RU2010109251A - Светоизлучающее устройство с гетерофазными границами - Google Patents

Светоизлучающее устройство с гетерофазными границами Download PDF

Info

Publication number
RU2010109251A
RU2010109251A RU2010109251/28A RU2010109251A RU2010109251A RU 2010109251 A RU2010109251 A RU 2010109251A RU 2010109251/28 A RU2010109251/28 A RU 2010109251/28A RU 2010109251 A RU2010109251 A RU 2010109251A RU 2010109251 A RU2010109251 A RU 2010109251A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
emitting device
light emitting
layer
layers
substrate
Prior art date
Application number
RU2010109251/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2434315C1 (ru
Inventor
Юрий Георгиевич Шретер (RU)
Юрий Георгиевич Шретер
Юрий Тоомасович Ребане (RU)
Юрий Тоомасович Ребане
Алексей Владимирович Миронов (RU)
Алексей Владимирович Миронов
Original Assignee
Юрий Георгиевич Шретер (RU)
Юрий Георгиевич Шретер
Юрий Тоомасович Ребане (RU)
Юрий Тоомасович Ребане
Алексей Владимирович Миронов (RU)
Алексей Владимирович Миронов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Юрий Георгиевич Шретер (RU), Юрий Георгиевич Шретер, Юрий Тоомасович Ребане (RU), Юрий Тоомасович Ребане, Алексей Владимирович Миронов (RU), Алексей Владимирович Миронов filed Critical Юрий Георгиевич Шретер (RU)
Priority to RU2010109251/28A priority Critical patent/RU2434315C1/ru
Priority to EP11723758.6A priority patent/EP2548233B1/en
Priority to PCT/RU2011/000159 priority patent/WO2011115529A1/en
Priority to JP2013500021A priority patent/JP5909481B2/ja
Priority to US13/635,136 priority patent/US8901600B2/en
Publication of RU2010109251A publication Critical patent/RU2010109251A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2434315C1 publication Critical patent/RU2434315C1/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/16Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/26Materials of the light emitting region
    • H01L33/30Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
    • H01L33/32Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

1. Светоизлучающее устройство, содержащее: ! - подложку; ! - буферный слой, сформированный на подложке; ! - первый слой из полупроводника с проводимостью n-типа, сформированный на буферном слое; ! - второй слой из полупроводника с проводимостью p-типа; ! - активный слой, расположенный между первым и вторым слоями, ! отличающееся тем, что первый, второй и активный слои образуют чередование слоев со структурой фазы цинковой обманки и слоев со структурой фазы вюрцита с образованием гетерофазных границ между ними. ! 2. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что активный слой выполнен из полупроводника со структурой фазы цинковой обманки, первый и второй слои выполнены из полупроводника со структурой фазы вюрцита. ! 3. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка выполнена из оксида алюминия. ! 4. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка выполнена из карбида кремния. ! 5. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка выполнена из нитрида галлия. ! 6. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что буферный слой выполнен из нитрида галлия. ! 7. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что буферный слой выполнен из нитрида алюминия. !8. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что первый контактный слой выполнен из легированного кремнием нитрида галлия. ! 9. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что второй контактный слой выполнен из легированного магнием нитрида галлия. ! 10. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что активный слой выполнен из нитрида галлия (GaN) или твердого раствора нитрида бор-алюм

Claims (11)

1. Светоизлучающее устройство, содержащее:
- подложку;
- буферный слой, сформированный на подложке;
- первый слой из полупроводника с проводимостью n-типа, сформированный на буферном слое;
- второй слой из полупроводника с проводимостью p-типа;
- активный слой, расположенный между первым и вторым слоями,
отличающееся тем, что первый, второй и активный слои образуют чередование слоев со структурой фазы цинковой обманки и слоев со структурой фазы вюрцита с образованием гетерофазных границ между ними.
2. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что активный слой выполнен из полупроводника со структурой фазы цинковой обманки, первый и второй слои выполнены из полупроводника со структурой фазы вюрцита.
3. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка выполнена из оксида алюминия.
4. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка выполнена из карбида кремния.
5. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка выполнена из нитрида галлия.
6. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что буферный слой выполнен из нитрида галлия.
7. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что буферный слой выполнен из нитрида алюминия.
8. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что первый контактный слой выполнен из легированного кремнием нитрида галлия.
9. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что второй контактный слой выполнен из легированного магнием нитрида галлия.
10. Светоизлучающее устройство по п.1, отличающееся тем, что активный слой выполнен из нитрида галлия (GaN) или твердого раствора нитрида бор-алюминий-галлий-индия (BxAlyGazIn1-zN).
11. Светоизлучающее устройство по п.2, отличающееся тем, что активный слой выполнен составным, состоящим из слоев из полупроводника со структурой фазы цинковой обманки и барьеров между ними со структурой фазы вюрцита с образованием гетерофазных границ.
RU2010109251/28A 2010-03-15 2010-03-15 Светоизлучающее устройство с гетерофазными границами RU2434315C1 (ru)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010109251/28A RU2434315C1 (ru) 2010-03-15 2010-03-15 Светоизлучающее устройство с гетерофазными границами
EP11723758.6A EP2548233B1 (en) 2010-03-15 2011-03-15 Light-emitting device with heterophase boundaries
PCT/RU2011/000159 WO2011115529A1 (en) 2010-03-15 2011-03-15 Light-emitting device with heterophase boundaries
JP2013500021A JP5909481B2 (ja) 2010-03-15 2011-03-15 異相界面を備えた発光素子
US13/635,136 US8901600B2 (en) 2010-03-15 2011-03-15 Light-emitting device with heterophase boundaries

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010109251/28A RU2434315C1 (ru) 2010-03-15 2010-03-15 Светоизлучающее устройство с гетерофазными границами

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010109251A true RU2010109251A (ru) 2011-09-20
RU2434315C1 RU2434315C1 (ru) 2011-11-20

Family

ID=44318093

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010109251/28A RU2434315C1 (ru) 2010-03-15 2010-03-15 Светоизлучающее устройство с гетерофазными границами

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8901600B2 (ru)
EP (1) EP2548233B1 (ru)
JP (1) JP5909481B2 (ru)
RU (1) RU2434315C1 (ru)
WO (1) WO2011115529A1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012217681A1 (de) * 2012-09-27 2014-03-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Bauteil und Verfahren zum Betreiben eines optoelektronischen Bauteils
US11870005B2 (en) * 2019-07-01 2024-01-09 The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy QW-QWD LED with suppressed auger recombination

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05243613A (ja) 1992-03-02 1993-09-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 発光素子およびその製造方法
JP3445653B2 (ja) * 1994-03-23 2003-09-08 士郎 酒井 発光素子
US5689123A (en) * 1994-04-07 1997-11-18 Sdl, Inc. III-V aresenide-nitride semiconductor materials and devices
CA2298491C (en) 1997-07-25 2009-10-06 Nichia Chemical Industries, Ltd. Nitride semiconductor device
JPH11261105A (ja) 1998-03-11 1999-09-24 Toshiba Corp 半導体発光素子
JP3413811B2 (ja) * 1998-04-14 2003-06-09 日本電信電話株式会社 半導体素子およびiii族窒化物超格子構造の作製方法
GB2343294A (en) 1998-10-31 2000-05-03 Sharp Kk Lattice-matched semiconductor devices
GB9912583D0 (en) 1999-05-28 1999-07-28 Arima Optoelectronics Corp A light emitting diode having a two well system with asymmetric tunneling
DE19955747A1 (de) * 1999-11-19 2001-05-23 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optische Halbleitervorrichtung mit Mehrfach-Quantentopf-Struktur
US6441393B2 (en) * 1999-11-17 2002-08-27 Lumileds Lighting U.S., Llc Semiconductor devices with selectively doped III-V nitride layers
US6803596B2 (en) * 1999-12-27 2004-10-12 Sanyo Electric Co., Ltd. Light emitting device
US6787814B2 (en) * 2000-06-22 2004-09-07 Showa Denko Kabushiki Kaisha Group-III nitride semiconductor light-emitting device and production method thereof
US7279718B2 (en) 2002-01-28 2007-10-09 Philips Lumileds Lighting Company, Llc LED including photonic crystal structure
JP3933592B2 (ja) * 2002-03-26 2007-06-20 三洋電機株式会社 窒化物系半導体素子
US6791120B2 (en) * 2002-03-26 2004-09-14 Sanyo Electric Co., Ltd. Nitride-based semiconductor device and method of fabricating the same
US7335920B2 (en) 2005-01-24 2008-02-26 Cree, Inc. LED with current confinement structure and surface roughening
KR100833309B1 (ko) 2006-04-04 2008-05-28 삼성전기주식회사 질화물계 반도체 발광소자
JP5167974B2 (ja) * 2008-06-16 2013-03-21 豊田合成株式会社 Iii族窒化物系化合物半導体発光素子及びその製造方法
JP2011029381A (ja) * 2009-07-24 2011-02-10 Sharp Corp 半導体レーザ素子

Also Published As

Publication number Publication date
JP2013522903A (ja) 2013-06-13
EP2548233A1 (en) 2013-01-23
WO2011115529A1 (en) 2011-09-22
US20130009152A1 (en) 2013-01-10
JP5909481B2 (ja) 2016-04-26
US8901600B2 (en) 2014-12-02
RU2434315C1 (ru) 2011-11-20
EP2548233B1 (en) 2017-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101081135B1 (ko) 발광 소자, 발광 소자 제조방법 및 발광 소자 패키지
JP2012256918A5 (ja) 窒化物系半導体発光素子
US9263643B2 (en) Light-emitting device
RU2014138822A (ru) Интеграция светодиодов на нитриде галлия с приборами на нитриде алюминия-галлия/нитриде галлия на кремниевых подложках для светодиодов переменного тока
TW200635084A (en) Light emitting device
RU2011140129A (ru) Iii-нитридный светоизлучающий прибор, включающий бор
ATE421176T1 (de) Lichtemittierende iii-nitrid-vorrichtung mit polarisationsumkehr
JP2013524547A5 (ru)
CN102214753A (zh) 应用石墨烯薄膜电流扩展层的氮化镓基垂直结构led
JP2015511407A5 (ru)
MY183934A (en) Light emitting diode and fabrication method thereof
US20160351750A1 (en) Fabrication Method of Nitride Light Emitting Diodes
RU2014142050A (ru) Светоизлучающее устройство, выращенное на кремниевой подложке
CN102437263A (zh) 发光二极管及其制造方法
KR20160043868A (ko) 수직형 반도체 발광소자 및 그 제조 방법
WO2017054612A1 (zh) 倒装发光二极管结构及其制作方法
RU2010109251A (ru) Светоизлучающее устройство с гетерофазными границами
RU2011106966A (ru) Светоизлучающее полупроводниковое устройство
CN108133985A (zh) 一种氮化物发光二极管
CN103208571A (zh) 一种氮化镓基led外延片及其生产方法
KR101747732B1 (ko) 발광소자
JP2013140983A5 (ru)
KR101357254B1 (ko) 반도체 발광소자
KR101392218B1 (ko) 반도체 발광소자
CN111987196A (zh) 半导体元件