RU2016113321A - Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда - Google Patents

Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда Download PDF

Info

Publication number
RU2016113321A
RU2016113321A RU2016113321A RU2016113321A RU2016113321A RU 2016113321 A RU2016113321 A RU 2016113321A RU 2016113321 A RU2016113321 A RU 2016113321A RU 2016113321 A RU2016113321 A RU 2016113321A RU 2016113321 A RU2016113321 A RU 2016113321A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
generating
frequency
plasma
voltage
frequency discharge
Prior art date
Application number
RU2016113321A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2633707C2 (ru
Inventor
Вячеслав Федорович Мышкин
Иван Алексеевич Ушаков
Валерий Алексеевич Хан
Евгений Владимирович Беспала
Александр Олегович Павлюк
Original Assignee
Евгений Владимирович Беспала
Вячеслав Федорович Мышкин
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Евгений Владимирович Беспала, Вячеслав Федорович Мышкин filed Critical Евгений Владимирович Беспала
Priority to RU2016113321A priority Critical patent/RU2633707C2/ru
Publication of RU2016113321A publication Critical patent/RU2016113321A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2633707C2 publication Critical patent/RU2633707C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/30—Plasma torches using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Claims (1)

  1. Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда, содержащее источник высоковольтного высокочастотного напряжения, анод и катод, установленные через разрядный промежуток, отличающееся тем, что анод непосредственно соединен с фидером высоковольтного высокочастотного генератора, катод выполнен в виде дополнительного электрода, соединенного электрически с одной из обкладок воздушного конденсатора переменной емкости, при этом другая обкладка этого конденсатора электрически изолирована как от шины заземления, так и от общего провода высоковольтного высокочастотного генератора.
RU2016113321A 2016-04-07 2016-04-07 Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда RU2633707C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016113321A RU2633707C2 (ru) 2016-04-07 2016-04-07 Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016113321A RU2633707C2 (ru) 2016-04-07 2016-04-07 Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2016113321A true RU2016113321A (ru) 2017-10-12
RU2633707C2 RU2633707C2 (ru) 2017-10-17

Family

ID=60120219

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016113321A RU2633707C2 (ru) 2016-04-07 2016-04-07 Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2633707C2 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019139498A1 (ru) * 2018-01-10 2019-07-18 Николай Владиславович АРЖАНОВ Крышка резонатора установки для радиационной обработки изделий и материалов

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990041210A (ko) * 1997-11-21 1999-06-15 박원훈 플라즈마를 이용한 재료표면상의 다양한 특성의 고분자 합성방법
US7608839B2 (en) * 2005-08-05 2009-10-27 Mcgill University Plasma source and applications thereof
US8736174B2 (en) * 2010-01-15 2014-05-27 Agilent Technologies, Inc. Plasma generation device with split-ring resonator and electrode extensions
RU2499373C1 (ru) * 2012-06-01 2013-11-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Устройство для возбуждения высокочастотного факельного разряда

Also Published As

Publication number Publication date
RU2633707C2 (ru) 2017-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2528724T3 (es) Dispositivo y procedimiento para la generación de una descarga eléctrica en cuerpos huecos
RU2019103085A (ru) Электродная конструкция для образования диэлектрического барьерного плазменного разряда
MY191473A (en) Discharge device and method for manufacturing same
NL1032338A1 (nl) Inrichting voor het opwekken van straling door middel van gasontlading.
JP2011204681A5 (ru)
TW200701573A (en) Discharge unit for ac ionizer
EA201400514A1 (ru) Мультиэлектродный экран-разрядник
RU2016113321A (ru) Устройство для генерации плазмы высокочастотного разряда
JP2019210185A5 (ru)
EP2511518A3 (en) Ignition system
RU2014101919A (ru) Устройство для использования атмосферного электричества "русэлектро 2"
MX2017014909A (es) Dispositivo portátil utilizado especialmente para electrofulguracion y electrodesecacion.
RU2014116552A (ru) Высокочастотный резонатор и ускоритель частиц, снабженный высокочастотным резонатором
WO2018175320A3 (en) Device for generating and delivering low temperature plasma
RU2014153569A (ru) Искровой промежуток с емкостным накопителем энергии
RU2013123477A (ru) Способ и устройство для рассеивания тумана
RU2012100143A (ru) Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом
RU2013123637A (ru) Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде
RU2015145958A (ru) Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом
WO2014186025A3 (en) Radiation generator having bi-polar electrodes
RU2014152972A (ru) Устройство иницирования процессов в атмосфере
RU2010127142A (ru) Способ локального нагрева участка поверхности катода
RU2017140443A (ru) Искровой генератор
RU2015144841A (ru) Плазмотрон, устройство дозирования плазменного материала и способ формирования плазмы
RU2009117942A (ru) Устройство для воздействия на биообъект

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180408