
4. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что эластичная электродная структура (403, 603) содержит материал, выбираемый из группы, включающей в себя углеродную сажу, углеродные нанотрубки, графен, полианилин и поли(3,4-этилендиокситиофен).
5. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (401, 601) противоэлектрода имеет оптически отражающую поверхность.
6. Исполнительный механизм по п. 5, отличающийся тем, что оптически отражающая поверхность слоя (401, 601) противоэлектрода является внешней поверхностью исполнительного механизма.
7. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (401, 601) противоэлектрода содержит металлизированную полимерную пленку.
8. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что толщина слоя (401, 601) противоэлектрода составляет не более 10 мкм.
9. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что пассивный слой (604) является механически однородным во всех касательных направлениях.
10. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что пассивный слой (604) содержит, по меньшей мере, одну полость.
11. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что толщина пассивного слоя (604) больше или практически равна толщине слоя (402, 602) электроактивного полимера.
12. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что пассивный слой (604) содержит мягкий эластомер.
13. Исполнительный механизм по п. 1, отличающийся тем, что слой (401, 601) противоэлектрода образует внешнюю поверхность исполнительного механизма.
14. Способ изготовления исполнительного механизма по п. 1, включающий в себя этапы:
- определения разделения исполнительного механизма на суб-ламинаты;
- создания суб-ламинатов, по меньшей мере, один из которых содержит отверждаемый полимер; и
- соединение суб-ламинатов для образования исполнительного механизма.
RU2013115737/28A 2010-09-09 2011-08-31 Электроактивный полимерный исполнительный механизм RU2589245C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP10175960.3 2010-09-09
EP10175960 2010-09-09
PCT/IB2011/053805 WO2012032437A1 (en) 2010-09-09 2011-08-31 Electroactive polymer actuator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013115737A true RU2013115737A (ru) 2014-10-20
RU2589245C2 RU2589245C2 (ru) 2016-07-10

Family

ID=44675639

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013115737/28A RU2589245C2 (ru) 2010-09-09 2011-08-31 Электроактивный полимерный исполнительный механизм

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9368709B2 (ru)
EP (1) EP2614541B1 (ru)
JP (1) JP5842279B2 (ru)
CN (1) CN103098250B (ru)
BR (1) BR112013005407A2 (ru)
RU (1) RU2589245C2 (ru)
WO (1) WO2012032437A1 (ru)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009006318A1 (en) 2007-06-29 2009-01-08 Artificial Muscle, Inc. Electroactive polymer transducers for sensory feedback applications
EP2614542B1 (en) * 2010-09-09 2017-07-19 Philips Lighting Holding B.V. Adjustable reflector based on an electroactive polymer actuator
KR20140008416A (ko) 2011-03-01 2014-01-21 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 변형가능한 중합체 장치 및 필름을 제조하기 위한 자동화 제조 방법
EP2828901B1 (en) 2012-03-21 2017-01-04 Parker Hannifin Corporation Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices
WO2013155377A1 (en) 2012-04-12 2013-10-17 Bayer Materialscience Ag Eap transducers with improved performance
KR20150031285A (ko) 2012-06-18 2015-03-23 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 연신 공정을 위한 연신 프레임
US9954159B2 (en) 2012-08-16 2018-04-24 Parker-Hannifin Corporation Electrical interconnect terminals for rolled dielectric elastomer transducers
TW201436311A (zh) * 2012-10-16 2014-09-16 拜耳智慧財產有限公司 金屬化介電膜之方法
WO2014066576A1 (en) 2012-10-24 2014-05-01 Bayer Intellectual Property Gmbh Polymer diode
KR101868780B1 (ko) * 2012-12-28 2018-06-20 다우 코닝 도레이 캄파니 리미티드 변환기용 경화성 유기폴리실록산 조성물 및 그러한 변환기용 경화성 실리콘 조성물의 응용
JP6415451B2 (ja) 2012-12-28 2018-10-31 ダウ シリコーンズ コーポレーション トランスデューサー用硬化性オルガノシロキサン組成物及び硬化性シリコーン組成物のトランスデューサーへの使用
WO2015023803A1 (en) * 2013-08-15 2015-02-19 Ingenious Ventures, Llc Dielectric elastomer actuator
KR102203770B1 (ko) * 2013-11-21 2021-01-15 엘지디스플레이 주식회사 입력장치
EP3049140B1 (en) * 2014-10-02 2017-03-22 Koninklijke Philips N.V. Cushion element for a patient interface
KR102211497B1 (ko) * 2014-11-28 2021-02-05 한국전자통신연구원 촉각 디스플레이 장치
CN116570339A (zh) 2014-12-29 2023-08-11 伊拉斯泰美德有限公司 将电活性聚合物保持在预拉伸状态的方法和机构及其用途
JP6766152B2 (ja) * 2014-12-29 2020-10-07 エラスティメッド・リミテッドＥｌａｓｔｉＭｅｄ Ｌｔｄ． 電気活性ポリマーをプレストレッチ状態で維持するための方法及び機構とそれらの使用
CN105071683A (zh) * 2015-08-07 2015-11-18 哈尔滨工业大学（威海） 一种介电弹性体堆叠驱动器制作工艺
WO2017129453A1 (en) * 2016-01-25 2017-08-03 Koninklijke Philips N.V. Actuator device based on an electroactive polymer
US20190312193A1 (en) * 2016-07-05 2019-10-10 Koninklijke Philips N.V. Shape change device
FI127245B (en) * 2016-07-11 2018-02-15 Forciot Oy Power and / or pressure sensors
US10586913B2 (en) 2016-08-11 2020-03-10 Postech Academy-Industry Foundation Electroactive actuator, mechanical device including the same, and polymer electrolyte
CN109715053B (zh) * 2016-09-22 2022-04-15 皇家飞利浦有限公司 使用电活性聚合物的传感器定位
WO2018065232A1 (en) * 2016-10-04 2018-04-12 Koninklijke Philips N.V. Actuator device based on an electroactive polymer
EP3367451A1 (en) * 2017-02-23 2018-08-29 Koninklijke Philips N.V. An actuator device incorporating an electroactive polymer actuator and a driving method
EP3373349A1 (en) * 2017-03-06 2018-09-12 Koninklijke Philips N.V. Actuator, device and actuation method
CN108916688B (zh) * 2017-04-24 2020-08-18 京东方科技集团股份有限公司 光源和照明装置
USD892752S1 (en) * 2017-09-29 2020-08-11 Toyoda Gosei Co., Ltd. Polymer actuator
US10899605B2 (en) * 2018-03-05 2021-01-26 Sharp Kabushiki Kaisha MEMS device and manipulation method for micro-objects
US11495731B2 (en) * 2018-09-13 2022-11-08 Magnecomp Corporation Multilayer PZT electrode configuration for suspension stroke increase
WO2020173285A1 (en) * 2019-02-27 2020-09-03 The University Of Hong Kong Metal hydroxides based actuator with polymeric supporting film
WO2022230020A1 (ja) * 2021-04-26 2022-11-03 三菱電機株式会社 ばね要素、アクチュエータおよびばね要素の製造方法
US11360564B1 (en) 2021-05-13 2022-06-14 Facebook Technologies, Llc Tunable flexible haptic actuators and related devices, systems, and methods

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0648137U (ja) * 1992-12-04 1994-06-28 株式会社カンセイ タッチスイッチ
JP2005033991A (ja) 2003-06-17 2005-02-03 Eamex Co 高分子アクチュエータ素子
PT1665880E (pt) * 2003-09-03 2013-02-04 Stanford Res Inst Int Transdutores de polímero electroactivo para deformação de superfícies
CN1910810B (zh) * 2004-02-05 2010-04-21 松下电器产业株式会社 促动器及促动器用平板状电极支撑体的制造方法
JP3959104B2 (ja) * 2005-08-05 2007-08-15 松下電器産業株式会社 ポリマーアクチュエータ
JP5051123B2 (ja) * 2006-03-28 2012-10-17 富士通株式会社 可動素子
EP1881024A1 (en) * 2006-07-18 2008-01-23 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Use of a plasticizer in an electroactive polymer composition
US7618124B2 (en) * 2006-12-04 2009-11-17 Silverbrook Research Pty Ltd Thermal bend actuator comprising porous material
US7911761B2 (en) 2006-12-14 2011-03-22 Bayer Materialscience Ag Fault-tolerant materials and methods of fabricating the same
JP2008253058A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Japan Aviation Electronics Industry Ltd アクチュエータ及び入力デバイス
EP2491475A4 (en) * 2009-10-19 2015-03-11 Bayer Ip Gmbh FLEXION SETS AND ACCESSORIES FOR HAPTIC RETURN

Also Published As

Publication number Publication date
CN103098250B (zh) 2015-07-15
RU2589245C2 (ru) 2016-07-10
CN103098250A (zh) 2013-05-08
EP2614541A1 (en) 2013-07-17
JP2013539343A (ja) 2013-10-17
WO2012032437A1 (en) 2012-03-15
EP2614541B1 (en) 2016-04-06
JP5842279B2 (ja) 2016-01-13
US9368709B2 (en) 2016-06-14
US20130175898A1 (en) 2013-07-11
BR112013005407A2 (pt) 2016-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2013115737A (ru) Электроактивный полимерный исполнительный механизм
JP2013539343A5 (ru)
RU2013115752A (ru) Электроактивный полимерный актюатор
CN108034373B (zh) 封框胶及其制备方法、显示面板及其制备方法
CN106373983B (zh) 柔性显示面板以及柔性显示屏
TWI703353B (zh) 撓性濾色器及其製造方法
JP5512834B2 (ja) 電気活性ポリマーの予歪み
US20220369037A1 (en) Diaphragm for sound generating device and sound generating device
US20200304041A1 (en) Frictional electric generator, device including the same, and method for manufacturing the same
JP2013543596A5 (ru)
KR20160025152A (ko) 보호 구조물 및 보호 구조물을 포함하는 유기 발광 표시 장치
JP2015501132A (ja) 制御可能な高分子アクチュエータ
Kim et al. 3D customized triboelectric nanogenerator with high performance achieved via charge-trapping effect and strain-mismatching friction
CN109411525A (zh) 柔性显示面板及其制备方法
EP2043386A3 (en) Electrostatic speaker
CN104167950B (zh) 摩擦发电机
CN110839197B (zh) 扬声器和包括该扬声器的显示设备
CN109166890B (zh) 柔性显示面板及其制备方法及柔性显示装置
US20190217573A1 (en) Flexible substrate, manufacturing method thereof, and flexible electronic device including the same
WO2008081874A1 (ja) 光学積層体、偏光板及び画像表示装置
KR101594432B1 (ko) 폴리이미드 유기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
JP6647089B2 (ja) 電歪素子及びその製造方法
WO2021039567A1 (ja) アクチュエータ、駆動装置および電子機器
WO2023013558A1 (ja) 導電性ナノ薄膜とそれを用いた誘電エラストマーアクチュエータ
CN210156431U (zh) 一种柔性显示装置

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20170502

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200901