RU2010126479A - Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2010126479A
RU2010126479A RU2010126479/05A RU2010126479A RU2010126479A RU 2010126479 A RU2010126479 A RU 2010126479A RU 2010126479/05 A RU2010126479/05 A RU 2010126479/05A RU 2010126479 A RU2010126479 A RU 2010126479A RU 2010126479 A RU2010126479 A RU 2010126479A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser
pulses
periodically repeating
series
repeating series
Prior art date
Application number
RU2010126479/05A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2445175C1 (ru
Inventor
Александр Витальевич Лопота (RU)
Александр Витальевич Лопота
Александр Михайлович Григорьев (RU)
Александр Михайлович Григорьев
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Центр лазерных технологий" (ООО "ЦЛТ") (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Центр лазерных технологий" (ООО "ЦЛТ")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Центр лазерных технологий" (ООО "ЦЛТ") (RU), Общество с ограниченной ответственностью "Центр лазерных технологий" (ООО "ЦЛТ") filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Центр лазерных технологий" (ООО "ЦЛТ") (RU)
Priority to RU2010126479/05A priority Critical patent/RU2445175C1/ru
Publication of RU2010126479A publication Critical patent/RU2010126479A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2445175C1 publication Critical patent/RU2445175C1/ru

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

1. Способ поверхностной лазерной обработки, заключающийся в воздействии на обрабатываемую поверхность сканирующим пучком импульсно-периодического лазерного излучения, отличающийся тем, что формируют пучок лазерного излучения с временной структурой в виде периодически повторяющихся серий световых импульсов, циклически разворачивая каждую серию импульсов в полосу на обрабатываемой поверхности, обеспечивают смыкание полос образованных разверткой каждой из периодически повторяющихся серий импульсов, причем ширина полосы воздействия равна поперечному размеру лазерного пучка на обрабатываемой поверхности, ! 2. Устройство для поверхностной лазерной обработки, включающее взаимосвязанные лазер и оптико-механическую систему, отличающееся тем, что устройство содержит лазер, генерирующий пучок излучения с временной структурой в виде периодически повторяющихся серий световых импульсов, в качестве оптико-механической системы установлены система формирования однородной пространственной структуры лазерного пучка и сканирующая система, фокусирующий объектив и компьютер, соединенный с блоком управления, который в свою очередь связан с лазером и сканирующей системой.

Claims (2)

1. Способ поверхностной лазерной обработки, заключающийся в воздействии на обрабатываемую поверхность сканирующим пучком импульсно-периодического лазерного излучения, отличающийся тем, что формируют пучок лазерного излучения с временной структурой в виде периодически повторяющихся серий световых импульсов, циклически разворачивая каждую серию импульсов в полосу на обрабатываемой поверхности, обеспечивают смыкание полос образованных разверткой каждой из периодически повторяющихся серий импульсов, причем ширина полосы воздействия равна поперечному размеру лазерного пучка на обрабатываемой поверхности,
2. Устройство для поверхностной лазерной обработки, включающее взаимосвязанные лазер и оптико-механическую систему, отличающееся тем, что устройство содержит лазер, генерирующий пучок излучения с временной структурой в виде периодически повторяющихся серий световых импульсов, в качестве оптико-механической системы установлены система формирования однородной пространственной структуры лазерного пучка и сканирующая система, фокусирующий объектив и компьютер, соединенный с блоком управления, который в свою очередь связан с лазером и сканирующей системой.
RU2010126479/05A 2010-06-28 2010-06-28 Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления RU2445175C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010126479/05A RU2445175C1 (ru) 2010-06-28 2010-06-28 Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010126479/05A RU2445175C1 (ru) 2010-06-28 2010-06-28 Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010126479A true RU2010126479A (ru) 2012-01-10
RU2445175C1 RU2445175C1 (ru) 2012-03-20

Family

ID=45783297

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010126479/05A RU2445175C1 (ru) 2010-06-28 2010-06-28 Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2445175C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111408843A (zh) * 2020-04-30 2020-07-14 深圳市汇泽激光科技有限公司 一种激光束合成设备及其合成方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2619692C1 (ru) * 2016-05-24 2017-05-17 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие Волоконно-Оптического и Лазерного Оборудования" Способ лазерной очистки металлов
MX2019005987A (es) * 2016-11-23 2019-08-12 Aperam Proceso para decapado con laser de un producto metalico en movimiento y dispositivo para implementarlo.
CN109226100B (zh) * 2018-09-17 2021-02-05 中国科学院半导体研究所 用于脉冲抽运的调q激光清洗的扫描信号控制方法
CN109821822A (zh) * 2019-03-13 2019-05-31 何兴 网状激光清洗系统及方法
RU2739195C1 (ru) * 2020-04-07 2020-12-21 Общество С Ограниченной Ответственностью "Нтц Тонкопленочных Технологий В Энергетике" Вакуумная напылительная установка с системой лазерной очистки паллет (варианты)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4015100A (en) * 1974-01-07 1977-03-29 Avco Everett Research Laboratory, Inc. Surface modification
TW252211B (ru) * 1993-04-12 1995-07-21 Cauldron Ltd Parthership
RU2104846C1 (ru) * 1996-02-21 1998-02-20 Государственное предприятие научно-производственное объединение "Астрофизика" Способ очистки поверхности материалов
DE10230456A1 (de) * 2002-07-06 2003-08-28 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung und Verfahren zum Entfernen organischer Verunreinigungen auf einer Metalloberfläche
RU2297886C2 (ru) * 2005-06-06 2007-04-27 Евгений Михайлович Борисов Способ очистки поверхности и устройство для его осуществления
RU2328364C2 (ru) * 2006-08-21 2008-07-10 Общество с ограниченной ответственностью "АГРОЭЛ" Устройство для лазерной обработки поверхностей

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111408843A (zh) * 2020-04-30 2020-07-14 深圳市汇泽激光科技有限公司 一种激光束合成设备及其合成方法

Also Published As

Publication number Publication date
RU2445175C1 (ru) 2012-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010126479A (ru) Способ поверхностной лазерной обработки и устройство для его осуществления
WO2016010943A3 (en) Method of and system for arresting crack propagation
MY196535A (en) Laser Line Illuminator for High Throughput Sequencing
PL395649A1 (pl) Sposób uzyskiwania jednorodnej wiazki promieniowania elektromagnetycznego o dowolnym ksztalcie geometrycznym oraz urzadzenie mechaniczno-optyczne do stosowania tego sposobu
JP2013015762A5 (ru)
WO2018086816A3 (en) LIGHTING SOURCE FOR INSPECTION APPARATUS, INSPECTION APPARATUS, AND INSPECTION METHOD
WO2016010954A3 (en) System for and method of processing transparent materials using laser beam focal lines adjustable in length and diameter
PH12016000471A1 (en) 3d printing device for producing a spatially extended product
JP2015524556A5 (ru)
ATE477876T1 (de) Verfahren und laservorrichtung zum bearbeiten und/oder verbinden von werkstücken mittels laserstrahlung mit leistungswirk- und pilotlaser und mindestens einem diffraktiven optischen element
WO2012154468A3 (en) Deep ultra-violet light sources for wafer and reticle inspection systems
BR112013031745A2 (pt) aparelho de digitalização ótica, sistema de digitalização de disposição por laser e método de digitalização ótica
SG11202102883RA (en) System and method for visualizing laser energy distributions provided by different near field scanning patterns
JP2012074727A5 (ru)
RU2014114176A (ru) Устройство и способ одновременного трехмерного измерения поверхностей несколькими длинами волн
TW200608657A (en) Laser processing apparatus and method using polygon mirror
WO2012013320A3 (en) Method and apparatus for qualifying optics of a projection exposure tool for microlithography
WO2016088721A8 (ja) 基板監視装置、および、基板監視方法
IL252177B (en) Illumination is based on a lens array for slice inspection
WO2012020932A3 (ko) 결함 검사장치 및 이를 이용한 결함 검사방법
CN107052584B (zh) 激光脉冲诱导熔石英表面形成均匀光栅结构的方法
EP3788426A4 (en) LASER-STIMULATED WHITE LIGHT GENERATOR WITH HIGH EFFICIENCY AND HIGH UNIFORMITY
JP2017205806A5 (ja) レーザ加工装置
RU2015146616A (ru) Система формирования изображения
EP2790469A3 (en) Multi-lamp solar simulator

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20130629

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20150120