RU2011139816A - Мэмс (mems)-структура с гибкой мембраной и усовершенствованный электрический активационный механизм - Google Patents
Мэмс (mems)-структура с гибкой мембраной и усовершенствованный электрический активационный механизм Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011139816A RU2011139816A RU2011139816/07A RU2011139816A RU2011139816A RU 2011139816 A RU2011139816 A RU 2011139816A RU 2011139816/07 A RU2011139816/07 A RU 2011139816/07A RU 2011139816 A RU2011139816 A RU 2011139816A RU 2011139816 A RU2011139816 A RU 2011139816A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- membrane
- mems
- functional part
- support
- longitudinal direction
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B5/00—Devices comprising elements which are movable in relation to each other, e.g. comprising slidable or rotatable elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/01—Switches
- B81B2201/012—Switches characterised by the shape
- B81B2201/018—Switches not provided for in B81B2201/014 - B81B2201/016
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Tents Or Canopies (AREA)
Abstract
1. МЭМС (MEMS)-структура, содержащая гибкую мембрану (6), имеющую основную продольную ось (6a), которая определяет продольное направление (X), по меньшей мере одну опору (3, 3') под гибкой мембраной (6), электрический опускающий активационный механизм (7), способный сгибать гибкую мембрану (6) в нижнее форсированное положение, электрический поднимающий активационный механизм (8), способный сгибать мембрану (6) в верхнее форсированное положение, причем электрический опускающий активационный механизм (7) или электрический поднимающий активационный механизм (8) содержит активационную область (7c или 8c), которая проходит под частью мембраны (6) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на мембрану (6) одновременно по обе стороны от указанной по меньшей мере одной опоры (3) в продольном направлении (X).2. МЭМС (MEMS)-структура по п.1, в которой мембрана (6) состоит из гибкой функциональной части (60), находящейся выше указанной по меньшей мере одной опоры (3, 3') и способной сгибаться вверх или вниз под действием эффекта рычага, создаваемого по меньшей мере одной опорой (3, 3'), и по меньшей мере одной гибкой боковой нефункциональной части (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y) и проходящей по обе стороны по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем активационная область (7 с) электрического опускающего активационного механизма (7) или активационная область (8c) электрического поднимающего активационного механизма (8) проходит под по меньшей мере одной боковой нефункциональной частью (61b) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на по меньшей мере одну бокову
Claims (12)
1. МЭМС (MEMS)-структура, содержащая гибкую мембрану (6), имеющую основную продольную ось (6a), которая определяет продольное направление (X), по меньшей мере одну опору (3, 3') под гибкой мембраной (6), электрический опускающий активационный механизм (7), способный сгибать гибкую мембрану (6) в нижнее форсированное положение, электрический поднимающий активационный механизм (8), способный сгибать мембрану (6) в верхнее форсированное положение, причем электрический опускающий активационный механизм (7) или электрический поднимающий активационный механизм (8) содержит активационную область (7c или 8c), которая проходит под частью мембраны (6) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на мембрану (6) одновременно по обе стороны от указанной по меньшей мере одной опоры (3) в продольном направлении (X).
2. МЭМС (MEMS)-структура по п.1, в которой мембрана (6) состоит из гибкой функциональной части (60), находящейся выше указанной по меньшей мере одной опоры (3, 3') и способной сгибаться вверх или вниз под действием эффекта рычага, создаваемого по меньшей мере одной опорой (3, 3'), и по меньшей мере одной гибкой боковой нефункциональной части (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y) и проходящей по обе стороны по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем активационная область (7 с) электрического опускающего активационного механизма (7) или активационная область (8c) электрического поднимающего активационного механизма (8) проходит под по меньшей мере одной боковой нефункциональной частью (61b) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на по меньшей мере одну боковую нефункциональную часть (61b) мембраны (6) одновременно с обеих сторон по меньшей мере одной опоры (3, 3') в продольном направлении (X).
3. МЭМС (MEMS)-структура по п.2, в которой мембрана (6) содержит по меньшей мере две боковые гибкие нефункциональные части (61b), расположенные по обе стороны от функциональной части (60) мембраны (6) в поперечном направлении (Y).
4. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, дополнительно содержащая подложку (1), в которой функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута по меньшей мере на одном конце в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем указанная центральная нефункциональная часть (61a) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере одной боковой нефункциональной частью (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y), и проходит по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), и в которой зазор (g2) в исходном положении между подложкой (1) и указанной боковой нефункциональной частью (61b) меньше, чем зазор (g1) в исходном положении между функциональной частью (60) мембраны и подложкой (1).
5. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, в которой функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута по меньшей мере на одном конце в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем указанная центральная нефункциональная часть (61a) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере боковой нефункциональной частью (61b), находящейся за пределами по меньшей мере одной опоры (3,3') в поперечном направлении (Y), и которая проходит по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), и толщина боковой нефункциональной части (61b) меньше, чем толщина функциональной части (60) мембраны.
6. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, дополнительно содержащая подложку (1), в которой функциональная часть (60) мембраны (6), вытянута по меньшей мере на одном конце в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере боковой нефункциональной частью (61b), расположенной за пределами указанной по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y), и проходит по обе стороны указанной по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем зазор (g2) в исходном положении между подложкой (1) и указанной боковой нефункциональной частью (61b) меньше, чем зазор (g1) в исходном положении между центральной нефункциональной частью (61a) мембраны и подложкой (1).
7. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, где функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута по меньшей мере с одного конца в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере боковой нефункциональной частью (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y), и которая проходит по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем толщина боковой нефункциональной части (61b) меньше, чем толщина центральной нефункциональной части (61a) мембраны.
8. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где электрический опускающий активационный механизм (7) включает активационную область (7c), проходящую под частью мембраны (6) и способную создавать тянущие силы, воздействующие на указанную часть мембраны (6) одновременно по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3, 3') в продольном направлении (X), и электрический поднимающий активационный механизм (8) включает активационную область (8c), проходящую под другой частью мембраны (6) и способную создавать тянущие силы, воздействующие на указанную другую часть мембраны (6) с обеих сторон от по меньшей мере одной опоры (3, 3') в продольном направлении (X).
9. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) находится выше по меньшей мере двух опор (3, 3'), разнесенных друг от друга в продольном направлении (X), причем электрический поднимающий активационный механизм (7) или электрический опускающий активационный механизм (8) включает для каждой опоры (3, 3') активационную область (7c или 8c), проходящую под частью мембраны (6) и способную создавать тянущие силы, воздействующие на указанную часть мембраны (6) одновременно по обе стороны от соответствующих опор (3 и 3') в продольном направлении (X).
10. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) является свободной мембраной, у которой оба конца (6b, 6c) не прикреплены к подложке (1), и поддерживается в исходном положении по меньшей мере одной опорой.
11. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) является консольной мембраной, которая закреплена на одном конце (6а) к подложке (1).
12. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) является двузажимной мембраной (6) и прикреплена двумя концами (6b, 6c) к подложке (1).
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP09370007A EP2230679B1 (en) | 2009-03-20 | 2009-03-20 | Mems structure with a flexible membrane and improved electric actuation means |
| EP09370007.8 | 2009-03-20 | ||
| PCT/EP2010/001701 WO2010105827A1 (en) | 2009-03-20 | 2010-03-18 | Mems structure with a flexible membrane and improved electric actuation means |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011139816A true RU2011139816A (ru) | 2013-04-27 |
Family
ID=40996556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011139816/07A RU2011139816A (ru) | 2009-03-20 | 2010-03-18 | Мэмс (mems)-структура с гибкой мембраной и усовершенствованный электрический активационный механизм |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8593239B2 (ru) |
| EP (1) | EP2230679B1 (ru) |
| JP (1) | JP5563057B2 (ru) |
| KR (1) | KR20120006008A (ru) |
| CN (1) | CN102362330B (ru) |
| AU (1) | AU2010225137B2 (ru) |
| BR (1) | BRPI1006447A2 (ru) |
| CA (1) | CA2755052A1 (ru) |
| DK (1) | DK2230679T3 (ru) |
| ES (1) | ES2388126T3 (ru) |
| IL (1) | IL215099A (ru) |
| RU (1) | RU2011139816A (ru) |
| SG (1) | SG173814A1 (ru) |
| UA (1) | UA102728C2 (ru) |
| WO (1) | WO2010105827A1 (ru) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108439325B (zh) | 2013-03-15 | 2023-03-14 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 微电子机械系统装置及调整其可动部件的形状的方法 |
| CN106536403B8 (zh) | 2014-05-28 | 2019-08-20 | 3M创新有限公司 | 柔性基底上的微机电系统装置 |
| EP3038126A1 (en) | 2014-12-22 | 2016-06-29 | DelfMEMS SAS | MEMS structure with thick movable membrane |
| EP3038125A1 (en) | 2014-12-22 | 2016-06-29 | DelfMEMS SAS | Mems structure with multilayer membrane |
| FR3031098A1 (fr) | 2014-12-26 | 2016-07-01 | Delfmems | Dispositif microelectromecanique ou nanoelectromecanique comportant une membrane mobile en translation et une electrode d'actionnement isolee de la membrane par une couche dielectrique |
| FR3031096A1 (fr) | 2014-12-26 | 2016-07-01 | Delfmems | Dispositif microelectromecanique ou nanoelectromecanique comportant une membrane qui est mobile en translation et est profilee pour reduire les courts-circuits et la formation d'arcs electriques |
| US11261081B2 (en) | 2016-09-12 | 2022-03-01 | MEMS Drive (Nanjing) Co., Ltd. | MEMS actuation systems and methods |
| WO2018049161A1 (en) | 2016-09-12 | 2018-03-15 | Mems Drive, Inc. | Mems actuation systems and methods |
| US11407634B2 (en) | 2016-09-12 | 2022-08-09 | MEMS Drive (Nanjing) Co., Ltd. | MEMS actuation systems and methods |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5638946A (en) | 1996-01-11 | 1997-06-17 | Northeastern University | Micromechanical switch with insulated switch contact |
| US5867302A (en) * | 1997-08-07 | 1999-02-02 | Sandia Corporation | Bistable microelectromechanical actuator |
| US20040091203A1 (en) | 2000-09-07 | 2004-05-13 | Teraop (Usa) Inc. | Ultra-fast RF MEMS switch and method for fast switching of RFsignals |
| US6504118B2 (en) * | 2000-10-27 | 2003-01-07 | Daniel J Hyman | Microfabricated double-throw relay with multimorph actuator and electrostatic latch mechanism |
| SE0101182D0 (sv) * | 2001-04-02 | 2001-04-02 | Ericsson Telefon Ab L M | Micro electromechanical switches |
| WO2003028059A1 (en) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Hrl Laboratories, Llc | Mems switches and methods of making same |
| JP3818176B2 (ja) | 2002-03-06 | 2006-09-06 | 株式会社村田製作所 | Ｒｆｍｅｍｓ素子 |
| US6701779B2 (en) * | 2002-03-21 | 2004-03-09 | International Business Machines Corporation | Perpendicular torsion micro-electromechanical switch |
| US20040050674A1 (en) | 2002-09-14 | 2004-03-18 | Rubel Paul John | Mechanically bi-stable mems relay device |
| US7034375B2 (en) | 2003-02-21 | 2006-04-25 | Honeywell International Inc. | Micro electromechanical systems thermal switch |
| US6882256B1 (en) | 2003-06-20 | 2005-04-19 | Northrop Grumman Corporation | Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch |
| JP4364565B2 (ja) | 2003-07-02 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | 静電アクチュエーター，マイクロスイッチ，マイクロ光スイッチ，電子機器および静電アクチュエーターの製造方法 |
| FR2858459B1 (fr) * | 2003-08-01 | 2006-03-10 | Commissariat Energie Atomique | Commutateur micro-mecanique bistable, methode d'actionnement et procede de realisation correspondant |
| KR100661349B1 (ko) * | 2004-12-17 | 2006-12-27 | 삼성전자주식회사 | Ｍｅｍｓ 스위치 및 그 제조 방법 |
| KR20060092424A (ko) * | 2005-02-17 | 2006-08-23 | 삼성전자주식회사 | 스위치패드 및 그것을 구비한 마이크로 스위치 |
| DE602005003008T2 (de) * | 2005-03-21 | 2008-08-14 | Delfmems | RF MEMS Schalter mit einer flexiblen und freien Schaltmembran |
| KR100612893B1 (ko) * | 2005-04-08 | 2006-08-14 | 삼성전자주식회사 | 트라이 스테이트 ｒｆ 스위치 |
-
2009
- 2009-03-20 DK DK09370007.8T patent/DK2230679T3/da active
- 2009-03-20 ES ES09370007T patent/ES2388126T3/es active Active
- 2009-03-20 EP EP09370007A patent/EP2230679B1/en not_active Not-in-force
-
2010
- 2010-03-18 UA UAA201111172A patent/UA102728C2/ru unknown
- 2010-03-18 JP JP2012500146A patent/JP5563057B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-18 KR KR1020117019873A patent/KR20120006008A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-03-18 RU RU2011139816/07A patent/RU2011139816A/ru not_active Application Discontinuation
- 2010-03-18 CN CN201080012592.9A patent/CN102362330B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-18 CA CA2755052A patent/CA2755052A1/en not_active Abandoned
- 2010-03-18 AU AU2010225137A patent/AU2010225137B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-18 WO PCT/EP2010/001701 patent/WO2010105827A1/en active Application Filing
- 2010-03-18 US US13/203,884 patent/US8593239B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-18 SG SG2011060621A patent/SG173814A1/en unknown
- 2010-03-18 BR BRPI1006447A patent/BRPI1006447A2/pt not_active IP Right Cessation
-
2011
- 2011-09-12 IL IL215099A patent/IL215099A/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SG173814A1 (en) | 2011-09-29 |
| CN102362330B (zh) | 2014-09-03 |
| WO2010105827A1 (en) | 2010-09-23 |
| JP2012521062A (ja) | 2012-09-10 |
| UA102728C2 (ru) | 2013-08-12 |
| EP2230679B1 (en) | 2012-05-16 |
| ES2388126T3 (es) | 2012-10-09 |
| US8593239B2 (en) | 2013-11-26 |
| JP5563057B2 (ja) | 2014-07-30 |
| DK2230679T3 (da) | 2012-07-30 |
| BRPI1006447A2 (pt) | 2016-02-10 |
| IL215099A0 (en) | 2011-12-29 |
| CN102362330A (zh) | 2012-02-22 |
| IL215099A (en) | 2013-06-27 |
| KR20120006008A (ko) | 2012-01-17 |
| EP2230679A1 (en) | 2010-09-22 |
| CA2755052A1 (en) | 2010-09-23 |
| US20110315529A1 (en) | 2011-12-29 |
| AU2010225137B2 (en) | 2014-07-10 |
| AU2010225137A1 (en) | 2011-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2011139816A (ru) | Мэмс (mems)-структура с гибкой мембраной и усовершенствованный электрический активационный механизм | |
| RU2013147496A (ru) | Коммутационный переключатель радиочастотных (rf) микроэлектромеханических систем (mems) и коммутационная переключающая матрица, содержащая коммутационные переключатели rf mems | |
| ATE376704T1 (de) | Rf mems schalter mit einer flexiblen und freien schaltmembran | |
| ES2720496T3 (es) | Dispositivo operativo para un componente de vehículo | |
| ES2190393T3 (es) | Valvula piezoelectrica. | |
| ATE380140T1 (de) | Karosserieverstärkung für ein fahrzeug | |
| BR112012011335A2 (pt) | espelho fino com reforço de treliça e disposição de montagem para ele | |
| ATE394225T1 (de) | Klammer | |
| BRPI0911008A2 (pt) | nacela de aeronave | |
| ATE484736T1 (de) | Elektronische erfassungsvorrichtung und diese vorrichtung umfassender sensor | |
| ES1061946Y (es) | Aparato de soporte con ajuste de altura. | |
| DE602004021422D1 (de) | Maschine zum umstellen von eisenbahnweichen | |
| DE602006001293D1 (de) | Elektromechanische mikrovorrichtung zum kippen eines körpers um zwei freiheitsgrade | |
| DE602005020951D1 (de) | Fahrgeschäft | |
| US1377605A (en) | Reclining-chair | |
| DE502004008089D1 (de) | Lastumschalter für einen stufenschalter | |
| EP2081296A3 (de) | Elektrischer Installationsschalter | |
| ATE455927T1 (de) | U-förmiger steckverbinder | |
| ATE490894T1 (de) | Wischblatt | |
| ATE541296T1 (de) | Untere düse eines brennstabbündels für einen druckwasserreaktor | |
| CN205758118U (zh) | 一种伸缩钢琴凳 | |
| SE0402669L (sv) | Bomarrangemang för en skrotningsanordning jämte skrotningsanordning | |
| MX2019004747A (es) | Mecanismo auxiliar para levantar el asiento del inodoro. | |
| KR200381569Y1 (ko) | 디지털 피아노의 건반구조 | |
| EP1978541A3 (de) | Schaltschütz |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA94 | Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees) |
Effective date: 20150817 |