RU2009130107A - Способ и устройство для модификации наружных поверхностей плоских субстратов - Google Patents
Способ и устройство для модификации наружных поверхностей плоских субстратов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2009130107A RU2009130107A RU2009130107/05A RU2009130107A RU2009130107A RU 2009130107 A RU2009130107 A RU 2009130107A RU 2009130107/05 A RU2009130107/05 A RU 2009130107/05A RU 2009130107 A RU2009130107 A RU 2009130107A RU 2009130107 A RU2009130107 A RU 2009130107A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- processing
- item
- coating
- heating
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 15
- 238000012986 modification Methods 0.000 title abstract 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 title abstract 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 2
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 claims 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 claims 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 claims 1
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 claims 1
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 abstract 1
- CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N cadmium sulfide Chemical compound [Cd]=S CJOBVZJTOIVNNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910052980 cadmium sulfide Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 abstract 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C3/00—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material
- B05C3/18—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material only one side of the work coming into contact with the liquid or other fluent material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C2/00—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
- C23C2/04—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor characterised by the coating material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/02—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material to surfaces by single means not covered by groups B05C1/00 - B05C7/00, whether or not also using other means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
- C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3668—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having electrical properties
- C03C17/3678—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having electrical properties specially adapted for use in solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1828—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIBVI compounds, e.g. CdS, ZnS, CdTe
- H01L31/1836—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIBVI compounds, e.g. CdS, ZnS, CdTe comprising a growth substrate not being an AIIBVI compound
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/28—Other inorganic materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/36—Underside coating of a glass sheet
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
1. Способ односторонней мокрохимической модификации наружных поверхностей, такой как, в частности, нанесение покрытия на плоский субстрат (2) с применением находящейся в емкости (3) для обработки жидкости (F), химические компоненты которой при соответствующем управлении температурой могут осаждаться на поверхности субстрата с образованием стойкого слоя, при котором нагрев предназначенной для нанесения покрытия нижней стороны субстрата, необходимый для образования желаемого слоя, осуществляется не с помощью обрабатывающей жидкости, а с помощью по меньшей мере одного надлежащего нагревательного средства (11), которое в состоянии нагреть субстрат (2) до необходимой температуры, без смачивания не предназначенной для обработки верхней стороны нагревающей жидкостью во время обработки и без удерживания субстрата (2) сверху или его защиты. ! 2. Способ по п.1, при котором субстрат (2) включает стекло, металл и/или полимерный материал, и нанесение покрытия происходит в рамках производства тонкопленочных элементов или модулей для солнечных батарей, и при котором обрабатывающая жидкость (F) содержит сульфат или соответственно ацетат кадмия или цинка. ! 3. Способ по п.1, при котором химический состав и/или температуру обрабатывающей жидкости (F) непрерывно контролируют и при необходимости корректируют. ! 4. Способ по п.1, при котором субстрат (2) своей предназначенной для нанесения покрытия нижней стороной во время обработки лежит на соответствующем транспортировочном средстве и непрерывно транспортируется по жидкости (F) или сквозь нее. ! 5. Способ по п.1, при котором для субстрата (2) используют несколько нагревательных средств (11
Claims (24)
1. Способ односторонней мокрохимической модификации наружных поверхностей, такой как, в частности, нанесение покрытия на плоский субстрат (2) с применением находящейся в емкости (3) для обработки жидкости (F), химические компоненты которой при соответствующем управлении температурой могут осаждаться на поверхности субстрата с образованием стойкого слоя, при котором нагрев предназначенной для нанесения покрытия нижней стороны субстрата, необходимый для образования желаемого слоя, осуществляется не с помощью обрабатывающей жидкости, а с помощью по меньшей мере одного надлежащего нагревательного средства (11), которое в состоянии нагреть субстрат (2) до необходимой температуры, без смачивания не предназначенной для обработки верхней стороны нагревающей жидкостью во время обработки и без удерживания субстрата (2) сверху или его защиты.
2. Способ по п.1, при котором субстрат (2) включает стекло, металл и/или полимерный материал, и нанесение покрытия происходит в рамках производства тонкопленочных элементов или модулей для солнечных батарей, и при котором обрабатывающая жидкость (F) содержит сульфат или соответственно ацетат кадмия или цинка.
3. Способ по п.1, при котором химический состав и/или температуру обрабатывающей жидкости (F) непрерывно контролируют и при необходимости корректируют.
4. Способ по п.1, при котором субстрат (2) своей предназначенной для нанесения покрытия нижней стороной во время обработки лежит на соответствующем транспортировочном средстве и непрерывно транспортируется по жидкости (F) или сквозь нее.
5. Способ по п.1, при котором для субстрата (2) используют несколько нагревательных средств (11), управление мощностью которых может происходить взаимонезависимо.
6. Способ по п.1, при котором нижняя сторона субстрата в ходе нанесения на нее покрытия равномерно нагревается до различных температур.
7. Способ по п.5, при котором управление нагревательными средствами (11) происходит взаимонезависимо таким образом, что предназначенная для нанесения покрытия нижняя сторона субстрата во время ее транспортировки по жидкости (F) или сквозь нее в направлении (12) транспортировки проходит или испытывает изменение температур по заданному графику (13).
8. Способ по п.7, при котором график (13) температур остается практически постоянным в расположенной перпендикулярно к направлению (12) транспортировки плоскости сечения субстрата (2).
9. Способ по п.1, при котором нагревательное средство или соответственно средства (11) для субстрата (2) выбирают из группы, состоящей из тепловых излучателей, теплоносителей, тепловых индукторов и их комбинаций.
10. Способ по п.9, при котором тепловой излучатель или тепловые излучатели выбирают из группы, состоящий из длинноволновых инфракрасных излучателей, инфракрасных лазеров и микроволновых приборов.
11. Способ по п.9, при котором теплоноситель или теплоносители выбирают из группы, состоящей из нагреваемых панелей, вальцов, роликов, полос, матов и пленок.
12. Способ по п.9, при котором тепловой индуктор или тепловые индукторы выбирают из группы, состоящей из электромагнитных индукционных катушек и электромагнитных индукторов.
13. Устройство (1) для односторонней мокрохимической модификации наружных поверхностей, такой как, в частности, нанесение покрытия на плоский субстрат (2), включающее по меньшей мере одну емкость (3) для обработки, в которую помещается обрабатывающая жидкость (F), по меньшей мере одно надлежащее средство (11) для нагрева предназначенной для нанесения покрытия нижней стороны субстрата до температуры, необходимой для образования желаемого слоя, а также по меньшей мере одно средство для укладывания и установки в нужное положение субстрата предназначенной для обработки стороной вниз, причем устройство (1) не включает средств, с помощью которых возможно удерживание субстрата сверху или его защита.
14. Устройство по п.13, у которого область наружной поверхности обрабатывающей жидкости (F), контактирующая с субстратом (2), по своей величине приблизительно соответствует области субстрата.
15. Устройство по п.13, включающее также по меньшей мере одно впускное отверстие (10A), через которое обрабатывающая жидкость (F) втекает в емкость (3) для обработки, а также по меньшей мере одну переливную кромку (10B), через которую обрабатывающая жидкость (F) отводится из емкости (3) для обработки.
16. Устройство (1) по п.13, включающее также по меньшей мере одно средство (14) для перемешивания обрабатывающей жидкости (F), которое выбрано из группы, включающей тормозящий поток, конвекцию, ультразвук и/или сопла.
17. Устройство по п.13, у которого выполнено по меньшей мере одно средство для укладки субстрата (2) в виде по меньшей мере одного средства для транспортировки субстрата во время обработки, так что субстрат (2) может транспортироваться предназначенной для обработки стороной вниз по обрабатывающей жидкости (F) или сквозь нее.
18. Устройство (1) по п.17, у которого по меньшей мере одно надлежащее транспортное средство по изобретению выбрано из группы, состоящей из транспортировочных роликов, транспортировочных лент и транспортировочных ремней, причем это средство предпочтительным образом может обеспечивать скорость транспортировки субстрата (2) примерно от 10 см/мин до 3,0 м/мин, особенно предпочтительным образом от 1,2 до 1,5 м/мин.
19. Устройство (1) по п.13, включающее также несколько взаимонезависимо управляемых нагревательных средств (11) для субстрата (2), а также устройство управления для отдельной настройки этих средств.
20. Устройство (1) по п.13, включающее также по меньшей мере одно средство для определения положения субстрата.
21. Устройство (1) по п.13, включающее также средство (8) для охлаждения обрабатывающей жидкости (F).
22. Устройство (1) по п.13, включающее также устройство предварительного нагрева и/или устройство предварительной очистки.
23. Устройство (1) по п.13, включающее также устройство для промывки и/или сушки.
24. Устройство (1) по п.13, включающее также одно или несколько кантовательных устройств.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102007024667A DE102007024667A1 (de) | 2007-05-25 | 2007-05-25 | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von flachen Substraten |
| DE102007024667.8 | 2007-05-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009130107A true RU2009130107A (ru) | 2011-02-10 |
| RU2422216C2 RU2422216C2 (ru) | 2011-06-27 |
Family
ID=39687392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009130107/05A RU2422216C2 (ru) | 2007-05-25 | 2008-05-20 | Способ и устройство для модификации наружных поверхностей плоских субстратов |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20100062184A1 (ru) |
| EP (1) | EP2155403B1 (ru) |
| JP (1) | JP5086375B2 (ru) |
| KR (1) | KR101093677B1 (ru) |
| CN (1) | CN101641162B (ru) |
| AT (1) | ATE483832T1 (ru) |
| AU (1) | AU2008256510B2 (ru) |
| DE (2) | DE102007024667A1 (ru) |
| ES (1) | ES2353452T3 (ru) |
| IL (1) | IL200539A0 (ru) |
| PL (1) | PL2155403T3 (ru) |
| RU (1) | RU2422216C2 (ru) |
| WO (1) | WO2008145285A1 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102007024667A1 (de) * | 2007-05-25 | 2008-11-27 | Rena Sondermaschinen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von flachen Substraten |
| US20110123728A1 (en) * | 2009-11-25 | 2011-05-26 | Ricoh Company, Ltd. | Thin film manufacturing method and thin film element |
| DE102013006594B4 (de) | 2013-04-17 | 2015-06-18 | Kautex Textron Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Behälters aus thermoplastischem Kunststoff |
| US9784835B1 (en) | 2013-09-27 | 2017-10-10 | Waymo Llc | Laser diode timing feedback using trace loop |
| KR20170020683A (ko) | 2015-08-14 | 2017-02-23 | ㈜리커시브소프트 | 신호등 신호 감지에 의한 신호변경 운전자 알림 시스템 |
| CN107299335B (zh) * | 2017-07-19 | 2023-07-21 | 旭科新能源股份有限公司 | 一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置及方法 |
| CN109406565B (zh) * | 2017-08-15 | 2022-01-04 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种大尺寸块体材料的化学成分分布的表征方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4004045A (en) * | 1974-08-09 | 1977-01-18 | Stelter Manfred K | Method for fluid film application |
| US4353942A (en) * | 1980-11-17 | 1982-10-12 | Dayco Corporation | Coating method |
| IT1299963B1 (it) * | 1998-04-08 | 2000-04-04 | Gd Spa | Metodo ed unita' per la gommatura di materiale in foglio. |
| JP4549570B2 (ja) * | 2001-05-15 | 2010-09-22 | 昭和シェル石油株式会社 | ヘテロ接合薄膜太陽電池の製造方法 |
| WO2003017346A1 (en) * | 2001-08-09 | 2003-02-27 | Sharp Kabushiki Kaisha | Sheet manufacturing device, sheet manufacturing method, and solar battery |
| US6537845B1 (en) * | 2001-08-30 | 2003-03-25 | Mccandless Brian E. | Chemical surface deposition of ultra-thin semiconductors |
| JP2003124487A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 太陽電池の製造装置 |
| EP1354830B1 (de) * | 2002-04-15 | 2004-04-28 | Rena Sondermaschinen GmbH | Transportrollen, Niederhalter und Transportsystem für flaches Transportgut |
| DE102004040546B3 (de) | 2004-08-18 | 2006-05-18 | Hahn-Meitner-Institut Berlin Gmbh | Verfahren zum Aufbringen einer Zinksulfid-Pufferschicht auf ein Halbleitersubstrat mittels chemischer Badabscheidung, insbesondere auf die Absorberschicht einer Chalkopyrit-Dünnschicht-Solarzelle |
| EP1785273A1 (en) * | 2005-09-21 | 2007-05-16 | Kba-Giori S.A. | Apparatus for coating a cylinder, in particular a wiping cylinder of an intaglio printing press |
| DE102007024667A1 (de) * | 2007-05-25 | 2008-11-27 | Rena Sondermaschinen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von flachen Substraten |
-
2007
- 2007-05-25 DE DE102007024667A patent/DE102007024667A1/de not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-05-20 US US12/525,262 patent/US20100062184A1/en not_active Abandoned
- 2008-05-20 PL PL08758660T patent/PL2155403T3/pl unknown
- 2008-05-20 CN CN200880006347XA patent/CN101641162B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-05-20 KR KR1020097018465A patent/KR101093677B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2008-05-20 WO PCT/EP2008/004053 patent/WO2008145285A1/de active Application Filing
- 2008-05-20 AU AU2008256510A patent/AU2008256510B2/en not_active Ceased
- 2008-05-20 RU RU2009130107/05A patent/RU2422216C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2008-05-20 EP EP08758660A patent/EP2155403B1/de not_active Not-in-force
- 2008-05-20 JP JP2009553085A patent/JP5086375B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-05-20 AT AT08758660T patent/ATE483832T1/de active
- 2008-05-20 DE DE502008001485T patent/DE502008001485D1/de active Active
- 2008-05-20 ES ES08758660T patent/ES2353452T3/es active Active
-
2009
- 2009-08-20 IL IL200539A patent/IL200539A0/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101641162A (zh) | 2010-02-03 |
| ATE483832T1 (de) | 2010-10-15 |
| DE502008001485D1 (de) | 2010-11-18 |
| US20100062184A1 (en) | 2010-03-11 |
| IL200539A0 (en) | 2010-05-31 |
| KR101093677B1 (ko) | 2011-12-15 |
| KR20090130368A (ko) | 2009-12-23 |
| EP2155403A1 (de) | 2010-02-24 |
| RU2422216C2 (ru) | 2011-06-27 |
| ES2353452T3 (es) | 2011-03-02 |
| PL2155403T3 (pl) | 2011-04-29 |
| AU2008256510B2 (en) | 2010-12-16 |
| WO2008145285A1 (de) | 2008-12-04 |
| JP5086375B2 (ja) | 2012-11-28 |
| DE102007024667A1 (de) | 2008-11-27 |
| JP2010521068A (ja) | 2010-06-17 |
| EP2155403B1 (de) | 2010-10-06 |
| AU2008256510A1 (en) | 2008-12-04 |
| CN101641162B (zh) | 2013-03-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2009130107A (ru) | Способ и устройство для модификации наружных поверхностей плоских субстратов | |
| CN100547726C (zh) | 用于使玻璃上的薄膜硅氢化的方法和装置 | |
| US9378947B2 (en) | Buffer layer deposition for thin-film solar cells | |
| KR950701455A (ko) | 광기전성 장치와 합성 제작물을 제조하는 방법과 기기(process and apparatus for making photovoltaic devices and resultnat product) | |
| KR20110030564A (ko) | 스크린 인쇄에 유용한 짧은 서멀 프로파일 오븐 | |
| JP2010520369A (ja) | 真空被覆装置 | |
| US8277869B2 (en) | Heating for buffer layer deposition | |
| US20110143478A1 (en) | Modular system and process for continuous deposition of a thin film layer on a substrate | |
| CN103250230A (zh) | 掺杂剂涂布系统以及涂布蒸气化掺杂化合物于光伏太阳能晶圆的方法 | |
| CN101055433B (zh) | 加热处理装置 | |
| WO2016183068A1 (en) | Coating and curing apparatus and methods | |
| US10030307B2 (en) | Apparatus and process for producing thin layers | |
| CN206022323U (zh) | 一种soi硅片倒角后的腐蚀设备 | |
| TWI492305B (zh) | 製造半導體裝置之方法及設備 | |
| US20110124149A1 (en) | Method and device for coating a carrier for thin-film solar cells | |
| JP5795430B2 (ja) | 熱伝導ガスの噴射による熱処理 | |
| CN204144233U (zh) | 基板支撑载体和用于处理基板的系统 | |
| US10245616B2 (en) | Gas flow device for a system for the radiation treatment of substrates | |
| KR20180112802A (ko) | 기판 상에 ＣｄＴｅ 층을 증착하기 위한 방법 | |
| US20010022992A1 (en) | Evaporation apparatus, particularly adapted to an evaporation plant for forming thin layers on a substrate | |
| TWI668170B (zh) | Tower heating furnace, automatic processing device including tower heating furnace and automatic processing method | |
| CN206173437U (zh) | 一种转移镀铝膜专用的烘干冷却一体化装置 | |
| WO2009140499A2 (en) | Coating application thermal stabilization system | |
| JP2011174109A (ja) | 表面処理設備及び表面処理方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130521 |