RU2007139182A - Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл - Google Patents
Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл Download PDFInfo
- Publication number
- RU2007139182A RU2007139182A RU2007139182/02A RU2007139182A RU2007139182A RU 2007139182 A RU2007139182 A RU 2007139182A RU 2007139182/02 A RU2007139182/02 A RU 2007139182/02A RU 2007139182 A RU2007139182 A RU 2007139182A RU 2007139182 A RU2007139182 A RU 2007139182A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- deposition
- plasma
- vacuum
- carbon
- carbon material
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл, путем осаждения на подложку из диэлектрического материала испаряемого в вакууме металла и осаждения в вакууме с помощью плазмы испаряемого углеродного материала с использованием инертного газа, отличающийся тем, что осаждение испаряемого в вакууме металла, в качестве которого используют серебро, производят на подложку перед осаждением углеродного материала, испарение в вакууме углеродного материала, в качестве которого используют графит, осуществляют импульсным дуговым разрядом, а плазму для осаждения углеродного материала создают вне области разрядного промежутка дугового разряда в виде компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы плотностью 5·1012 1·1013 см-3, длительностью 200-600 мкс, частотой следования 1-5 Гц, при этом инертный газ используют для ионной стимуляции плазмы в виде потока ионов с энергией 150-2000 эВ, который направляют перпендикулярно потоку углеродной плазмы, после чего подложку с осажденными на ней серебром и углеродным материалом извлекают из вакуумной камеры и отжигают на воздухе при температуре 400°С в течение 10 мин.
Claims (1)
- Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл, путем осаждения на подложку из диэлектрического материала испаряемого в вакууме металла и осаждения в вакууме с помощью плазмы испаряемого углеродного материала с использованием инертного газа, отличающийся тем, что осаждение испаряемого в вакууме металла, в качестве которого используют серебро, производят на подложку перед осаждением углеродного материала, испарение в вакууме углеродного материала, в качестве которого используют графит, осуществляют импульсным дуговым разрядом, а плазму для осаждения углеродного материала создают вне области разрядного промежутка дугового разряда в виде компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы плотностью 5·1012 1·1013 см-3, длительностью 200-600 мкс, частотой следования 1-5 Гц, при этом инертный газ используют для ионной стимуляции плазмы в виде потока ионов с энергией 150-2000 эВ, который направляют перпендикулярно потоку углеродной плазмы, после чего подложку с осажденными на ней серебром и углеродным материалом извлекают из вакуумной камеры и отжигают на воздухе при температуре 400°С в течение 10 мин.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007139182/02A RU2360036C1 (ru) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007139182/02A RU2360036C1 (ru) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007139182A true RU2007139182A (ru) | 2009-04-27 |
| RU2360036C1 RU2360036C1 (ru) | 2009-06-27 |
Family
ID=41018561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007139182/02A RU2360036C1 (ru) | 2007-10-22 | 2007-10-22 | Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2360036C1 (ru) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2496920C1 (ru) * | 2012-03-11 | 2013-10-27 | Сергей Дмитриевич Терентьев | Способ получения наноматериалов |
| RU2499850C1 (ru) * | 2012-06-04 | 2013-11-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Чувашский государственный университет имени И.Н. Ульянова" | Способ получения металлсодержащего углеродного наноматериала |
| RU2697855C1 (ru) * | 2018-12-26 | 2019-08-21 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный центр травматологии, ортопедии и эндопротезирования" Министерства здравоохранения и социального развития РФ (г. Чебоксары) | Способ нанесения покрытия на устройства и инструменты для остеосинтеза, ортопедические имплантаты из металла |
| CN109811306A (zh) * | 2019-02-27 | 2019-05-28 | 台州学院 | 一种与基体表面具有垂直取向关系的碳涂层材料 |
| RU2744089C1 (ru) * | 2019-10-15 | 2021-03-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых" (ВлГУ) | Метод получения стабилизированных линейных цепочек углерода в жидкости |
-
2007
- 2007-10-22 RU RU2007139182/02A patent/RU2360036C1/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2360036C1 (ru) | 2009-06-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2007139182A (ru) | Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл | |
| JP5607760B2 (ja) | Ｃｖｄ装置及びｃｖｄ方法 | |
| RU2643508C2 (ru) | Источник плазмы | |
| RU2015137774A (ru) | Устройство для ионной бомбардировки и способ его применения для очистки поверхности подложки | |
| JP2008223105A (ja) | 直進プラズマによる処理装置、処理方法及び処理物 | |
| Yang et al. | Cathodic plasma electrolysis processing for metal coating deposition | |
| RU2238999C1 (ru) | Способ импульсно-периодической имплантации ионов и плазменного осаждения покрытий | |
| RU2011128767A (ru) | Способ получения нанопорошков из различных электропроводящих материалов | |
| JP7130899B2 (ja) | プラズマ装置 | |
| RU2007112606A (ru) | Способ формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме | |
| RU134931U1 (ru) | Устройство для напыления пленок на подложки | |
| JPS63286570A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| CN101864559B (zh) | 一种栅网磁控溅射蒸铪的方法 | |
| JP2009191344A (ja) | 立方晶窒化硼素含有皮膜の形成方法 | |
| RU2339735C1 (ru) | Способ нанесения пленочного покрытия | |
| RU2382116C2 (ru) | Способ нанесения аморфных углеводородных покрытий | |
| RU2607398C2 (ru) | Способ нанесения покрытий путем плазменного напыления и устройство для его осуществления | |
| JP2022514383A (ja) | プラズマ処理を実行するためのプラズマ源のための電極構成 | |
| JP2020173984A (ja) | イオン源及びイオン注入装置並びにマグネシウムイオン生成方法 | |
| RU2801364C1 (ru) | Способ генерации потоков ионов твердого тела | |
| JP2014034698A (ja) | 成膜方法及び装置 | |
| RU2463382C2 (ru) | Способ и устройство для получения многослойно-композиционных наноструктурированных покрытий и материалов | |
| WO2012150877A2 (ru) | Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий | |
| CN114411099B (zh) | 一种真空镀膜系统及镀膜方法 | |
| JP6104126B2 (ja) | 皮膜形成装置及び皮膜形成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20161023 |
|
| NF4A | Reinstatement of patent |
Effective date: 20180517 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20191023 |