RU2009145166A - COORDINATE-MEASURING MACHINE FOR DETERMINING SPATIAL COORDINATES ON THE OBJECT OF MEASUREMENT, AND ALSO A TURN-TILT MECHANISM FOR SUCH COORDINATE-MEASURING MACHINE - Google Patents

COORDINATE-MEASURING MACHINE FOR DETERMINING SPATIAL COORDINATES ON THE OBJECT OF MEASUREMENT, AND ALSO A TURN-TILT MECHANISM FOR SUCH COORDINATE-MEASURING MACHINE Download PDF

Info

Publication number
RU2009145166A
RU2009145166A RU2009145166/28A RU2009145166A RU2009145166A RU 2009145166 A RU2009145166 A RU 2009145166A RU 2009145166/28 A RU2009145166/28 A RU 2009145166/28A RU 2009145166 A RU2009145166 A RU 2009145166A RU 2009145166 A RU2009145166 A RU 2009145166A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
contact probe
measuring machine
machine according
coordinate measuring
rotation
Prior art date
Application number
RU2009145166/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2451265C2 (en
Inventor
Отто РУК (DE)
Отто РУК
Петер МЮЛЛЕР (DE)
Петер МЮЛЛЕР
Original Assignee
Карл Цейсс Индустриелль Месстехник Гмбх (De)
Карл Цейсс Индустриелль Месстехник Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Карл Цейсс Индустриелль Месстехник Гмбх (De), Карл Цейсс Индустриелль Месстехник Гмбх filed Critical Карл Цейсс Индустриелль Месстехник Гмбх (De)
Publication of RU2009145166A publication Critical patent/RU2009145166A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2451265C2 publication Critical patent/RU2451265C2/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012Contact-making feeler heads therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/047Accessories, e.g. for positioning, for tool-setting, for measuring probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

Abstract

1. Координатно-измерительная машина для определения пространственных координат на объекте (30) измерения, содержащая измерительную головку (26) с измерительным датчиком (52), несущую конструкцию (14, 16, 18), выполненную для перемещения измерительной головки (26) относительно объекта (30) измерения, контактный щуп (28) для прикосновения к объекту (30) измерения и пассивный поворотно-наклонный механизм (60), посредством которого контактный щуп (28) присоединен к измерительной головке (26) с возможностью изменения положения контактного щупа в пространстве, отличающаяся тем, что пассивный поворотно-наклонный механизм (60) содержит передачу (86, 92), имеющую входную и выходную стороны, причем с выходной стороны передача связана с контактным щупом (28) с возможностью изменения положения контактного щупа (28) относительно измерительной головки (26), а с входной стороны имеет по меньшей мере одно место (88) доступа для приложения внешнего движущего момента для изменения положения контактного щупа (28). ! 2. Координатно-измерительная машина по п.1, отличающаяся тем, что поворотно-наклонный механизм (60) содержит по меньшей мере один блокировочный механизм (84, 100), имеющий разомкнутое состояние и замкнутое состояние, причем в разомкнутом состоянии блокировочный механизм (84, 100) освобождает контактный щуп (28), давая возможность изменить положение контактного щупа (28) посредством передачи (86, 92), а в замкнутом состоянии блокировочный механизм (84, 100) блокирует контактный щуп (28), препятствуя его повороту. ! 3. Координатно-измерительная машина по п.2, отличающаяся тем, что поворотно-наклонный механизм (60) имеет по меньшей мере первую (68) и вторую (91) оси вращения, п 1. Coordinate measuring machine for determining spatial coordinates on the measurement object (30), containing a measuring head (26) with a measuring sensor (52), a supporting structure (14, 16, 18) made to move the measuring head (26) relative to the object (30) measurements, contact probe (28) for touching the object (30) measurements and a passive tilt-and-turn mechanism (60) by means of which the contact probe (28) is connected to the measuring head (26) with the possibility of changing the position of the contact probe in space , characterized in that the passive swivel mechanism (60) contains a gear (86, 92) having an input and an output side, and on the output side the gear is connected to the contact probe (28) with the possibility of changing the position of the contact probe (28) relative to the measuring head (26), and on the input side has at least one access point (88) for applying an external driving moment to change the position of the contact probe (28). ! 2. Coordinate measuring machine according to claim 1, characterized in that the rotary-tilt mechanism (60) contains at least one locking mechanism (84, 100) having an open state and a closed state, and in the open state, the locking mechanism (84 , 100) releases the contact probe (28), making it possible to change the position of the contact probe (28) by means of a gear (86, 92), and in the closed state, the locking mechanism (84, 100) blocks the contact probe (28), preventing it from turning. ! 3. Coordinate measuring machine according to claim 2, characterized in that the rotary-tilt mechanism (60) has at least the first (68) and second (91) axes of rotation, p

Claims (16)

1. Координатно-измерительная машина для определения пространственных координат на объекте (30) измерения, содержащая измерительную головку (26) с измерительным датчиком (52), несущую конструкцию (14, 16, 18), выполненную для перемещения измерительной головки (26) относительно объекта (30) измерения, контактный щуп (28) для прикосновения к объекту (30) измерения и пассивный поворотно-наклонный механизм (60), посредством которого контактный щуп (28) присоединен к измерительной головке (26) с возможностью изменения положения контактного щупа в пространстве, отличающаяся тем, что пассивный поворотно-наклонный механизм (60) содержит передачу (86, 92), имеющую входную и выходную стороны, причем с выходной стороны передача связана с контактным щупом (28) с возможностью изменения положения контактного щупа (28) относительно измерительной головки (26), а с входной стороны имеет по меньшей мере одно место (88) доступа для приложения внешнего движущего момента для изменения положения контактного щупа (28).1. A coordinate measuring machine for determining spatial coordinates on the measurement object (30), comprising a measuring head (26) with a measuring sensor (52), a supporting structure (14, 16, 18) made to move the measuring head (26) relative to the object (30) measurements, a contact probe (28) for touching the measurement object (30) and a passive pan-tilt mechanism (60) by which the contact probe (28) is connected to the measuring head (26) with the possibility of changing the position of the contact probe in space from characterized in that the passive pan-tilt mechanism (60) comprises a gear (86, 92) having input and output sides, and on the output side, the gear is connected to a contact probe (28) with the possibility of changing the position of the contact probe (28) relative to the measuring head (26), and on the input side has at least one access point (88) for applying an external torque to change the position of the contact probe (28). 2. Координатно-измерительная машина по п.1, отличающаяся тем, что поворотно-наклонный механизм (60) содержит по меньшей мере один блокировочный механизм (84, 100), имеющий разомкнутое состояние и замкнутое состояние, причем в разомкнутом состоянии блокировочный механизм (84, 100) освобождает контактный щуп (28), давая возможность изменить положение контактного щупа (28) посредством передачи (86, 92), а в замкнутом состоянии блокировочный механизм (84, 100) блокирует контактный щуп (28), препятствуя его повороту.2. The coordinate measuring machine according to claim 1, characterized in that the rotary-inclined mechanism (60) comprises at least one locking mechanism (84, 100) having an open state and a closed state, wherein in the open state the locking mechanism (84) , 100) releases the contact probe (28), making it possible to change the position of the contact probe (28) through transmission (86, 92), and in the closed state, the locking mechanism (84, 100) blocks the contact probe (28), preventing it from turning. 3. Координатно-измерительная машина по п.2, отличающаяся тем, что поворотно-наклонный механизм (60) имеет по меньшей мере первую (68) и вторую (91) оси вращения, причем первая ось (68) вращения проходит в плоскости, параллельной контактному щупу (28), а вторая ось (91) вращения проходит поперек контактного щупа (28).3. The coordinate measuring machine according to claim 2, characterized in that the rotary-inclined mechanism (60) has at least a first (68) and a second (91) axis of rotation, the first axis of rotation (68) extending in a plane parallel to contact probe (28), and the second axis of rotation (91) extends across the contact probe (28). 4. Координатно-измерительная машина по п.3, отличающаяся тем, что блокировочный механизм содержит первое стопорное устройство (84) и второе стопорное устройство (100), причем первое стопорное устройство (84) блокирует контактный щуп (28) относительно первой оси (68) вращения, а второе стопорное устройство (100) блокирует контактный щуп (28) относительно второй оси (91) вращения.4. A coordinate measuring machine according to claim 3, characterized in that the locking mechanism comprises a first locking device (84) and a second locking device (100), the first locking device (84) blocking the contact probe (28) relative to the first axis (68 ) rotation, and the second locking device (100) blocks the contact probe (28) relative to the second axis (91) of rotation. 5. Координатно-измерительная машина по п.4, отличающаяся тем, что передача (86, 92) выполнена с возможностью изменения положения контактного щупа (28) относительно первой (68) или второй (91) осей вращения.5. A coordinate measuring machine according to claim 4, characterized in that the transmission (86, 92) is configured to change the position of the contact probe (28) relative to the first (68) or second (91) axis of rotation. 6. Координатно-измерительная машина по п.2, отличающаяся тем, что поворотно-наклонный механизм (60) содержит по меньшей мере одно управляющее устройство (66, 76, 78, 80, 104, 106, 108), выполненное с возможностью перевода по меньшей мере одного блокировочного устройства (84, 100) из замкнутого состояния в разомкнутое состояние.6. Coordinate measuring machine according to claim 2, characterized in that the rotary-inclined mechanism (60) contains at least one control device (66, 76, 78, 80, 104, 106, 108), configured to translate according to at least one locking device (84, 100) from a closed state to an open state. 7. Координатно-измерительная машина по п.6, отличающаяся тем, что поворотно-наклонный механизм (60) имеет дополнительное место (67) доступа, предназначенное для воздействия на управляющее устройство (66, 76, 78, 80, 104, 106, 108).7. The coordinate measuring machine according to claim 6, characterized in that the rotary-inclined mechanism (60) has an additional access place (67) intended to act on the control device (66, 76, 78, 80, 104, 106, 108 ) 8. Координатно-измерительная машина по п.7, отличающаяся наличием первого приводного колеса, прежде всего зубчатого колеса (66) с наружным зубчатым венцом (67), которое образует дополнительное место доступа.8. The coordinate measuring machine according to claim 7, characterized by the presence of a first drive wheel, in particular a gear wheel (66) with an external gear ring (67), which forms an additional access point. 9. Координатно-измерительная машина по п.6, отличающаяся тем, что управляющее устройство (66, 76, 78, 80, 104, 106, 108) имеет по меньшей мере три состояния, причем в его первом состоянии блокировочный механизм (84, 100) блокирует контактный щуп (28) относительно всех осей вращения, а во втором и третьем состояниях блокировочный механизм (84, 100) освобождает контактный щуп (28) для поворота относительно соответствующей оси (68, 91) вращения.9. The coordinate measuring machine according to claim 6, characterized in that the control device (66, 76, 78, 80, 104, 106, 108) has at least three states, moreover, in its first state, the locking mechanism (84, 100 ) locks the contact probe (28) with respect to all rotation axes, and in the second and third states, the locking mechanism (84, 100) releases the contact probe (28) for rotation about the corresponding axis of rotation (68, 91). 10. Координатно-измерительная машина по п.8, отличающаяся тем, что передача (86, 92) содержит второе приводное колесо, прежде всего второе зубчатое колесо (86) с наружным зубчатым венцом (88), которое образует место доступа (88).10. A coordinate measuring machine according to claim 8, characterized in that the transmission (86, 92) comprises a second drive wheel, especially a second gear wheel (86) with an external gear ring (88), which forms an access point (88). 11. Координатно-измерительная машина по п.10, отличающаяся наличием эксцентрика (126), соединенного со вторым приводным колесом (86) с фиксацией от проворачивания.11. The coordinate measuring machine according to claim 10, characterized by the presence of an eccentric (126) connected to the second drive wheel (86) with rotation lock. 12. Координатно-измерительная машина по одному из пп.1-11, отличающаяся наличием линейного упора (36), имеющего продольное измерение, причем измерительная головка (26) имеет возможность перемещения относительно линейного упора (36) вдоль его продольного измерения.12. A coordinate measuring machine according to one of claims 1 to 11, characterized by the presence of a linear stop (36) having a longitudinal measurement, the measuring head (26) being able to move relative to the linear stop (36) along its longitudinal measurement. 13. Координатно-измерительная машина по п.12, отличающаяся тем, что несущая конструкция (14, 16, 18) имеет траверсу, на которой расположен линейный упор (36), причем измерительная головка (26) имеет возможность перемещения относительно траверсы.13. A coordinate measuring machine according to claim 12, characterized in that the supporting structure (14, 16, 18) has a traverse on which a linear stop (36) is located, wherein the measuring head (26) is movable relative to the traverse. 14. Координатно-измерительная машина по п.13, отличающаяся тем, что измерительная головка (26) содержит по меньшей мере один генератор (56) измерительной силы, способный создавать предварительное отклонение контактного щупа (28).14. A coordinate measuring machine according to claim 13, characterized in that the measuring head (26) comprises at least one measuring force generator (56) capable of creating a preliminary deflection of the contact probe (28). 15. Координатно-измерительная машина по п.1, отличающаяся тем, что поворотно-наклонный механизм (60) установлен на измерительной головке (26) съемным образом.15. The coordinate measuring machine according to claim 1, characterized in that the rotary-inclined mechanism (60) is mounted on the measuring head (26) in a removable manner. 16. Поворотно-наклонный механизм для координатно-измерительной машины по одному из пп.1-14, содержащий средство (62) сопряжения для разъемного присоединения к измерительной головке (26) и опору для установки контактного щупа (28), отличающийся наличием передачи (86, 92), имеющей входную и выходную стороны, причем с выходной стороны передача связана с опорой с возможностью изменения положения контактного щупа (28) относительно измерительной головки (26), а с входной стороны имеет по меньшей мере одно место (88) доступа для приложения внешнего движущего момента для изменения положения контактного щупа (28). 16. The rotary-inclined mechanism for a coordinate measuring machine according to one of claims 1 to 14, comprising coupling means (62) for detachable connection to the measuring head (26) and a support for installing a contact probe (28), characterized by the presence of a transmission (86 , 92), with input and output sides, and on the output side, the transmission is connected to the support with the possibility of changing the position of the contact probe (28) relative to the measuring head (26), and on the input side has at least one access point (88) for application external driving m ment for changing the position of the contact probe (28).
RU2009145166/28A 2007-05-08 2008-04-17 Coordinate measuring machine for determining spatial coordinates on measuring object, as well as turning-and-inclined mechanism for such coordinate measuring machine RU2451265C2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007022326.0 2007-05-08
DE102007022326.0A DE102007022326B4 (en) 2007-05-08 2007-05-08 Coordinate measuring device for determining spatial coordinates on a measurement object, and rotating/pivoting mechanism for such a coordinate measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009145166A true RU2009145166A (en) 2011-06-20
RU2451265C2 RU2451265C2 (en) 2012-05-20

Family

ID=39591623

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009145166/28A RU2451265C2 (en) 2007-05-08 2008-04-17 Coordinate measuring machine for determining spatial coordinates on measuring object, as well as turning-and-inclined mechanism for such coordinate measuring machine

Country Status (5)

Country Link
CN (1) CN101688766B (en)
BR (1) BRPI0811437A2 (en)
DE (1) DE102007022326B4 (en)
RU (1) RU2451265C2 (en)
WO (1) WO2008135144A1 (en)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009049534A1 (en) 2009-10-06 2011-04-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Coordinate measuring machine with position change sensors
DE102010006505B4 (en) * 2010-01-28 2013-09-19 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Coordinate measuring machine with passive rotary-swivel mechanism
DE102010018493B4 (en) * 2010-04-21 2012-12-06 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Coordinate measuring device for determining spatial coordinates on a measurement object and probe for such a coordinate measuring machine
DE102010020654A1 (en) * 2010-05-07 2011-11-10 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Probe for a coordinate measuring machine for determining spatial coordinates on a measurement object
DE102010031976A1 (en) 2010-07-22 2012-01-26 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Determination of the coupling of parts to a machine
WO2013007286A1 (en) 2011-07-08 2013-01-17 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Calibrating and operating rotary devices, in particular for rotating probe heads and/or probes of coordinate measuring devices
CN102997800A (en) * 2012-11-07 2013-03-27 无锡市迈日机器制造有限公司 Gapless displacement transmission mechanism
DE102013105753B3 (en) 2013-06-04 2014-10-02 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Method for automatically picking up a sensor head and coordinate measuring machine
TWI551268B (en) * 2013-11-22 2016-10-01 國立陽明大學 Portable apparatus for quantifying joint accessory movement
DE112014006850B4 (en) 2014-07-31 2023-06-15 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Probe for a coordinate measuring machine
JP6649013B2 (en) 2015-08-27 2020-02-19 株式会社ミツトヨ Probe head rotation mechanism
CN107234524A (en) * 2016-03-28 2017-10-10 沈阳海默数控机床有限公司 A kind of vertical grinder for carrying out grinding for circular excircle of workpiece face to planing surface
TWI604913B (en) * 2016-06-01 2017-11-11 致茂電子股份有限公司 Swinging mechanism
DE102017114551B4 (en) 2017-06-29 2021-12-23 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Rotary swivel mechanism for a coordinate measuring machine
CN107869977B (en) * 2017-11-23 2019-10-22 深圳力合精密装备科技有限公司 A kind of clamping of coordinate measuring machine stylus and adjustment mechanism
DE102018115745A1 (en) 2018-06-29 2020-01-02 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Rotation-swivel mechanism for a coordinate measuring machine
CN109269379A (en) * 2018-11-09 2019-01-25 重庆庆兰实业有限公司 A kind of knuckle cubing
CN110285759B (en) * 2019-08-01 2021-01-12 台州市肯创机械设备有限公司 High-sensitivity three-coordinate measuring machine detection mechanism
CN117169598B (en) * 2023-11-03 2024-02-02 无锡卓海科技股份有限公司 Resistance measuring instrument

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1597842A (en) 1977-02-07 1981-09-09 Rolls Royce Indexing mechanism
GB2037436B (en) 1978-10-02 1983-04-27 Haltronic Systems Ltd Swivel probe
US4510693A (en) * 1982-06-14 1985-04-16 Gte Valeron Corporation Probe with stylus adjustment
GB2203837B (en) 1987-04-06 1991-02-20 Mitutoyo Corp Apparatus and method for spatial coordinate measurement
DE3720795A1 (en) * 1987-06-24 1989-01-05 Stiefelmayer Kg C Device for measuring, marking (tracing), contacting, machining or the like of workpieces in three dimensions
DE3740070A1 (en) * 1987-11-26 1989-06-08 Zeiss Carl Fa TURN SLEWING DEVICE FOR TEST COOKING OF COORDINATE MEASURING DEVICES
US5189806A (en) 1988-12-19 1993-03-02 Renishaw Plc Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece
GB9114946D0 (en) * 1991-07-11 1991-08-28 Renishaw Metrology Ltd Probe head
GB9413194D0 (en) * 1994-06-30 1994-08-24 Renishaw Plc Probe head
DE4424225A1 (en) 1994-07-09 1996-01-11 Zeiss Carl Fa Probe for coordinate measuring machines
DE19605776A1 (en) 1996-02-16 1997-08-21 Zeiss Carl Fa Coordinate measuring device with a stylus, the orientation of which is adjustable
JP2000035325A (en) * 1998-07-16 2000-02-02 Mitsutoyo Corp Measuring machine with cleaning device
DE10006753A1 (en) 2000-02-15 2001-08-16 Zeiss Carl Rotary swivel device has correction unit which is included in each finite component to correct measurement error due to elastic deformation using mathematical model
GB0215152D0 (en) 2002-07-01 2002-08-07 Renishaw Plc Probe or stylus orientation
EP1666833B1 (en) * 2004-12-01 2008-01-23 Tesa SA Motorised and orientable measuring head

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008135144A1 (en) 2008-11-13
BRPI0811437A2 (en) 2014-12-16
CN101688766A (en) 2010-03-31
DE102007022326B4 (en) 2022-07-07
DE102007022326A1 (en) 2008-11-13
CN101688766B (en) 2012-10-31
RU2451265C2 (en) 2012-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009145166A (en) COORDINATE-MEASURING MACHINE FOR DETERMINING SPATIAL COORDINATES ON THE OBJECT OF MEASUREMENT, AND ALSO A TURN-TILT MECHANISM FOR SUCH COORDINATE-MEASURING MACHINE
EP2805067B1 (en) Locking counterbalance for a cmm
US10563969B2 (en) Apparatus and method to compensate bearing runout in an articulated arm coordinate measurement machine
JP6825884B2 (en) CMM
WO2008153127A1 (en) Instrument for examining/measuring object to be measured
WO2014069186A1 (en) X-ray imaging device
JP2008503746A5 (en)
JP2007286063A (en) Instrument for measuring dimensions
JP2013207389A5 (en)
CN103162616A (en) Instantaneous phase shifting interferometer for detecting microsphere surface morphology and measuring method of microsphere surface morphology using same
CN102445152A (en) Nano displacement measuring sensor
CN104110561A (en) Large-stroke planar three-degree-of-freedom precision positioning platform based on compliant mechanism
JP2007047652A5 (en)
CN108362184B (en) Measuring instrument and reflection device therefor
Tunwattana et al. Investigations into the effects of illumination and acceleration on optical mouse sensors as contact-free 2D measurement devices
KR20130031789A (en) Device for measuring the shape of eyeglasses frame
JP2006215019A (en) Rolling mechanism for laser irradiator
KR20160061224A (en) A Inside Diameter Measuring Equipment
TW200700697A (en) Dual-axis and five degree-of-freedom measuring device and method
CN101915550A (en) Continuous cylinder measuring device
JP4722645B2 (en) Condenser lens driving device and microscope
ITBO20070502A1 (en) AGGREGATE FOR ELECTROMANDRES
CN214975830U (en) Part size detection device for production line
KR200227621Y1 (en) Digital vernier calipers
JP2013542425A (en) Measuring device acting non-linearly to analyze and improve the adjustment of the orientation device acting on the sphere

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180418