RU2011147134A - Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча - Google Patents

Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча Download PDF

Info

Publication number
RU2011147134A
RU2011147134A RU2011147134/07A RU2011147134A RU2011147134A RU 2011147134 A RU2011147134 A RU 2011147134A RU 2011147134/07 A RU2011147134/07 A RU 2011147134/07A RU 2011147134 A RU2011147134 A RU 2011147134A RU 2011147134 A RU2011147134 A RU 2011147134A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electron beam
detector
radiation
semiconductor sensor
electromagnetic
Prior art date
Application number
RU2011147134/07A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2498442C2 (ru
Inventor
Гернот КАЙЛ
Алоис МОНЦЕЛЬ
Original Assignee
Кхс Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=42269411&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2011147134(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Кхс Гмбх filed Critical Кхс Гмбх
Application granted granted Critical
Publication of RU2498442C2 publication Critical patent/RU2498442C2/ru
Publication of RU2011147134A publication Critical patent/RU2011147134A/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/244Detectors; Associated components or circuits therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2/00Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
    • A61L2/02Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
    • A61L2/08Radiation
    • A61L2/087Particle radiation, e.g. electron-beam, alpha or beta radiation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/16Vessels
    • H01J2237/164Particle-permeable windows
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/244Detection characterized by the detecting means
    • H01J2237/2441Semiconductor detectors, e.g. diodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/245Detection characterised by the variable being measured
    • H01J2237/24507Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Abstract

1. Способ контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, причем для распознавания изменений интенсивности электронного луча обнаруживают и анализируют электронное излучение или электромагнитное излучение, создаваемое непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, предусмотрен детектор, отличающийся тем, что детектор направляют через стенку прозрачного или просвечивающего упаковочного материала на плазму.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что анализируют электромагнитное УФ-излучение или электромагнитное световое излучение.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что излучение анализируют во время распространения электронного луча в атмосферном воздухе или азоте или аргоне.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала применяют электронный луч.5. Способ по п.4, отличающийся тем, что на участке поверхности емкости сокращают количество микроорганизмов.6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что излучение, образуемое электронным лучом, обнаруживают с помощью полупроводникового датчика.7. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют чувствительный к излучению или свету диод.8. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют ПЗС-кристалл или КМОП-кристалл или фотодиод или фототранзистор или фоторезистор.9. Способ по п.7 или 8, отличающийся тем, что электромагнитное излуч

Claims (25)

1. Способ контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, причем для распознавания изменений интенсивности электронного луча обнаруживают и анализируют электронное излучение или электромагнитное излучение, создаваемое непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, предусмотрен детектор, отличающийся тем, что детектор направляют через стенку прозрачного или просвечивающего упаковочного материала на плазму.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что анализируют электромагнитное УФ-излучение или электромагнитное световое излучение.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что излучение анализируют во время распространения электронного луча в атмосферном воздухе или азоте или аргоне.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала применяют электронный луч.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что на участке поверхности емкости сокращают количество микроорганизмов.
6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что излучение, образуемое электронным лучом, обнаруживают с помощью полупроводникового датчика.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют чувствительный к излучению или свету диод.
8. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве полупроводникового датчика применяют ПЗС-кристалл или КМОП-кристалл или фотодиод или фототранзистор или фоторезистор.
9. Способ по п.7 или 8, отличающийся тем, что электромагнитное излучение пропускают через спектральный фильтр или цветной фильтр перед попаданием в полупроводниковый датчик.
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что принимаемое полупроводниковым датчиком излучение образуется внутри полого изделия.
11. Устройство для контроля интенсивности электронного луча, образующего плазму при своем распространении, причем предусмотрен детектор для измерительной регистрации электронного или электромагнитного излучения, создаваемого непосредственно или косвенно электронным лучом, при этом детектор связан с аналитическим устройством для распознавания изменений интенсивности электронного или электромагнитного излучения, создаваемого электронным лучом, отличающееся тем, что детектор расположен таким образом, чтобы быть направленным через стенку прозрачной или просвечивающей тары на плазму.
12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что детектор предназначен для регистрации электромагнитного УФ-излучения или электромагнитного светового излучения.
13. Устройство по п.11 или 12, отличающееся тем, что детектор расположен на участке пути прохождения электронного луча через воздух окружающей среды.
14. Устройство по любому из пунктов 11 или 12, отличающееся тем, что детектор расположен на участке пути прохождения электронного луча через азот или аргон.
15. Устройство по п.13, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала.
16. Устройство по п.14, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности упаковочного материала.
17. Устройство по п.13, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности емкости.
18. Устройство по п.14, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде части устройства для сокращения числа микроорганизмов на участке поверхности емкости.
19. Устройство по п.13, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде полупроводникового датчика.
20. Устройство по п.14, отличающееся тем, что детектор выполнен в виде полупроводникового датчика.
21. Устройство по п.19 или 20, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик выполнен в виде чувствительного к излучению диода или светочувствительного диода.
22. Устройство по п.19 или 20, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик выполнен в виде ПЗС-кристалла или КМОП-кристалла или фотодиода или фототранзистора или фоторезистора.
23. Устройство по п.19 или 20, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик расположен с возможностью приема электромагнитного излучения, создаваемого внутри тары.
24. Устройство по п.21, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик расположен с возможностью приема электромагнитного излучения, создаваемого внутри тары.
25. Устройство по п.22, отличающееся тем, что полупроводниковый датчик расположен с возможностью приема электромагнитного излучения, создаваемого внутри тары.
RU2011147134/07A 2009-04-21 2010-04-20 Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча RU2498442C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009018210.1 2009-04-21
DE102009018210.1A DE102009018210C5 (de) 2009-04-21 2009-04-21 Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Intensität eines Elektronenstrahles
PCT/EP2010/002396 WO2010121775A1 (de) 2009-04-21 2010-04-20 Verfahren und vorrichtung zur überwachung der intensität eines elektronenstrahls

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2498442C2 RU2498442C2 (ru) 2013-11-10
RU2011147134A true RU2011147134A (ru) 2013-11-20

Family

ID=42269411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011147134/07A RU2498442C2 (ru) 2009-04-21 2010-04-20 Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8415633B2 (ru)
EP (1) EP2422351B2 (ru)
JP (1) JP2012524281A (ru)
CN (1) CN102282642B (ru)
DE (1) DE102009018210C5 (ru)
RU (1) RU2498442C2 (ru)
WO (1) WO2010121775A1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009018210C5 (de) 2009-04-21 2022-08-18 Khs Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Intensität eines Elektronenstrahles
DE102011055550A1 (de) * 2011-11-21 2013-05-23 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zum Sterilisieren von Kunststoffbehältnissen mit Elektronenstrahlung
DE102011056628A1 (de) * 2011-12-19 2013-06-20 Krones Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zum Sterilisieren von Behältnissen mit Funktionsüberwachung
DE102012104753A1 (de) * 2012-06-01 2013-12-05 Krones Ag Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen mit Sterilisationsüberprüfung
DE102012106379A1 (de) * 2012-07-16 2014-01-30 Krones Ag Messvorrichtung und Messverfahren für Behältnissterilisation
DE102012111494A1 (de) * 2012-11-27 2014-05-28 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zum Sterilisieren von Behältnissen mit Röntgenstrahlungsüberwachung
JP6164981B2 (ja) * 2013-08-23 2017-07-19 日立造船株式会社 電子線滅菌装置における電子線監視装置
DE102021110223A1 (de) 2021-04-22 2021-06-02 Krones Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zum Behandeln der Innenwandungen von Behältnissen

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2717964A (en) * 1952-02-26 1955-09-13 Parsegian Vozcan Lawrence Sulfur crystal counter
DE1122739B (de) * 1958-11-04 1962-01-25 Albiswerk A G Rasterartiger, nach dem Bolometerprinzip arbeitender Strahlendetektor
US3729632A (en) 1970-12-21 1973-04-24 Industrial Nucleonics Corp Penetrating radiation gauge
DE2920901C3 (de) * 1979-05-23 1982-03-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Bolometer
JPS60212953A (ja) * 1984-04-06 1985-10-25 Hitachi Ltd 電子線装置
US4652763A (en) 1985-03-29 1987-03-24 Energy Sciences, Inc. Electron-beam irradiation sterilization process
DE4108768A1 (de) * 1991-03-18 1992-09-24 Siemens Ag Strahlendetektor
GB9217436D0 (en) * 1992-08-17 1992-09-30 De Beers Ind Diamond Diamond temperature sensor
JPH07263179A (ja) * 1994-03-23 1995-10-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd プラズマ計測装置
US5483072A (en) * 1994-08-04 1996-01-09 Bennett X-Ray Technologies Automatic position control system for x-ray machines
GB9502050D0 (en) * 1995-02-02 1995-03-22 Euratom Apparatus and method for tritium measurement by gas scintillation
WO1998042385A1 (en) 1997-03-26 1998-10-01 Electron Processing Systems, Inc. Technique for interior electron sterilization of an open mouthed container
JPH11101897A (ja) * 1997-09-26 1999-04-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ビーム照射監視及び線量記録装置
US6429444B1 (en) * 1999-08-24 2002-08-06 Steris Inc. Real time monitoring of electron beam radiation dose
US20040227095A1 (en) 1999-09-23 2004-11-18 Jean-Louis Gerstenmayer Radiation detector using a composite material and process for manufacturing this detector
TW464947B (en) * 1999-11-29 2001-11-21 Ushio Electric Inc Measuring apparatus of electron beam quantity and processing apparatus of electron beam irradiation
US7132666B2 (en) * 2001-02-07 2006-11-07 Tomoji Takamasa Radiation detector and radiation detecting element
US20040256565A1 (en) * 2002-11-06 2004-12-23 William Adams X-ray backscatter mobile inspection van
JP2004361195A (ja) * 2003-06-04 2004-12-24 Iwasaki Electric Co Ltd 電子ビーム照射装置とその監視システム
JP2005024307A (ja) * 2003-06-30 2005-01-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 荷電粒子線エネルギ及びエネルギ幅の測定方法、測定装置、並びにそれを用いた荷電粒子線滅菌装置
ITMO20040111A1 (it) * 2004-05-07 2004-08-07 Sig Simonazzi Spa Apparati e metodi per sterilizzare e riempire componenti di unita' di confezionamento,particolarmente bottiglie e-o tappi.
JP4842626B2 (ja) * 2004-11-26 2011-12-21 大日本印刷株式会社 殺菌方法および殺菌装置
US7375345B2 (en) * 2005-10-26 2008-05-20 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Exposed conductor system and method for sensing an electron beam
JP5438325B2 (ja) * 2006-02-14 2014-03-12 日立造船株式会社 ボトルの内部を照射する方法
JP4903547B2 (ja) * 2006-12-20 2012-03-28 株式会社日本Aeパワーシステムズ 電子線照射装置の性能判定装置
DE102008045187A1 (de) 2008-08-30 2010-03-04 Krones Ag Elektronenstrahlsterilisation für Behältnisse
DE102009018210C5 (de) 2009-04-21 2022-08-18 Khs Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Intensität eines Elektronenstrahles

Also Published As

Publication number Publication date
DE102009018210C5 (de) 2022-08-18
DE102009018210B4 (de) 2013-01-17
CN102282642A (zh) 2011-12-14
EP2422351B1 (de) 2016-06-22
RU2498442C2 (ru) 2013-11-10
CN102282642B (zh) 2014-09-10
EP2422351A1 (de) 2012-02-29
WO2010121775A1 (de) 2010-10-28
JP2012524281A (ja) 2012-10-11
DE102009018210A1 (de) 2010-11-11
US20110233414A1 (en) 2011-09-29
EP2422351B2 (de) 2022-05-18
US8415633B2 (en) 2013-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2011147134A (ru) Способ и устройство для контроля интенсивности электронного луча
SG165245A1 (en) Level sensor arrangement for lithographic apparatus and device manufacturing method
US11181485B2 (en) Method and device determining soiling of a shield
TW201129784A (en) Photodetectors useful as ambient light sensors
ATE497349T1 (de) Eierzählsensor
JP2012220497A5 (ru)
WO2008066645A3 (en) Integrated proximity sensor and light sensor
TW200612093A (en) Motion rate sensor
RU2011139508A (ru) Оптоэлектронные способы и устройства для обнаружения анализируемых веществ
MX2015011014A (es) Inspeccion de recipientes.
WO2012059743A3 (en) Temperature calibration methods and apparatus for optical absorption gas sensors, and optical absorption gas sensors thereby calibrated
GB201213136D0 (en) Module for proximity and gesture sensing
JP2012522249A5 (ru)
AR038733A1 (es) Un proceso para detectar si uno o mas componentes estan colocados adecuadamente en un articulo compuesto y el articulo obtenido mediante dicho proceso
JP2008522159A5 (ru)
WO2014075792A3 (en) Apparatus and method for inspecting seals of items
JP2005334642A5 (ru)
WO2018009064A1 (en) Method and device determining soiling of a shield
GB2459417A (en) Skin detection sensor
FR2875336B1 (fr) Dispositif de detection de rayonnements infrarouges a detecteurs bolometriques
US9974144B2 (en) Method for detecting environmental illumination and a fixture built-in motion sensor thereof
RU2016148633A (ru) Способ и устройство для измерения содержания газа упакованных в полимерные пленки, стекло и другие стветопропускающие материалы, чувствительных относительно подлежащего измерению газа материалов
RU2008141691A (ru) Узел и способ получения открывающего устройства для приклеивания к соответствующей запечатанной упаковке с текучим пищевым продуктом
MX2018014851A (es) Detector de la intensidad de la fluorescencia, excitado por luz ultravioleta, portatil.
CN103344568A (zh) 一种光电检测痕量二氧化氮的方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190421