RU2010125619A - Устройство и способ оптического освещения - Google Patents

Устройство и способ оптического освещения Download PDF

Info

Publication number
RU2010125619A
RU2010125619A RU2010125619/28A RU2010125619A RU2010125619A RU 2010125619 A RU2010125619 A RU 2010125619A RU 2010125619/28 A RU2010125619/28 A RU 2010125619/28A RU 2010125619 A RU2010125619 A RU 2010125619A RU 2010125619 A RU2010125619 A RU 2010125619A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sample
optical system
light
image
imaging system
Prior art date
Application number
RU2010125619/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2510060C2 (ru
Inventor
ДЕЙК Эрик М. Х. П. ВАН (NL)
ДЕЙК Эрик М. Х. П. ВАН
Сьюрд СТАЛЛИНГА (NL)
Сьюрд Сталлинга
Original Assignee
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl), Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Publication of RU2010125619A publication Critical patent/RU2010125619A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2510060C2 publication Critical patent/RU2510060C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N19/00—Investigating materials by mechanical methods
    • G01N19/08—Detecting presence of flaws or irregularities
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0911—Anamorphotic systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/095—Refractive optical elements

Abstract

1. Оптическая система для освещения образца линейным пучком, содержащая ! источник света (24), формирователь (30) пучка для преобразования пучка света, излучаемого источником света, в промежуточное астигматическое изображение, и ! систему (L1, 26) формирования изображения для преобразования промежуточного астигматического изображения в окончательное астигматическое изображение, содержащую линейный пучок, и для освещения образца (20), в которой формирователь (30) пучка обеспечивает разные неединичные увеличения в латеральной плоскости и в трансверсальной плоскости, и содержит тороидальную входную поверхность и тороидальную выходную поверхность, каждая из которых имеет конечный радиус кривизны, и в которой формирователь пучка и система формирования изображения совместно содержат элементы устройства чтения оптического диска. ! 2. Оптическая система по п.1, дополнительно содержащая освещаемый образец, в которой отношение (а) длины одной из фокальных линий окончательного астигматического изображения к (b) расстоянию между формирователем пучка и положением формирователя пучка, для которого астигматическое расстояние промежуточного изображения равно нулю, выражается в виде ! ! где n - показатель преломления среды образца, NA - выходная числовая апертура системы формирования изображения, М - увеличение системы формирования изображения, и Mx и My - первое и второе увеличения формирователя пучка для двух фокальных линий промежуточного изображения. ! 3. Оптическая система по п.1, в которой ширина линии равна дифракционному пределу. ! 4. Оптическая система по любому из предыдущих пунктов, в которой оптическая система дополн

Claims (13)

1. Оптическая система для освещения образца линейным пучком, содержащая
источник света (24), формирователь (30) пучка для преобразования пучка света, излучаемого источником света, в промежуточное астигматическое изображение, и
систему (L1, 26) формирования изображения для преобразования промежуточного астигматического изображения в окончательное астигматическое изображение, содержащую линейный пучок, и для освещения образца (20), в которой формирователь (30) пучка обеспечивает разные неединичные увеличения в латеральной плоскости и в трансверсальной плоскости, и содержит тороидальную входную поверхность и тороидальную выходную поверхность, каждая из которых имеет конечный радиус кривизны, и в которой формирователь пучка и система формирования изображения совместно содержат элементы устройства чтения оптического диска.
2. Оптическая система по п.1, дополнительно содержащая освещаемый образец, в которой отношение (а) длины одной из фокальных линий окончательного астигматического изображения к (b) расстоянию между формирователем пучка и положением формирователя пучка, для которого астигматическое расстояние промежуточного изображения равно нулю, выражается в виде
Figure 00000001
где n - показатель преломления среды образца, NA - выходная числовая апертура системы формирования изображения, М - увеличение системы формирования изображения, и Mx и My - первое и второе увеличения формирователя пучка для двух фокальных линий промежуточного изображения.
3. Оптическая система по п.1, в которой ширина линии равна дифракционному пределу.
4. Оптическая система по любому из предыдущих пунктов, в которой оптическая система дополнительно содержит коллиматорную линзу (L1), которая также содержит элемент устройства чтения оптического диска, в котором фокусирующая линза предусмотрена между коллиматорной линзой и образцом.
5. Оптическая система по п.4, в которой формирователь пучка расположен относительно коллиматорной линзы (L1) таким образом, что выход коллиматорной линзы содержит промежуточное неколлимированное астигматическое изображение источника света.
6. Регистрирующее устройство, содержащее оптическую систему по любому из предыдущих пунктов, оптическую собирающую конструкцию (26) для сбора света, излучаемого образцом и генерируемого линейным пучком, и регистрирующую систему (40) для регистрации собранного света.
7. Устройство по п.6, дополнительно содержащее дихроичное зеркало (34) для разделения света от источника света оптической системы и света, излучаемого из образца.
8. Регистрирующее устройство по п.6, в котором система (26) формирования изображения и оптическая собирающая конструкция (26) совместно используют возбуждающую/собирающую линзу.
9. Регистрирующее устройство по п.7, в котором система (26) формирования изображения и оптическая собирающая конструкция (26) совместно используют возбуждающую/собирающую линзу.
10. Регистрирующее устройство по пп.6, 7 или 8, в котором регистрирующая система (40) содержит линзу (56) формирования изображения, которая сфокусирована на поверхность регистрации.
11. Регистрирующее устройство по любому из пп.6-8, в котором свет, излучаемый образцом и генерируемый линейным пучком, содержит люминесцентный свет.
12. Способ освещения для освещения образца линейным пучком, содержащий этапы, на которых генерируют пучок света с использованием источника света (24), преобразуют пучок света в промежуточное астигматическое изображение с использованием формирователя (30) пучка, и преобразуют промежуточное астигматическое изображение в окончательное астигматическое изображение с использованием системы формирования изображения,
причем формирователь (30) пучка обеспечивает разные неединичные увеличения в латеральной плоскости и в трансверсальной плоскости, и содержит тороидальную входную поверхность и тороидальную выходную поверхность, каждая из которых имеет конечный радиус кривизны, причем формирователь пучка и система формирования изображения совместно содержат элементы устройства чтения оптического диска.
13. Способ регистрации, содержащий способ освещения по п.12 и дополнительные этапы, на которых
собирают свет, излучаемый образцом и генерируемый световым пучком, и
регистрируют собранный свет.
RU2010125619/28A 2007-11-23 2008-11-19 Устройство и способ оптического освещения RU2510060C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP07121415.9 2007-11-23
EP07121415A EP2065752A1 (en) 2007-11-23 2007-11-23 Optical illumination apparatus for illuminating a sample with a line beam
PCT/IB2008/054862 WO2009066254A1 (en) 2007-11-23 2008-11-19 Optical illumination apparatus for illuminating a sample with a line beam

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010125619A true RU2010125619A (ru) 2011-12-27
RU2510060C2 RU2510060C2 (ru) 2014-03-20

Family

ID=39323679

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010125619/28A RU2510060C2 (ru) 2007-11-23 2008-11-19 Устройство и способ оптического освещения

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8314407B2 (ru)
EP (2) EP2065752A1 (ru)
JP (1) JP5775693B2 (ru)
CN (1) CN101868752B (ru)
RU (1) RU2510060C2 (ru)
WO (1) WO2009066254A1 (ru)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5808540B2 (ja) * 2011-01-14 2015-11-10 浜松ホトニクス株式会社 分光装置
EP2511936B1 (en) * 2011-04-13 2013-10-02 Fei Company Distortion free stigmation of a TEM
WO2013028649A1 (en) * 2011-08-23 2013-02-28 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. Fiber optically coupled laser rangefinder for use in a gimbal system
EP2693252B1 (en) * 2012-08-02 2016-05-18 F. Hoffmann-La Roche AG Array optics
KR101436626B1 (ko) * 2012-11-28 2014-11-03 주식회사 나래나노텍 개선된 라인 스캔 장치 및 방법, 및 이를 구비한 미세 패턴 검사 시스템 및 방법
DE102014005650A1 (de) * 2014-04-17 2015-10-22 Heuft Systemtechnik Gmbh Behälterinspektion
WO2017147528A1 (en) * 2016-02-26 2017-08-31 University Of Southern California Optimized volumetric imaging with selective volume illumination and light field detection
CN106773034A (zh) * 2017-01-16 2017-05-31 浙江大学 主动式偏振目标增强的共光路全景环带光学成像装置
CN108519329B (zh) * 2018-03-26 2021-01-15 华中科技大学 一种多路扫描与探测的线共聚焦成像装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3013467A (en) 1957-11-07 1961-12-19 Minsky Marvin Microscopy apparatus
CA1300369C (en) 1987-03-24 1992-05-12 Timothy P. Dabbs Distance measuring device
US4915484A (en) * 1987-04-06 1990-04-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Anamorphic single lens
JPS63249801A (ja) * 1987-04-06 1988-10-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 異方屈折力単レンズ
DE69312667T2 (de) 1993-01-04 1998-02-12 Philips Electronics Nv Strahlformendes optisches Element, Strahlungsquelle und Abtasteinheit mit diesem Element
TW287239B (ru) * 1994-06-07 1996-10-01 Philips Electronics Nv
US6181474B1 (en) 1999-03-22 2001-01-30 Kovex Corporation Scanning confocal microscope with objective lens position tracking
US6867851B2 (en) * 1999-11-04 2005-03-15 Regents Of The University Of Minnesota Scanning of biological samples
JP2001194303A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Bunshi Biophotonics Kenkyusho:Kk 蛍光分子拡散運動解析装置
EP1226580B1 (en) * 2000-09-25 2005-02-16 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optical scanning device
JP2004511875A (ja) * 2000-10-08 2004-04-15 コーニンクレッカ　フィリップス　エレクトロニクス　エヌ　ヴィ 光走査デバイス
US6888148B2 (en) * 2001-12-10 2005-05-03 Carl Zeiss Jena Gmbh Arrangement for the optical capture of excited and /or back scattered light beam in a sample
US7345824B2 (en) * 2002-03-26 2008-03-18 Trivium Technologies, Inc. Light collimating device
US20080040737A1 (en) * 2003-10-15 2008-02-14 Arima Devices Corporation Trustnet Chambers Reading/Writing Optical Device Having Temperature Compensation
JPWO2005048250A1 (ja) * 2003-11-14 2007-05-31 コニカミノルタオプト株式会社 光ピックアップ装置及びそれに用いられる光学素子
DE102004034954A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Verfahren zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches mit einem Lichtrastermikroskop
EP1787157B1 (en) 2004-07-23 2014-09-24 GE Healthcare Niagara Inc. Apparatus for fluorescent confocal microscopy
JP2006085841A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Hitachi Media Electoronics Co Ltd 光ピックアップ
WO2006129220A1 (en) * 2005-05-30 2006-12-07 Koninklijke Philips Electronics N.V. Light-emitting device with brightness enhancing layer
JP4490883B2 (ja) * 2005-07-19 2010-06-30 株式会社レーザーシステム レーザ加工装置およびレーザ加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101868752B (zh) 2014-07-16
JP2011504594A (ja) 2011-02-10
CN101868752A (zh) 2010-10-20
WO2009066254A1 (en) 2009-05-28
EP2215514A1 (en) 2010-08-11
JP5775693B2 (ja) 2015-09-09
US8314407B2 (en) 2012-11-20
RU2510060C2 (ru) 2014-03-20
EP2065752A1 (en) 2009-06-03
US20100288942A1 (en) 2010-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2010125619A (ru) Устройство и способ оптического освещения
US10802261B2 (en) Calibration targets for microscope imaging
Cox Optical imaging techniques in cell biology
JP6546989B2 (ja) 標本観察装置及び標本観察方法
JP6596001B2 (ja) 多焦点多光子イメージングシステム及び方法
US10802256B2 (en) Multifocal scanning fluorescence microscope
US20170052356A1 (en) Full-Color Three-Dimensionnal Optical Sectioning Microscopic Imaging System and Method Based on Structured Illumination
CN110133826B (zh) 信息取得装置
US9804377B2 (en) Low numerical aperture exclusion imaging
US20120327492A1 (en) System, method and apparatus for contrast enhanced multiplexing of images
US20140209815A1 (en) Fluorescence imaging module
JP2018517180A (ja) ビーム整形及び光シート顕微鏡検査のためのアセンブリ及び方法
JP2007121749A (ja) 顕微鏡
Goodwin A primer on the fundamental principles of light microscopy: Optimizing magnification, resolution, and contrast
EP2533033A1 (en) Device for analyzing luminescent bio-microchips
WO2020021663A1 (ja) 顕微鏡装置
JP6847693B2 (ja) 照明装置、及び、顕微鏡装置
JP2005031589A (ja) 顕微鏡の撮像光学系
EP3627205A1 (en) Confocal laser scanning microscope configured for generating line foci
Chun et al. Design and demonstration of multimodal optical scanning microscopy for confocal and two-photon imaging
CN111879740A (zh) 基于光子复位技术的全光学超分辨显微装置
US20220206279A1 (en) Microscopy illumination apparatus, methods, and applications
CN117369106B (zh) 一种多点共聚焦图像扫描显微镜及成像方法
KR101754905B1 (ko) 위상차 현미경용 대물 렌즈계 및 이를 포함한 위상차 현미경
KR101850999B1 (ko) 위상차 현미경용 대물 렌즈계 및 이를 포함한 위상차 현미경