RU2011147290A - Способ получения однофазных пленок нитрида титана - Google Patents
Способ получения однофазных пленок нитрида титана Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011147290A RU2011147290A RU2011147290/02A RU2011147290A RU2011147290A RU 2011147290 A RU2011147290 A RU 2011147290A RU 2011147290/02 A RU2011147290/02 A RU 2011147290/02A RU 2011147290 A RU2011147290 A RU 2011147290A RU 2011147290 A RU2011147290 A RU 2011147290A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- titanium nitride
- substrate
- temperature
- nitrogen
- bombardment
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Способ получения однокомпонентных пленок нитрида титана стехиометрического состава, включающий формирование покрытий в вакууме путем электродугового распыления титановой мишени в атмосфере реакционного газа-азота, предварительную очистку подложки ионной бомбардировкой в тлеющем разряде в атмосфере аргона при температуре 45-50°С в течение 10-15 мин, отличающийся тем, что полученную субмикронную пленку, состоящую из двух компонентов: TiN и Ti, подвергают бомбардировке ионами азота при смещении на подложке до - 600 В при температуре 50-60°С в течение 15-20 мин.
Claims (1)
- Способ получения однокомпонентных пленок нитрида титана стехиометрического состава, включающий формирование покрытий в вакууме путем электродугового распыления титановой мишени в атмосфере реакционного газа-азота, предварительную очистку подложки ионной бомбардировкой в тлеющем разряде в атмосфере аргона при температуре 45-50°С в течение 10-15 мин, отличающийся тем, что полученную субмикронную пленку, состоящую из двух компонентов: TiN и Ti, подвергают бомбардировке ионами азота при смещении на подложке до - 600 В при температуре 50-60°С в течение 15-20 мин.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011147290/02A RU2497977C2 (ru) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | Способ получения однофазных пленок нитрида титана |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011147290/02A RU2497977C2 (ru) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | Способ получения однофазных пленок нитрида титана |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011147290A true RU2011147290A (ru) | 2013-05-27 |
| RU2497977C2 RU2497977C2 (ru) | 2013-11-10 |
Family
ID=48789091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011147290/02A RU2497977C2 (ru) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | Способ получения однофазных пленок нитрида титана |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2497977C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2554773C1 (ru) * | 2014-02-25 | 2015-06-27 | Общество с ограниченной ответственностью Научно- производственный центр "Технополис" | Материал бактерицидного покрытия |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1799034A1 (ru) * | 1990-04-20 | 1996-05-20 | Всесоюзный Научно-Исследовательский Проектно-Технологический Институт Горного Машиностроения | Способ нанесения износостойких ионно-плазменных покрытий |
| SU1760987A3 (ru) * | 1991-10-01 | 1992-09-07 | Хозрасчетное Научно-Производственно-Творческое Предприятие "Витт" | Способ получени защитно-декоративных покрытий в вакууме из нитрида титана на издели х из металла, стекла, керамики |
| RU2100476C1 (ru) * | 1996-04-01 | 1997-12-27 | Виктор Иванович Прокофьев | Способ получения защитно-декоративных покрытий |
| RU2165474C2 (ru) * | 1999-05-27 | 2001-04-20 | Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов | Способ обработки поверхности металлических изделий |
| RU2334826C2 (ru) * | 2006-10-20 | 2008-09-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный архитектурно-строительный университет" (СГАСУ) | Способ получения защитно-декоративных покрытий в вакууме из нитрида титана на поверхности материалов и изделий |
-
2011
- 2011-11-21 RU RU2011147290/02A patent/RU2497977C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2497977C2 (ru) | 2013-11-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2017076768A5 (ja) | 酸化物の作製方法 | |
| WO2012093807A3 (ko) | 내지문 코팅 방법 및 장치 | |
| TN2011000458A1 (en) | Thin film coating and method of making of making the same | |
| MY170051A (en) | Method for depositing layers on a glass substrate by means of low-pressure pecvd | |
| CA2916769C (en) | Tib2 layers and manufacture thereof | |
| US8293345B1 (en) | Device housing and method for making the same | |
| TW201300578A (zh) | 殼體及其製備方法 | |
| RU2013115142A (ru) | Способ получения многослойного многофункционального покрытия | |
| JP5889965B2 (ja) | ハウジング及びその製造方法 | |
| RU2011147290A (ru) | Способ получения однофазных пленок нитрида титана | |
| WO2009022573A1 (ja) | 薄膜形成方法 | |
| CN102453855B (zh) | 壳体及其制造方法 | |
| CN102337501A (zh) | 真空镀膜件及其制备方法 | |
| US20120121895A1 (en) | Anti-corrosion treatment process for aluminum or aluminum alloy and aluminum or aluminum alloy article thereof | |
| TW201243090A (en) | Anticorrosive treatment for aluminum alloy and aluminum alloy articles manufactured thereof | |
| US9328409B2 (en) | Coated article, method for making the same and electronic device using the same | |
| WO2012093808A3 (ko) | 내지문 코팅 방법 및 장치 | |
| CN102896842A (zh) | 镀膜件及其制造方法 | |
| US8709593B2 (en) | Coated article and method for making the same | |
| RU2013132704A (ru) | Способ получения покрытий карбина | |
| CN102595834A (zh) | 壳体及其制造方法 | |
| CN102618825A (zh) | 壳体及其制作方法 | |
| CN102477526B (zh) | 壳体及其制造方法 | |
| WO2015051277A3 (en) | Method and apparatus to produce high density overcoats | |
| US20120164480A1 (en) | Coated article and method for making the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20151122 |