RU2010141753A - METHOD FOR SCANNING ON A SCANNING PROBE MICROSCOPE AND FORMING A SURFACE IMAGE - Google Patents

METHOD FOR SCANNING ON A SCANNING PROBE MICROSCOPE AND FORMING A SURFACE IMAGE Download PDF

Info

Publication number
RU2010141753A
RU2010141753A RU2010141753/28A RU2010141753A RU2010141753A RU 2010141753 A RU2010141753 A RU 2010141753A RU 2010141753/28 A RU2010141753/28 A RU 2010141753/28A RU 2010141753 A RU2010141753 A RU 2010141753A RU 2010141753 A RU2010141753 A RU 2010141753A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
scanning
sample
substrate
probe microscope
image
Prior art date
Application number
RU2010141753/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2462726C2 (en
Inventor
Сергей Антонович Чижик (BY)
Сергей Антонович Чижик
Андрей Леонидович Худолей (BY)
Андрей Леонидович Худолей
Original Assignee
Государственное научное учреждение "Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси" (BY)
Государственное Научное Учреждение "Институт Тепло- И Массообмена Имени А.В. Лыкова Национальной Академии Наук Беларуси"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное научное учреждение "Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси" (BY), Государственное Научное Учреждение "Институт Тепло- И Массообмена Имени А.В. Лыкова Национальной Академии Наук Беларуси" filed Critical Государственное научное учреждение "Институт тепло- и массообмена имени А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси" (BY)
Priority to RU2010141753/28A priority Critical patent/RU2462726C2/en
Publication of RU2010141753A publication Critical patent/RU2010141753A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2462726C2 publication Critical patent/RU2462726C2/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Способ сканирования на сканирующем зондовом микроскопе и формирования изображения поверхности, согласно которому при сканировании зонд или образец перемещают сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных, полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа, отличающийся тем, что сканирование поверхности образца выполняют раздельно для двух участков - поверхности подложки и поверхности структурного элемента, находящегося на подложке, без переустановки образца, формируют изображение поверхности структурного элемента путем вычитания постоянного наклона, определенного по результатам сканирования поверхности подложки. A method of scanning with a scanning probe microscope and forming a surface image, according to which, when scanning, the probe or sample is moved by the scanner, the probe-sample distance is measured for various points on the surface of the sample, and the surface image is generated by determining and subtracting the constant slope and constant component, adjusting and filtering data obtained using a scanning probe microscope, characterized in that the scanning of the surface of the sample is performed separately о for two sections - the surface of the substrate and the surface of the structural element located on the substrate, without reinstalling the sample, form the image of the surface of the structural element by subtracting the constant slope determined by the results of scanning the surface of the substrate.

Claims (1)

Способ сканирования на сканирующем зондовом микроскопе и формирования изображения поверхности, согласно которому при сканировании зонд или образец перемещают сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных, полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа, отличающийся тем, что сканирование поверхности образца выполняют раздельно для двух участков - поверхности подложки и поверхности структурного элемента, находящегося на подложке, без переустановки образца, формируют изображение поверхности структурного элемента путем вычитания постоянного наклона, определенного по результатам сканирования поверхности подложки. A method of scanning with a scanning probe microscope and forming a surface image, according to which, when scanning, the probe or sample is moved by the scanner, the probe-sample distance is measured for various points on the surface of the sample, and the surface image is generated by determining and subtracting the constant slope and constant component, adjusting and filtering data obtained using a scanning probe microscope, characterized in that the scanning of the surface of the sample is performed separately о for two sections - the surface of the substrate and the surface of the structural element located on the substrate, without reinstalling the sample, form the image of the surface of the structural element by subtracting the constant slope determined by the results of scanning the surface of the substrate.
RU2010141753/28A 2010-10-11 2010-10-11 Method of scanning on scanning probe microscope and forming image of surface RU2462726C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010141753/28A RU2462726C2 (en) 2010-10-11 2010-10-11 Method of scanning on scanning probe microscope and forming image of surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010141753/28A RU2462726C2 (en) 2010-10-11 2010-10-11 Method of scanning on scanning probe microscope and forming image of surface

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010141753A true RU2010141753A (en) 2012-04-20
RU2462726C2 RU2462726C2 (en) 2012-09-27

Family

ID=46032263

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010141753/28A RU2462726C2 (en) 2010-10-11 2010-10-11 Method of scanning on scanning probe microscope and forming image of surface

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2462726C2 (en)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2145055C1 (en) * 1999-02-08 2000-01-27 Ао "Автэкс" Process of collection and processing of information about surfaces of sample
US6810354B1 (en) * 2002-05-06 2004-10-26 Veeco Instruments Inc. Image reconstruction method
US7473887B2 (en) * 2002-07-04 2009-01-06 University Of Bristol Of Senate House Resonant scanning probe microscope
RU70373U1 (en) * 2007-10-08 2008-01-20 Институт прикладной механики УрО РАН DEVICE FOR STUDYING A SURFACE OF A SOLID BODY BY A TUNNEL MICROSCOPE
US20100017920A1 (en) * 2008-07-21 2010-01-21 Park San-Il Scanning probe microscope with tilted sample stage

Also Published As

Publication number Publication date
RU2462726C2 (en) 2012-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB0801900D0 (en) Scanning probe microscopy
MY156072A (en) Apparatus and method for inspecting an object with increased depth of field
WO2007062039A3 (en) Confocal imaging methods and apparatus
EP2148247A3 (en) Measuring apparatus, measuring method and image forming apparatus
SG10201900569TA (en) A microscope module for imaging a sample
EP3032267A3 (en) Methods of analyzing sample surfaces using a scanning probe microscope and scanning probe microscopes therefor
GB2499347A (en) Surface data acquisition, storage, and assessment system
IN2014DN03134A (en)
EP2492647A3 (en) Scale, optical encoder and optical device
EP2469226A3 (en) Optical system for forming a laser beam and laser system with such an optical system
EP2669739A3 (en) Measuring method, and exposure method and apparatus
EP2551632A3 (en) Optical imaging method and optical imaging apparatus
JP2012132749A5 (en)
WO2013105922A3 (en) Non-contact surface characterization using modulated illumination
EP2506551A3 (en) Controlling device for controlling scan performing unit
MY179031A (en) Method and apparatus to compensate for deflection artifacts in an atomic force microscope
WO2014155136A3 (en) Tyre assessment
RU2010141753A (en) METHOD FOR SCANNING ON A SCANNING PROBE MICROSCOPE AND FORMING A SURFACE IMAGE
EP3450979A3 (en) Using phage epitopes to profile the immune response
EP3811087A4 (en) Scanning probe microscope using sensor molecules to improve photo-induced force on samples
WO2014158290A8 (en) Optical beam positioning unit for atomic force microscope
EA201890556A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THE STRUCTURE OF THE SURFACE AND CHARACTER SAMPLES
MY181182A (en) Methods and devices for correcting errors in atomic force microscopy
EP2615620A3 (en) Methods and systems for raster scanning a surface of an object using a particle beam
RU2009125957A (en) METHOD FOR CONTACTLESS MEASUREMENT OF OBJECT FORM

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20141012