RU2007131686A - Микрофлюидальные системы на основе исполнительных элементов - Google Patents

Микрофлюидальные системы на основе исполнительных элементов Download PDF

Info

Publication number
RU2007131686A
RU2007131686A RU2007131686/06A RU2007131686A RU2007131686A RU 2007131686 A RU2007131686 A RU 2007131686A RU 2007131686/06 A RU2007131686/06 A RU 2007131686/06A RU 2007131686 A RU2007131686 A RU 2007131686A RU 2007131686 A RU2007131686 A RU 2007131686A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
actuators
microfluidic system
ciliary
wall
microchannel
Prior art date
Application number
RU2007131686/06A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2381382C2 (ru
Inventor
ТООНДЕР Якоб М. Дж. ДЕН (NL)
ТООНДЕР Якоб М. Дж. ДЕН
Менно В. Дж. ПРИНС (NL)
Менно В. Дж. ПРИНС
Хендрик Р. СТАПЕРТ (NL)
Хендрик Р. СТАПЕРТ
Дирк Дж. БРУР (NL)
Дирк Дж. БРУР
Original Assignee
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Конинклейке Филипс Электроникс Н.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl), Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. filed Critical Конинклейке Филипс Электроникс Н.В. (Nl)
Publication of RU2007131686A publication Critical patent/RU2007131686A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2381382C2 publication Critical patent/RU2381382C2/ru

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D33/00—Non-positive-displacement pumps with other than pure rotation, e.g. of oscillating type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/30—Micromixers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/30—Micromixers
    • B01F33/3038—Micromixers using ciliary stirrers to move or stir the fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/45—Magnetic mixers; Mixers with magnetically driven stirrers
    • B01F33/453—Magnetic mixers; Mixers with magnetically driven stirrers using supported or suspended stirring elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502746—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the means for controlling flow resistance, e.g. flow controllers, baffles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B19/00—Machines or pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B17/00
    • F04B19/006—Micropumps
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04—Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0475—Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure
    • B01L2400/0484—Cantilevers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes
    • Y10T137/0391—Affecting flow by the addition of material or energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49229—Prime mover or fluid pump making
    • Y10T29/49236—Fluid pump or compressor making

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Claims (19)

1. Микрофлюидальная система, содержащая, по меньшей мере, один микроканал (33), имеющий стенку (36) с внутренней стороной (35), причем микрофлюидальная система дополнительно содержит
множество цилиарных исполнительных элементов (30), прикрепленных к внутренней стороне (35) стенки (36), при этом каждый цилиарный исполнительный элемент (30) имеет форму и ориентацию, и
средство для приложения стимулирующих воздействий к множеству цилиарных исполнительных элементов (30), чтобы вызывать изменение их формы и/или ориентации.
2. Микрофлюидальная система по п.1, отличающаяся тем, что множество цилиарных исполнительных элементов являются полимерными исполнительными элементами.
3. Микрофлюидальная система по п.2, отличающаяся тем, что полимерные исполнительные элементы (30) содержат полимерные микроэлектромеханические системы (МЭМС).
4. Микрофлюидальная система по п.1, отличающаяся тем, что средство для приложения стимулирующего воздействия к множеству исполнительных элементов (30) выбрано из группы, состоящей из средства генерирования электрического поля, средства генерирования электромагнитного поля, средства генерирования магнитного поля или средства нагрева.
5. Микрофлюидальная система по п.4, отличающаяся тем, что средство приложения стимулирующего воздействия к цилиарным исполнительным элементам (30) является средством генерирования магнитного поля.
6. Микрофлюидальная система по п.5, отличающаяся тем, что цилиарные исполнительные элементы дополнительно содержат одну составляющую, выбранную из группы, состоящей из однородного непрерывного магнитного слоя (37), непрерывного магнитного слоя в виде рисунка или магнитных частиц (38).
7. Микрофлюидальная система по п.1, отличающаяся тем, что множество цилиарных исполнительных элементов (30) расположено в первом и втором рядах, причем первый ряд исполнительных элементов (30) находится в первом положении на внутренней стороне (35) стенки (36), а второй ряд исполнительных элементов (30) находится во втором положении на внутренней стороне (35) стенки (36), при этом первое положение и второе положение находятся, по существу, напротив друг друга.
8. Микрофлюидальная система по п.1, отличающаяся тем, что множество цилиарных исполнительных элементов (30) расположено во множестве рядов исполнительных элементов (30), которые образуют двумерный массив.
9. Микрофлюидальная система по п.1, отличающаяся тем, что множество цилиарных исполнительных элементов (30) расположено в произвольном порядке на внутренней стороне (35) стенки (36).
10. Способ изготовления микрофлюидальной системы, содержащей, по меньшей мере, один микроканал (33), заключающийся в том, что
снабжают внутреннюю сторону (35) стенки (36), по меньшей мере, одного микроканала (33) множеством цилиарных исполнительных элементов (30) и
используют средство для приложения стимулирующего воздействия к множеству цилиарных исполнительных элементов (30).
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что снабжение множеством цилиарных исполнительных элементов (30) осуществляют посредством
осаждения удаляемого слоя, имеющего длину L, на внутренней стороне (35) стенки (36),
осаждения материала исполнительных элементов поверх удаляемого слоя,
высвобождения материала исполнительных элементов с внутренней стороны (35) стенки (36) путем полного удаления удаляемого слоя.
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что удаление удаляемого слоя осуществляют посредством травления.
13. Способ по п.13, отличающийся тем, что дополнительно снабжают цилиарные исполнительные элементы (30) составляющей, выбранной из группы, состоящей из однородного непрерывного магнитного слоя (37), непрерывного магнитного слоя в виде рисунка или магнитных частиц (38).
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что для снабжения средством для приложения стимулирующего воздействия к цилиарным исполнительным элементам (30) используют средство генерирования магнитного поля.
15. Способ управления потоком текучей среды через микроканал (33) микрофлюидальной системы, причем микроканал (33) имеет стенку (36) с внутренней стороной (35), заключающийся в том, что
снабжают внутреннюю сторону (35) стенки (36) множеством цилиарных исполнительных элементов (30), причем каждый исполнительный элемент (30) имеет форму и ориентацию,
прикладывают стимулирующее воздействие к исполнительным элементам (30), вызывая изменение их формы и/или ориентации.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что приложение стимулирующего воздействия к исполнительным элементам (30) осуществляют путем приложения магнитного поля.
17. Применение микрофлюидальной системы по п.1 в биотехнологических, фармацевтических, электрических или электронных приложениях.
18. Микрофлюидальная система, содержащая, по меньшей мере, один микроканал (33), имеющий стенку (36) с внутренней стороной (35), причем микрофлюидальная система дополнительно содержит
множество электроактивных полимерных исполнительных элементов (30), прикрепленных к внутренней стороне (35) стенки (36), и
средство для приложения стимулирующих воздействий к множеству электроактивных полимерных исполнительных элементов (30) чтобы привести жидкость в движение в направлении вдоль микроканала (33).
19. Микрофлюидальная система по п.18, отличающаяся тем, что множество электроактивных полимерных исполнительных элементов (30) содержит полимерный гель или композит «иономерный полимер-металл» (КИПМ).
RU2007131686A 2005-02-21 2006-02-08 Микрофлюидальная система (варианты), способ ее изготовления и способ управления потоком текучей среды RU2381382C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05101291 2005-02-21
EP05101291.2 2005-02-21

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007131686A true RU2007131686A (ru) 2009-02-27
RU2381382C2 RU2381382C2 (ru) 2010-02-10

Family

ID=36576023

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007131686A RU2381382C2 (ru) 2005-02-21 2006-02-08 Микрофлюидальная система (варианты), способ ее изготовления и способ управления потоком текучей среды

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8475145B2 (ru)
EP (1) EP1853818B1 (ru)
JP (1) JP2008535669A (ru)
CN (1) CN101133246B (ru)
RU (1) RU2381382C2 (ru)
WO (1) WO2006087655A1 (ru)

Families Citing this family (58)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1986780A1 (en) * 2006-02-07 2008-11-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Actuator elements for microfluidics, responsive to multiple stimuli
ES2493921T3 (es) * 2006-03-14 2014-09-12 University Of Southern California Dispositivo MEMS para la administración de agentes terapéuticos
CN101490414A (zh) * 2006-07-17 2009-07-22 皇家飞利浦电子股份有限公司 微流体系统
JP4899681B2 (ja) 2006-07-18 2012-03-21 富士ゼロックス株式会社 マイクロ流路デバイス
JP2010500182A (ja) * 2006-08-09 2010-01-07 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ マイクロ流体システム
US20100028205A1 (en) * 2006-09-20 2010-02-04 Koninklijke Philips Electronics N.V. Micro-fluidic device for the use in biochips or biosystems
US7936404B2 (en) * 2006-09-29 2011-05-03 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Method for stacking thermal actuators with liquid crystal elastomer
JP2008100182A (ja) * 2006-10-20 2008-05-01 Hitachi Plant Technologies Ltd 乳化装置および微粒子製造装置
WO2008125927A2 (en) * 2006-12-19 2008-10-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Microfluidic system with actuators
WO2008078252A1 (en) * 2006-12-21 2008-07-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Micro-electro-mechanical system with actuators
EP1970122A1 (en) * 2007-03-12 2008-09-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. Microfluidic system based on magnetic actuator elements
EP1992410A1 (en) * 2007-03-12 2008-11-19 Stichting Dutch Polymer Institute Microfluidic system based on actuator elements
JP5151204B2 (ja) * 2007-03-27 2013-02-27 富士ゼロックス株式会社 マイクロ流路デバイス及びマイクロ流路デバイスの製造方法
WO2008132651A1 (en) 2007-04-26 2008-11-06 Koninklijke Philips Electronics N.V. Micromixer and/or microreactor with active flow controlling means
WO2008139401A2 (en) * 2007-05-11 2008-11-20 Koninklijke Philips Electronics N.V. A device for and a method of handling a fluidic sample
WO2008139378A1 (en) * 2007-05-11 2008-11-20 Koninklijke Philips Electronics N.V. Pulse driving of actuator elements for fluid actuation
EP2014610A1 (en) * 2007-06-15 2009-01-14 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Actuator for manipulating a fluid, comprising an electro-active polymer or an electro-active polymer composition
JP5119848B2 (ja) 2007-10-12 2013-01-16 富士ゼロックス株式会社 マイクロリアクタ装置
MX2010006840A (es) 2007-12-20 2010-08-12 Univ Southern California Aparato y métodos para suministrar agentes terapeuticos.
US8009442B2 (en) * 2007-12-28 2011-08-30 Intel Corporation Directing the flow of underfill materials using magnetic particles
EP2263299A2 (en) * 2008-03-28 2010-12-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Microfluidic device and method
WO2009122359A1 (en) * 2008-04-04 2009-10-08 Koninklijke Philips Electronics N.V. Device and method for mechanically deforming cells
US8231609B2 (en) 2008-05-08 2012-07-31 Minipumps, Llc Drug-delivery pumps and methods of manufacture
US9333297B2 (en) 2008-05-08 2016-05-10 Minipumps, Llc Drug-delivery pump with intelligent control
ES2534864T3 (es) 2008-05-08 2015-04-29 Minipumps, Llc Bombas implantables y cánulas para las mismas
WO2009150585A1 (en) * 2008-06-13 2009-12-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. Micro-fluidic systems based on actuator elements
JP2010115624A (ja) 2008-11-14 2010-05-27 Fuji Xerox Co Ltd マイクロ流路デバイス、分離装置、並びに、分離方法
JP5003702B2 (ja) 2009-03-16 2012-08-15 富士ゼロックス株式会社 マイクロ流体素子及びマイクロ流体制御方法
CN102576385B (zh) 2009-08-18 2016-02-24 迷你泵有限责任公司 具有自适应控制的电解药物输送泵
FR2955404B1 (fr) * 2010-01-18 2012-01-27 Commissariat Energie Atomique Actionneur fluidique et dispositif d'affichage a actionneurs fluidiques
WO2011110690A1 (de) * 2010-03-12 2011-09-15 Hochschule Für Angewandte Wissenschaften Fachhochschule Coburg Vorrichtung zum erzeugen und/oder nachweisen einer strömung in einem medium
TWI537314B (zh) * 2010-04-08 2016-06-11 國立清華大學 智慧型可變型態高分子微流體動力裝置及其製作方法
WO2014023997A2 (en) * 2012-05-11 2014-02-13 Weber Eric Robert Biomimetic artificial secured airway
RU2487275C1 (ru) * 2011-11-03 2013-07-10 Открытое Акционерное Общество "Инновационные Газоразделительные Технологии" Способ сжатия газовой среды
CA2877353C (en) 2012-06-29 2020-06-09 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Multiple state electroactive ophthalmic device
JP6123478B2 (ja) * 2013-05-16 2017-05-10 富士通株式会社 繊毛制御装置、繊毛制御プログラム及び繊毛制御方法
WO2015006684A2 (en) * 2013-07-11 2015-01-15 The Penn State Research Foundation Apparatuses and methods for modulating fluids using acoustically oscillating solid structures
EA201600243A1 (ru) * 2013-09-13 2016-10-31 БАЙОФИЛМ АйПи, ЛЛЦ Магнитокриогенные затворы, системы и способы модулирования потока в канале
RU2557905C2 (ru) * 2013-10-15 2015-07-27 Александр Васильевич Торговецкий Насос для перекачивания жидких сред
WO2016075535A1 (en) * 2014-11-10 2016-05-19 Ramot At Tel Aviv University Ltd. Mems-based active cooling system
US20160343637A1 (en) * 2015-05-19 2016-11-24 Ekaterina Axelrod Device integration of active cooling systems
KR102462941B1 (ko) * 2016-01-26 2022-11-03 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
TWI582924B (zh) 2016-02-02 2017-05-11 宏碁股份有限公司 散熱模組與電子裝置
WO2017176357A2 (en) 2016-02-04 2017-10-12 Massachusetts Institute Of Technology Modular organ microphysiological system with integrated pumping, leveling, and sensing
CN107094359B (zh) * 2016-02-18 2019-02-12 宏碁股份有限公司 散热模块与电子装置
EP3552247B1 (en) 2016-12-09 2020-04-29 Koninklijke Philips N.V. Actuator device and method
WO2019183038A1 (en) 2018-03-19 2019-09-26 Massachusetts Institute Of Technology Organ-on-chip platforms with reduced fluid volume
US10590967B2 (en) * 2018-03-26 2020-03-17 City University Of Hong Kong Unidirectional liquid transport systems and methods of manufacture thereof
AU2019249282B2 (en) * 2018-04-06 2023-09-21 Redbud Labs, Inc. Magnetic-based actuation mechanisms for and methods of actuating magnetically responsive microposts in a reaction chamber
WO2019213271A1 (en) * 2018-05-01 2019-11-07 Massachusetts Institute Of Technology Micropumps with electromagnetic actuator for organ-on-chip plattforms
KR102469819B1 (ko) 2018-11-12 2022-11-21 주식회사 엘지에너지솔루션 과충전 방지가 가능한 구조를 갖는 배터리 팩 및 이를 포함하는 자동차
KR102443898B1 (ko) 2018-11-12 2022-09-15 주식회사 엘지에너지솔루션 과충전 방지가 가능한 구조를 갖는 배터리 팩 충전 시스템 및 이를 포함하는 자동차
US20210091682A1 (en) * 2019-09-25 2021-03-25 Wisconsin Alumni Research Foundation Hybrid Electrostatic Actuator
CN111468018A (zh) * 2020-04-16 2020-07-31 西南交通大学 一种柔性主动式微混合器件集成系统及制备方法
WO2022046079A1 (en) * 2020-08-28 2022-03-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Barriers in microfluidic channels
CN114987727B (zh) * 2022-06-16 2024-02-23 中国船舶重工集团公司第七一九研究所 船舶动力系统泵阀管网自供能扰动抑制装置
CN115283034B (zh) * 2022-08-21 2023-05-16 东北电力大学 一种基于光温耦合响应水凝胶的微流控芯片
US20240218866A1 (en) * 2022-12-29 2024-07-04 Q Biotech Corp. Macro-fluidic and micro-fluidic systems and methods using magnetoactive soft materials

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4395719A (en) * 1981-01-05 1983-07-26 Exxon Research And Engineering Co. Ink jet apparatus with a flexible piezoelectric member and method of operating same
US5350966A (en) * 1991-11-12 1994-09-27 Rockwell International Corporation Piezocellular propulsion
FR2764473A1 (fr) * 1997-06-04 1998-12-11 Trt Lucent Technologies Tiroir electronique comportant un dispositif ameliore d'evacuation de chaleur
EP1109232B1 (en) * 1999-11-25 2002-05-02 C.R.F. Società Consortile per Azioni Piezo-electrostatic step actuator
US7189358B2 (en) * 2000-08-08 2007-03-13 California Institute Of Technology Integrated micropump analysis chip and method of making the same
US6485273B1 (en) * 2000-09-01 2002-11-26 Mcnc Distributed MEMS electrostatic pumping devices
US6435840B1 (en) * 2000-12-21 2002-08-20 Eastman Kodak Company Electrostrictive micro-pump
US7008193B2 (en) * 2002-05-13 2006-03-07 The Regents Of The University Of Michigan Micropump assembly for a microgas chromatograph and the like
EP2302216A1 (en) * 2003-02-24 2011-03-30 Medipacs, Inc. Pulse activated actuator pump system
US8092549B2 (en) * 2004-09-24 2012-01-10 The Invention Science Fund I, Llc Ciliated stent-like-system

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008535669A (ja) 2008-09-04
US8475145B2 (en) 2013-07-02
CN101133246B (zh) 2012-01-11
EP1853818A1 (en) 2007-11-14
US20080170936A1 (en) 2008-07-17
WO2006087655A1 (en) 2006-08-24
CN101133246A (zh) 2008-02-27
RU2381382C2 (ru) 2010-02-10
EP1853818B1 (en) 2016-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2007131686A (ru) Микрофлюидальные системы на основе исполнительных элементов
RU2009108333A (ru) Микрожидкостная система
JP5435824B2 (ja) マイクロ構造を作製する方法
RU2009105245A (ru) Микрофлюидная система
JP7053591B2 (ja) 粒子を操作するためのデバイスおよび方法
US8992183B2 (en) System and methods for moving objects individually and in parallel
EP1820571A1 (en) 3D structures based on 2D substrates
KR102572442B1 (ko) 표준 실리콘 기술로 제작된 장기 칩 장치를 위한 다목적 3ｄ 신축성 미세환경
WO2013061825A1 (ja) 中空針状体の製造方法および中空針状体
WO2014014892A2 (en) System and methods for electrowetting based pick and place assembly
US10343162B2 (en) Reconfigurable microfluidic device and method of manufacturing the same
Li et al. Triple-Bioinspired Shape Memory Microcavities with Strong and Switchable Adhesion
KR20170083012A (ko) 액츄에이터와 이의 제조 방법 및 로봇
US20150314968A1 (en) Apparatus for Carrying and Transporting a Product
CN108602064B (zh) 用于控制活体几何形状的微米流体装置
CN112340691B (zh) 一种适用于流体界面上微小物体组装和重构的方法及其应用
US20100190249A1 (en) Method and device for forming a three-dimensional arrangement of biological cells
DE102010012254A1 (de) Substrat, Kultivierungseinrichtung und Kultivierungsverfahren für biologische Zellen
ES2686108T3 (es) Procedimiento para la fabricación de micro-objetos
EP2236206B1 (en) Device for the separation of the DNA molecules having different lengths
WO2015028670A2 (en) Method for the fabrication of multi-layered micro-containers for drug delivery
TW202021420A (zh) 微米級無線加熱器及其製造方法和應用
Conrad et al. Design of a Liquid Dielectrophoresis-driven Platform with Cooperative Actuation
WO2018170170A1 (en) Systems and methods for fabricating 3d soft microstructures
KR100768881B1 (ko) 포토레지스트 노광공정을 이용하여 제조된 삼차원 지지체

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110209