RU2009114631A

RU2009114631A - Способ нанесения металлических покрытий на изделия из керамики

Info

Publication number: RU2009114631A
Application number: RU2009114631/02A
Authority: RU
Inventors: Игорь Борисович Гавриленко (RU); Игорь Борисович Гавриленко; Валерий Фишельевич Гербер (RU); Валерий Фишельевич Гербер; Александр Анатольевич Ерузин (RU); Александр Анатольевич Ерузин; Юлия Игоревна Климентьева (RU); Юлия Игоревна Климентьева; Михаил Львович Подвязников (RU); Михаил Львович Подвязников
Original assignee: Общество с ограниченной ответственностью "Центр обслуживания и информации" (RU); Общество с ограниченной ответственностью "Центр обслуживания и информации"
Priority date: 2009-04-17
Filing date: 2009-04-17
Publication date: 2010-10-27
Also published as: RU2407820C1

Abstract

1. Способ нанесения покрытия на изделия методом распыления материала катода в вакууме, при котором изделия помещают в рабочую камеру, откачивают среду и перед процессом нанесения покрытия производят их предварительную поэтапную обработку газовой плазмой, отличающийся тем, что на первом этапе предварительной обработки осуществляют ионную очистку аргоном, а на втором этапе на поверхности изделия формируют мономолекулярный слой путем воздействия плазмой газа, содержащего окислитель, при этом используют катод, выполненный из металла с удельным сопротивлением не выше 16 мкОм·см. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют методом дугового распыления. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют методом магнетронного распыления. ! 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве газа-окислителя используют кислород, или углекислый газ, или хлорфторуглеводороды. ! 5. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве газа-окислителя используют кислород, или углекислый газ, или хлорфторуглеводороды. ! 6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что используют катод, выполненный из серебра, или меди, или олова, или хрома, или никеля, или циркония, или тантала, или молибдена, или их сплавов.

Claims

1. Способ нанесения покрытия на изделия методом распыления материала катода в вакууме, при котором изделия помещают в рабочую камеру, откачивают среду и перед процессом нанесения покрытия производят их предварительную поэтапную обработку газовой плазмой, отличающийся тем, что на первом этапе предварительной обработки осуществляют ионную очистку аргоном, а на втором этапе на поверхности изделия формируют мономолекулярный слой путем воздействия плазмой газа, содержащего окислитель, при этом используют катод, выполненный из металла с удельным сопротивлением не выше 16 мкОм·см.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют методом дугового распыления.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение покрытия осуществляют методом магнетронного распыления.

4. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве газа-окислителя используют кислород, или углекислый газ, или хлорфторуглеводороды.

5. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве газа-окислителя используют кислород, или углекислый газ, или хлорфторуглеводороды.

6. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что используют катод, выполненный из серебра, или меди, или олова, или хрома, или никеля, или циркония, или тантала, или молибдена, или их сплавов.