RU2011147134A - Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча - Google Patents
Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011147134A RU2011147134A RU2011147134/07A RU2011147134A RU2011147134A RU 2011147134 A RU2011147134 A RU 2011147134A RU 2011147134/07 A RU2011147134/07 A RU 2011147134/07A RU 2011147134 A RU2011147134 A RU 2011147134A RU 2011147134 A RU2011147134 A RU 2011147134A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electron beam
- detector
- radiation
- semiconductor sensor
- electromagnetic
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/02—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
- A61L2/08—Radiation
- A61L2/087—Particle radiation, e.g. electron-beam, alpha or beta radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/16—Vessels
- H01J2237/164—Particle-permeable windows
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2441—Semiconductor detectors, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
1. Способ контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, причем для распознавания изменений интенсивности электронного луча обнаруживают и анализируют электронное излучение или электромагнитное излучение, создаваемое непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, предусмотрен детектор, отличающийся тем, что детектор направляют через стенку прозрачного или просвечивающего упаковочного материала на плазму.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что анализируют электромагнитное УФ-излучение или электромагнитное световое излучение.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что излучение анализируют во время распространения электронного луча в атмосферном воздухе или азоте или аргоне.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала применяют электронный луч.5. Способ по п.4, отличающийся тем, что на участке поверхности емкости сокращают количество микроорганизмов.6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что излучение, образуемое электронным лучом, обнаруживают с помощью полупроводникового датчика.7. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют чувствительный к излучению или свету диод.8. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют ПЗС-кристалл или КМОП-кристалл или фотодиод или фототранзистор или фоторезистор.9. Способ по п.7 или 8, отличающийся тем, что электромагнитное излуч
Claims (25)
1. Способ контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, причем для распознавания изменений интенсивности электронного луча обнаруживают и анализируют электронное излучение или электромагнитное излучение, создаваемое непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, предусмотрен детектор, отличающийся тем, что детектор направляют через стенку прозрачного или просвечивающего упаковочного материала на плазму.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что анализируют электромагнитное УФ-излучение или электромагнитное световое излучение.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что излучение анализируют во время распространения электронного луча в атмосферном воздухе или азоте или аргоне.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала применяют электронный луч.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что на участке поверхности емкости сокращают количество микроорганизмов.
6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что излучение, образуемое электронным лучом, обнаруживают с помощью полупроводникового датчика.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют чувствительный к излучению или свету диод.
8. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют ПЗС-кристалл или КМОП-кристалл или фотодиод или фототранзистор или фоторезистор.
9. Способ по п.7 или 8, отличающийся тем, что электромагнитное излучение пропускают через спектральный фильтр или цветной фильтр перед попаданием в полупроводниковый датчик.
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что принимаемое полупроводниковым датчиком излучение образуется внутри полого изделия.
11. Устройство для контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, причем предусмотрен детектор для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом детектор связан с аналитическим устройством для распознавания изменений интенсивности электронного или электромагнитного излучения, создаваемого электронным лучом, отличающееся тем, что детектор расположен таким образом, чтобы быть направленным через стенку прозрачной или просвечивающей тары на плазму.
12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что детектор предназначен для регистрации электромагнитного УФ-излучения или электромагнитного светового излучения.
13. Устройство по п.11 или 12, отличающееся тем, что детектор расположен на участке пути прохождения электронного луча через воздух окружающей среды.
14. Устройство по любому из пунктов 11 или 12, отличающееся тем, что детектор расположен на участке пути прохождения электронного луча через азот или аргон.
15. Устройство по п.13, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала.
16. Устройство по п.14, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала.
17. Устройство по п.13, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности емкости.
18. Устройство по п.14, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности емкости.
19. Устройство по п.13, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде полупроводникового датчика.
20. Устройство по п.14, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде полупроводникового датчика.
21. Устройство по п.19 или 20, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик выполнен в виде чувствительного к излучению диода или светочувствительного диода.
22. Устройство по п.19 или 20, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик выполнен в виде ПЗС-кристалла или КМОП-кристалла или фотодиода или фототранзистора или фоторезистора.
23. Устройство по п.19 или 20, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик расположен с возможностью приема электромагнитного излучения, создаваемого внутри тары.
24. Устройство по п.21, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик расположен с возможностью приема электромагнитного излучения, создаваемого внутри тары.
25. Устройство по п.22, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик расположен с возможностью приема электромагнитного излучения, создаваемого внутри тары.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009018210.1 | 2009-04-21 | ||
DE102009018210.1A DE102009018210C5 (de) | 2009-04-21 | 2009-04-21 | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Intensität eines Elektronenstrahles |
PCT/EP2010/002396 WO2010121775A1 (de) | 2009-04-21 | 2010-04-20 | Verfahren und vorrichtung zur überwachung der intensität eines elektronenstrahls |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2498442C2 RU2498442C2 (ru) | 2013-11-10 |
RU2011147134A true RU2011147134A (ru) | 2013-11-20 |
Family
ID=42269411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011147134/07A RU2498442C2 (ru) | 2009-04-21 | 2010-04-20 | Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8415633B2 (ru) |
EP (1) | EP2422351B2 (ru) |
JP (1) | JP2012524281A (ru) |
CN (1) | CN102282642B (ru) |
DE (1) | DE102009018210C5 (ru) |
RU (1) | RU2498442C2 (ru) |
WO (1) | WO2010121775A1 (ru) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009018210C5 (de) | 2009-04-21 | 2022-08-18 | Khs Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Intensität eines Elektronenstrahles |
DE102011055550A1 (de) * | 2011-11-21 | 2013-05-23 | Krones Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Sterilisieren von Kunststoffbehältnissen mit Elektronenstrahlung |
DE102011056628A1 (de) * | 2011-12-19 | 2013-06-20 | Krones Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum Sterilisieren von Behältnissen mit Funktionsüberwachung |
DE102012104753A1 (de) * | 2012-06-01 | 2013-12-05 | Krones Ag | Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen mit Sterilisationsüberprüfung |
DE102012106379A1 (de) * | 2012-07-16 | 2014-01-30 | Krones Ag | Messvorrichtung und Messverfahren für Behältnissterilisation |
DE102012111494A1 (de) * | 2012-11-27 | 2014-05-28 | Krones Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Sterilisieren von Behältnissen mit Röntgenstrahlungsüberwachung |
JP6164981B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2017-07-19 | 日立造船株式会社 | 電子線滅菌装置における電子線監視装置 |
DE102021110223A1 (de) | 2021-04-22 | 2021-06-02 | Krones Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum Behandeln der Innenwandungen von Behältnissen |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2717964A (en) * | 1952-02-26 | 1955-09-13 | Parsegian Vozcan Lawrence | Sulfur crystal counter |
DE1122739B (de) * | 1958-11-04 | 1962-01-25 | Albiswerk A G | Rasterartiger, nach dem Bolometerprinzip arbeitender Strahlendetektor |
US3729632A (en) | 1970-12-21 | 1973-04-24 | Industrial Nucleonics Corp | Penetrating radiation gauge |
DE2920901C3 (de) * | 1979-05-23 | 1982-03-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Bolometer |
JPS60212953A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-25 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
US4652763A (en) | 1985-03-29 | 1987-03-24 | Energy Sciences, Inc. | Electron-beam irradiation sterilization process |
DE4108768A1 (de) * | 1991-03-18 | 1992-09-24 | Siemens Ag | Strahlendetektor |
GB9217436D0 (en) * | 1992-08-17 | 1992-09-30 | De Beers Ind Diamond | Diamond temperature sensor |
JPH07263179A (ja) * | 1994-03-23 | 1995-10-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | プラズマ計測装置 |
US5483072A (en) * | 1994-08-04 | 1996-01-09 | Bennett X-Ray Technologies | Automatic position control system for x-ray machines |
GB9502050D0 (en) * | 1995-02-02 | 1995-03-22 | Euratom | Apparatus and method for tritium measurement by gas scintillation |
WO1998042385A1 (en) | 1997-03-26 | 1998-10-01 | Electron Processing Systems, Inc. | Technique for interior electron sterilization of an open mouthed container |
JPH11101897A (ja) * | 1997-09-26 | 1999-04-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ビーム照射監視及び線量記録装置 |
US6429444B1 (en) * | 1999-08-24 | 2002-08-06 | Steris Inc. | Real time monitoring of electron beam radiation dose |
US20040227095A1 (en) | 1999-09-23 | 2004-11-18 | Jean-Louis Gerstenmayer | Radiation detector using a composite material and process for manufacturing this detector |
TW464947B (en) * | 1999-11-29 | 2001-11-21 | Ushio Electric Inc | Measuring apparatus of electron beam quantity and processing apparatus of electron beam irradiation |
US7132666B2 (en) * | 2001-02-07 | 2006-11-07 | Tomoji Takamasa | Radiation detector and radiation detecting element |
US20040256565A1 (en) * | 2002-11-06 | 2004-12-23 | William Adams | X-ray backscatter mobile inspection van |
JP2004361195A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Iwasaki Electric Co Ltd | 電子ビーム照射装置とその監視システム |
JP2005024307A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 荷電粒子線エネルギ及びエネルギ幅の測定方法、測定装置、並びにそれを用いた荷電粒子線滅菌装置 |
ITMO20040111A1 (it) * | 2004-05-07 | 2004-08-07 | Sig Simonazzi Spa | Apparati e metodi per sterilizzare e riempire componenti di unita' di confezionamento,particolarmente bottiglie e-o tappi. |
JP4842626B2 (ja) * | 2004-11-26 | 2011-12-21 | 大日本印刷株式会社 | 殺菌方法および殺菌装置 |
US7375345B2 (en) * | 2005-10-26 | 2008-05-20 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Exposed conductor system and method for sensing an electron beam |
JP5438325B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2014-03-12 | 日立造船株式会社 | ボトルの内部を照射する方法 |
JP4903547B2 (ja) * | 2006-12-20 | 2012-03-28 | 株式会社日本Aeパワーシステムズ | 電子線照射装置の性能判定装置 |
DE102008045187A1 (de) | 2008-08-30 | 2010-03-04 | Krones Ag | Elektronenstrahlsterilisation für Behältnisse |
DE102009018210C5 (de) | 2009-04-21 | 2022-08-18 | Khs Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Intensität eines Elektronenstrahles |
-
2009
- 2009-04-21 DE DE102009018210.1A patent/DE102009018210C5/de active Active
-
2010
- 2010-04-20 US US13/133,749 patent/US8415633B2/en active Active
- 2010-04-20 EP EP10716482.4A patent/EP2422351B2/de active Active
- 2010-04-20 WO PCT/EP2010/002396 patent/WO2010121775A1/de active Application Filing
- 2010-04-20 RU RU2011147134/07A patent/RU2498442C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2010-04-20 CN CN201080004718.8A patent/CN102282642B/zh active Active
- 2010-04-20 JP JP2012506385A patent/JP2012524281A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102009018210C5 (de) | 2022-08-18 |
DE102009018210B4 (de) | 2013-01-17 |
CN102282642A (zh) | 2011-12-14 |
EP2422351B1 (de) | 2016-06-22 |
RU2498442C2 (ru) | 2013-11-10 |
CN102282642B (zh) | 2014-09-10 |
EP2422351A1 (de) | 2012-02-29 |
WO2010121775A1 (de) | 2010-10-28 |
JP2012524281A (ja) | 2012-10-11 |
DE102009018210A1 (de) | 2010-11-11 |
US20110233414A1 (en) | 2011-09-29 |
EP2422351B2 (de) | 2022-05-18 |
US8415633B2 (en) | 2013-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2011147134A (ru) | Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча | |
SG165245A1 (en) | Level sensor arrangement for lithographic apparatus and device manufacturing method | |
US11181485B2 (en) | Method and device determining soiling of a shield | |
TW201129784A (en) | Photodetectors useful as ambient light sensors | |
ATE497349T1 (de) | Eierzählsensor | |
JP2012220497A5 (ru) | ||
WO2008066645A3 (en) | Integrated proximity sensor and light sensor | |
TW200612093A (en) | Motion rate sensor | |
RU2011139508A (ru) | Оптоэлектронные способы и устройства для обнаружения анализируемых веществ | |
MX2015011014A (es) | Inspeccion de recipientes. | |
WO2012059743A3 (en) | Temperature calibration methods and apparatus for optical absorption gas sensors, and optical absorption gas sensors thereby calibrated | |
GB201213136D0 (en) | Module for proximity and gesture sensing | |
JP2012522249A5 (ru) | ||
AR038733A1 (es) | Un proceso para detectar si uno o mas componentes estan colocados adecuadamente en un articulo compuesto y el articulo obtenido mediante dicho proceso | |
JP2008522159A5 (ru) | ||
WO2014075792A3 (en) | Apparatus and method for inspecting seals of items | |
JP2005334642A5 (ru) | ||
WO2018009064A1 (en) | Method and device determining soiling of a shield | |
GB2459417A (en) | Skin detection sensor | |
FR2875336B1 (fr) | Dispositif de detection de rayonnements infrarouges a detecteurs bolometriques | |
US9974144B2 (en) | Method for detecting environmental illumination and a fixture built-in motion sensor thereof | |
RU2016148633A (ru) | Способ и устройство для измерения содержания газа упакованных в полимерные пленки, стекло и другие стветопропускающие материалы, чувствительных относительно подлежащего измерению газа материалов | |
RU2008141691A (ru) | Узел и способ получения открывающего устройства для приклеивания к соответствующей запечатанной упаковке с текучим пищевым продуктом | |
MX2018014851A (es) | Detector de la intensidad de la fluorescencia, excitado por luz ultravioleta, portatil. | |
CN103344568A (zh) | 一种光电检测痕量二氧化氮的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190421 |