RU2012116222A

RU2012116222A - Генератор плазмы (варианты)

Info

Publication number: RU2012116222A
Application number: RU2012116222/07A
Authority: RU
Inventors: Евгений Владимирович Берлин; Василий Юрьевич Григорьев
Original assignee: Евгений Владимирович Берлин; Василий Юрьевич Григорьев
Priority date: 2012-04-24
Filing date: 2012-04-24
Publication date: 2013-10-27
Also published as: EP2844043A2; WO2013162419A3; EP2844043A4; EP2844043B1; US9704691B2; RU2503079C1; JP6292484B2; US20150279620A1; JP2015521342A; WO2013162419A2

Abstract

1. Генератор плазмы, содержащий спиральную катушку, помещенную внутрь проводящего экрана, внутренняя поверхность которого имеет близкую к цилиндрической форму, причем пространство между витками катушки и между катушкой и экраном заполнено диэлектриком, отличающийся тем, что катушка выполнена плоской, расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрика меньше удвоенной толщины катушки, а расстояние от плоскости катушки до основания внутренней поверхности экрана больше удвоенного расстояния от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрика.2. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что для подачи высокочастотного тока в катушку генератор плазмы снабжен коаксиальным вводом, внутренний проводник которого соединен с одним концом катушки, а внешний проводник соединен с другим концом катушки.3. Генератор плазмы по п.2, отличающийся тем, что коаксиальный ввод выполнен с возможностью подачи через него охлаждающей жидкости либо газа к катушке.4. Генератор плазмы по п.2, отличающийся тем, что проводники катушки выполнены полыми с возможностью подачи сквозь них охлаждающей жидкости либо газа.5. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что диэлектрик, отделяющий катушку от рабочей поверхности устройства, выполнен из материала, устойчивого к воздействию плазмы.6. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, одним диэлектрическим экраном, выполненным из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрического экрана меньше удвоенной толщины катушки.7. Генератор плазмы

Claims

1. Генератор плазмы, содержащий спиральную катушку, помещенную внутрь проводящего экрана, внутренняя поверхность которого имеет близкую к цилиндрической форму, причем пространство между витками катушки и между катушкой и экраном заполнено диэлектриком, отличающийся тем, что катушка выполнена плоской, расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрика меньше удвоенной толщины катушки, а расстояние от плоскости катушки до основания внутренней поверхности экрана больше удвоенного расстояния от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрика.

2. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что для подачи высокочастотного тока в катушку генератор плазмы снабжен коаксиальным вводом, внутренний проводник которого соединен с одним концом катушки, а внешний проводник соединен с другим концом катушки.

3. Генератор плазмы по п.2, отличающийся тем, что коаксиальный ввод выполнен с возможностью подачи через него охлаждающей жидкости либо газа к катушке.

4. Генератор плазмы по п.2, отличающийся тем, что проводники катушки выполнены полыми с возможностью подачи сквозь них охлаждающей жидкости либо газа.

5. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что диэлектрик, отделяющий катушку от рабочей поверхности устройства, выполнен из материала, устойчивого к воздействию плазмы.

6. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, одним диэлектрическим экраном, выполненным из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрического экрана меньше удвоенной толщины катушки.

7. Генератор плазмы по п.6, отличающийся тем, что между экраном и внешней поверхностью диэлектрика имеется зазор.

8. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей, мере двумя диэлектрическими экранами, по меньшей мере один из которых выполнен из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем между экранами имеется зазор.

9. Генератор плазмы по п.1, отличающийся тем, что диэлектрическое заполнение состоит из диэлектрического цилиндра, отделяющего катушку от основания внутренней поверхности экрана, диэлектрических вставок, заполняющих пространство между витками катушки и диэлектрической пластины, отделяющей катушку от рабочей поверхности устройства.

10. Генератор плазмы по п.9, отличающийся тем, что диэлектрическая пластина выполнена из материала, устойчивого к воздействию плазменной среды.

11. Генератор плазмы по п.10, отличающийся тем, что между диэлектрической пластиной и катушкой, а также между диэлектрической пластиной и диэлектрическими вставками имеется зазор.

12. Генератор плазмы по любому из пп.9-11, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, одним диэлектрическим экраном, выполненным из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрического экрана меньше удвоенной толщины катушки.

13. Генератор плазмы по п.12, отличающийся тем, что между экраном и внешней поверхностью диэлектрика имеется зазор.

14. Генератор плазмы, содержащий спиральную катушку, помещенную внутрь проводящего экрана, внутренняя поверхность которого имеет близкую к цилиндрической форму, причем пространство между витками катушки и между катушкой и экраном заполнено диэлектриком, отличающийся тем, что катушка выполнена плоской, экран выполнен в виде кольца, ось которого перпендикулярна плоскости катушки, край кольца, обращенный к объему, в котором требуется создание плазмы закрыт диэлектриком.

15. Генератор плазмы по п.14, отличающийся тем, что диэлектрик, отделяющий катушку от рабочей поверхности устройства, выполнен из материала, устойчивого к воздействию плазмы.

16. Генератор плазмы по п.14, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, одним диэлектрическим экраном, выполненным из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрического экрана меньше удвоенной толщины катушки.

17. Генератор плазмы по п.16, отличающийся тем, что между экраном и внешней поверхностью диэлектрика имеется зазор.

18. Генератор плазмы по п.14, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, двумя диэлектрическими экранами, по меньшей мере один из которых выполнен из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем между экранами имеется зазор.

19. Генератор плазмы по п.14, отличающийся тем, что диэлектрическое заполнение состоит из диэлектрического цилиндра, отделяющего катушку от основания внутренней поверхности экрана, диэлектрических вставок, заполняющих пространство между витками катушки и диэлектрической пластины, отделяющей катушку от рабочей поверхности устройства.

20. Генератор плазмы по п.19, отличающийся тем, что диэлектрическая пластина выполнена из материала, устойчивого к воздействию плазменной среды.

21. Генератор плазмы по п.20, отличающийся тем, что между диэлектрической пластиной и катушкой, а также между диэлектрической пластиной и диэлектрическими вставками имеется зазор.

22. Генератор плазмы по любому из пп.19-21, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, одним диэлектрическим экраном, выполненным из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрического экрана меньше удвоенной толщины катушки.

23. Генератор плазмы по п.22, отличающийся тем, что между экраном и внешней поверхностью диэлектрика имеется зазор.

24. Генератор плазмы, содержащий спиральную катушку, помещенную внутрь проводящего экрана, внутренняя поверхность которого имеет близкую к цилиндрической форму, причем пространство между витками катушки и между катушкой и экраном заполнено диэлектриком, отличающийся тем, что экран электрически соединен с одним из концов катушки, а диэлектрическая проницаемость диэлектрика находится в пределах от 2,5 до 50.

25. Генератор плазмы по п.24, отличающийся тем, что диэлектрик, отделяющий катушку от рабочей поверхности устройства, выполнен из материала, устойчивого к воздействию плазмы.

26. Генератор плазмы по п.24, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, одним диэлектрическим экраном, выполненным из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрического экрана меньше удвоенной толщины катушки.

27. Генератор плазмы по п.26, отличающийся тем, что между экраном и внешней поверхностью диэлектрика имеется зазор.

28. Генератор плазмы по п.24, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, двумя диэлектрическими экранами, по меньшей мере, один из которых выполнен из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем между экранами имеется зазор.

29. Генератор плазмы по п.24, отличающийся тем, что диэлектрическое заполнение состоит из диэлектрического цилиндра, отделяющего катушку от основания внутренней поверхности экрана, диэлектрических вставок, заполняющих пространство между витками катушки и диэлектрической пластины, отделяющей катушку от рабочей поверхности устройства.

30. Генератор плазмы по п.29, отличающийся тем, что диэлектрическая пластина выполнена из материала, устойчивого к воздействию плазменной среды.

31. Генератор плазмы по п.30, отличающийся тем, что между диэлектрической пластиной и катушкой, а также между диэлектрической пластиной и диэлектрическими вставками имеется зазор.

32. Генератор плазмы по любому из пп.29-31, отличающийся тем, что внешняя поверхность диэлектрика закрыта, по меньшей мере, одним диэлектрическим экраном, выполненным из материала, устойчивого к воздействию плазмы, причем расстояние от плоскости катушки до внешней поверхности диэлектрического экрана меньше удвоенной толщины катушки.

33. Генератор плазмы по п.32, отличающийся тем, что между экраном и внешней поверхностью диэлектрика имеется зазор.