RU2015146616A - Система формирования изображения - Google Patents
Система формирования изображения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015146616A RU2015146616A RU2015146616A RU2015146616A RU2015146616A RU 2015146616 A RU2015146616 A RU 2015146616A RU 2015146616 A RU2015146616 A RU 2015146616A RU 2015146616 A RU2015146616 A RU 2015146616A RU 2015146616 A RU2015146616 A RU 2015146616A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- lighting
- imaging system
- zone
- swinging
- electromagnetic wave
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/02—Food
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/061—Sources
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/066—Modifiable path; multiple paths in one sample
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/068—Optics, miscellaneous
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
Claims (16)
1. Система формирования изображения, содержащая: оптическую систему, увеличивающую пучок лучей высококогерентной электромагнитной волны в предварительно определенную зону освещения для освещения предварительно определенной зоны освещения, и средство перемещения для перемещения предварительно определенной зоны освещения в пределах диапазона перемещения, который меньше, чем зона освещения.
2. Система формирования изображения по п. 1, в которой зона освещения представляет собой плоскую поверхность, перпендикулярную к пучку лучей света освещения, падающего в зону освещения.
3. Система формирования изображения по п. 1, содержащая средство захвата изображения для захвата изображения объекта, размещенного в зоне освещения.
4. Система формирования изображения по п. 1, в которой высококогерентная электромагнитная волна представляет собой электромагнитную волну в терагерцовой полосе частот.
5. Система формирования изображения по п. 1, в которой средство перемещения представляет собой средство качательного движения для качания зоны освещения в пределах диапазона перемещения, которое позволяет ослабить интерференционную картину, вырабатываемую за счет освещения.
6. Система формирования изображения по п. 5, в которой оптическая система включает в себя источник света, испускающий высококогерентную электромагнитную волну, систему линзы для увеличения высококогерентной электромагнитной волны в предварительно определенную зону освещения и оптическую систему для направления пучка лучей из системы линзы в зону освещения.
7. Система формирования изображения по п. 6, в которой оптическая система для направления в зону освещения включает в себя зеркало для отражения пучка лучей из системы линзы в зону освещения.
8. Система формирования изображения по п. 7, в которой зеркало включает в себя пару зеркал, плоскости падения которых перпендикулярны друг к другу.
9. Система формирования изображения по п. 8, в которой каждое из зеркал включает в себя средство качательного движения.
10. Система формирования изображения по п. 7, содержащая множество пар зеркал, плоскости падения которых перпендикулярны друг к другу, и где по меньшей мере пара зеркал включает в себя средство качательного движения, а другая пара зеркал не включает в себя средство качательного движения.
11. Система формирования изображения по п. 5, в которой средство качательного движения представляет собой механизм в виде зеркала гальванометра для качания зеркала в пределах диапазона перемещения, который меньше, чем зона освещения.
12. Система формирования изображения по п. 6, в которой оптическая система для направления в зону освещения включает в себя плоскопараллельную пластину, установленную на пути света освещения, продолжающемся от системы линзы.
13. Система формирования изображения по п. 12, в которой средство перемещения представляет собой средство качательного движения для качания плоскопараллельной пластины вокруг оси, перпендикулярной к оптической оси, в пределах диапазона перемещения.
14. Система формирования изображения по п. 12, в которой средство качательного движения представляет собой средство вращения для вращения плоскопараллельной пластины вокруг оси, перпендикулярной к оптической оси.
15. Способ ослабления интерференционной картины, содержащий этапы, на которых: освещают предварительно определенную зону освещения с помощью высококогерентной электромагнитной волны, перемещают свет освещения в пределах диапазона, который меньше, чем предварительно определенная зона освещения, и тем самым ослабляют интерференционную картину, вырабатываемую за счет освещения светом освещения.
16. Способ формирования изображения, содержащий этапы, на которых: освещают предварительно определенную зону освещения с помощью высококогерентной электромагнитной волны, перемещают свет освещения в пределах диапазона, который меньше, чем предварительно определенная зона освещения, и обнаруживают инородное тело в объекте, расположенном в зоне освещения за счет освещения светом освещения.
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013-072864 | 2013-03-29 | ||
| JP2013072864 | 2013-03-29 | ||
| JP2014-019269 | 2014-02-04 | ||
| JP2014019269 | 2014-02-04 | ||
| PCT/JP2014/058706 WO2014157431A1 (ja) | 2013-03-29 | 2014-03-19 | イメージングシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015146616A true RU2015146616A (ru) | 2017-05-05 |
Family
ID=51624394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015146616A RU2015146616A (ru) | 2013-03-29 | 2014-03-19 | Система формирования изображения |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20160077021A1 (ru) |
| EP (1) | EP2980561A4 (ru) |
| JP (1) | JPWO2014157431A1 (ru) |
| KR (1) | KR20150137097A (ru) |
| CN (1) | CN105074430A (ru) |
| RU (1) | RU2015146616A (ru) |
| WO (1) | WO2014157431A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016050935A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | キヤノン株式会社 | 検査装置、および、検査方法 |
| WO2016178317A1 (ja) * | 2015-05-07 | 2016-11-10 | 日本電気株式会社 | 光学装置 |
| CN105044017B (zh) * | 2015-06-26 | 2018-02-09 | 北京航天易联科技发展有限公司 | 一种太赫兹波安检成像装置 |
| KR102129678B1 (ko) * | 2018-10-02 | 2020-07-03 | 한양대학교 산학협력단 | 시편 검사 장치 및 시편 검사 방법 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2720870B2 (ja) * | 1996-06-28 | 1998-03-04 | 株式会社ニコン | 照明光学装置および露光装置ならびに露光方法 |
| JPH1172905A (ja) * | 1997-06-27 | 1999-03-16 | Toshiba Corp | フォトマスク修復方法、検査方法、検査装置及びフォトマスク製造方法 |
| RU2237267C2 (ru) * | 2001-11-26 | 2004-09-27 | Волков Леонид Викторович | Способ формирования изображений в миллиметровом и субмиллиметровом диапазоне волн (варианты) и система формирования изображений в миллиметровом и субмиллиметровом диапазоне волн |
| JP3452057B2 (ja) * | 2001-12-21 | 2003-09-29 | 株式会社ニコン | レーザ光の高調波発生装置、及びそれを用いた露光装置、並びにレーザ光の高調波発生方法、及びそれを用いた露光方法、それを用いたデバイス製造方法 |
| JP3729156B2 (ja) * | 2002-06-07 | 2005-12-21 | 株式会社日立製作所 | パターン欠陥検出方法およびその装置 |
| JP2005353208A (ja) * | 2004-06-11 | 2005-12-22 | Nec Corp | 対物レンズ駆動装置及び光学ヘッド装置 |
| JP5043488B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-10-10 | キヤノン株式会社 | 検出装置、及びイメージング装置 |
| US8045181B2 (en) * | 2009-05-21 | 2011-10-25 | General Electric Company | Inspection system and method with multi-image phase shift analysis |
| JPWO2011086803A1 (ja) * | 2010-01-12 | 2013-05-16 | 日本電気株式会社 | 画像照合システム、画像照合方法、コンピュータプログラム |
| JP5709562B2 (ja) | 2010-03-04 | 2015-04-30 | キヤノン株式会社 | テラヘルツ波発生素子、およびテラヘルツ時間領域分光装置 |
| JP2012108117A (ja) | 2010-10-25 | 2012-06-07 | Olympus Corp | イメージング装置 |
| JP5609696B2 (ja) | 2010-11-15 | 2014-10-22 | 富士通株式会社 | 電磁波イメージング装置 |
-
2014
- 2014-03-19 JP JP2015508644A patent/JPWO2014157431A1/ja active Pending
- 2014-03-19 CN CN201480017517.XA patent/CN105074430A/zh active Pending
- 2014-03-19 EP EP14773413.1A patent/EP2980561A4/en not_active Withdrawn
- 2014-03-19 WO PCT/JP2014/058706 patent/WO2014157431A1/ja active Application Filing
- 2014-03-19 KR KR1020157030976A patent/KR20150137097A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-03-19 US US14/781,208 patent/US20160077021A1/en not_active Abandoned
- 2014-03-19 RU RU2015146616A patent/RU2015146616A/ru unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20150137097A (ko) | 2015-12-08 |
| EP2980561A1 (en) | 2016-02-03 |
| US20160077021A1 (en) | 2016-03-17 |
| WO2014157431A1 (ja) | 2014-10-02 |
| CN105074430A (zh) | 2015-11-18 |
| JPWO2014157431A1 (ja) | 2017-02-16 |
| EP2980561A4 (en) | 2016-11-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2015146616A (ru) | Система формирования изображения | |
| RU2015116588A (ru) | Спектроскопическое измерительное устройство | |
| RU2013128536A (ru) | Система и способ мультисенсорного взаимодействия и подсветки на основе камеры | |
| TWI497031B (zh) | 產生一物體之一影像的光學裝置及方法 | |
| KR101317947B1 (ko) | 실린더 검사장치 | |
| JP2012237814A5 (ja) | 投射型映像表示装置 | |
| JP2006030194A5 (ru) | ||
| WO2016151877A1 (ja) | 検査用照明装置及び検査システム | |
| JP2016027487A5 (ru) | ||
| US20160131889A1 (en) | Optical device for use with coherent terahertz light | |
| JP2014109520A (ja) | 検査システム及び検査用照明装置 | |
| TWI463270B (zh) | 雷射曝光裝置 | |
| CN103048853A (zh) | 光提示装置和图像采集装置 | |
| JP2013228736A5 (ru) | ||
| JP2016024195A5 (ru) | ||
| JP2018500575A5 (ru) | ||
| JP2012502316A5 (ru) | ||
| RU2011136689A (ru) | Осветительное устройство, включающее в себя несколько источников света и одну отражательную систему и блок отражателя | |
| US20130223832A1 (en) | System and method for controlling scattered light in a reflective optical filter | |
| CN105279501A (zh) | 一种暗背景的折返式掌纹采集装置 | |
| KR102328368B1 (ko) | 전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치 | |
| JP6481152B2 (ja) | アンテナ装置 | |
| KR20150066425A (ko) | 조명 장치 및 이를 이용한 광학 검사 장치와 광학 현미경 | |
| JP2018136200A5 (ru) | ||
| TWI617767B (zh) | 雷射照明系統及其雷射光斑消除方法 |