JP2011504594A - 光学照明装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
により与えられ、ここで、nは、上記サンプル媒体の屈折率であり、NAが、上記撮像システムの出口開口数であり、Mは、上記撮像システムの拡大率であり、Mx及びMyが、上記中間画像の2つの焦点線に関する上記ビーム整形器の第1及び第2の拡大率である。
により与えられる距離Δv分、第1の位置に対して変位させられる。ここで、Lは最終非点収差画像の焦点線(の1つ)の長さであり、NAは撮像システムの出口開口数であり、nはサンプルの屈折率であり、Mx及びMyは中間画像の2つの焦点線に関連するビーム整形器の第1及び第2の拡大率である。
Claims (10)
- 線ビームを用いてサンプルを照らす光学システムであって、
光源と、
前記光源により放出される前記光のビームを中間非点収差画像へと変換するビーム整形器と、
前記中間非点収差画像を最終非点収差画像へと変換し、前記サンプルを照らす撮像システムとを有し、
前記ビーム整形器が、ラテラル平面及びトランスバーサル平面において異なる非均一な倍率を提供し、それぞれ有限曲率半径を持つ環状体の入射面及び環状体の射出面を有する、光学システム。 - 前記最終非点収差画像が、線焦点を有する、請求項1又は2に記載の光学システム。
- 前記線の幅が、回折限界である。請求項3に記載の光学システム。
- 検出デバイスであって、
請求項1乃至4のいずれかに記載の光学システムと、
前記サンプルから放出される光及び前記線ビームにより生成される光を収集する光学収集部と、
前記収集される光を検出する検出システムとを有する、検出デバイス。 - 前記撮像システム及び前記光学収集部が、励起/収集レンズを共有する、請求項5に記載の検出デバイス。
- 前記検出システムが、前記検出表面上に集束する撮像レンズを有する、請求項5又は6に記載の検出デバイス。
- 前記サンプルから放出される光及び前記線ビームにより生成される光が、発光を有する、請求項5乃至7のいずれかに記載の検出デバイス。
- 線ビームを用いてサンプルを照らす照明方法において、
光源を用いて光のビームを生成するステップと、
ビーム整形器を用いて前記光のビームを中間非点収差画像へと変換するステップと、
撮像システムを用いて前記中間非点収差画像を最終非点収差画像へと変換するステップとを有し、
前記ビーム整形器が、ラテラル平面及びトランスバーサル平面において異なる非均一な倍率を提供し、それぞれ有限曲率半径を持つ環状体の入射面及び環状体の射出面を有する、照明方法。 - 検出方法において、
請求項9に記載の照明方法と、
前記サンプルにより放出される光及び前記光ビームにより生成される光を収集するステップと、
前記収集される光を検出するステップとを有する、検出方法。
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