RU2007110100A - Способ плазменной обработки поверхности изделия - Google Patents

Способ плазменной обработки поверхности изделия Download PDF

Info

Publication number
RU2007110100A
RU2007110100A RU2007110100/02A RU2007110100A RU2007110100A RU 2007110100 A RU2007110100 A RU 2007110100A RU 2007110100/02 A RU2007110100/02 A RU 2007110100/02A RU 2007110100 A RU2007110100 A RU 2007110100A RU 2007110100 A RU2007110100 A RU 2007110100A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plasma
anode
plasma jet
alloying component
jet
Prior art date
Application number
RU2007110100/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2340703C1 (ru
Inventor
Валерий Николаевич Пименов (RU)
Валерий Николаевич Пименов
Елена Викторовна Демина (RU)
Елена Викторовна Демина
Владимир Алексеевич Грибков (RU)
Владимир Алексеевич Грибков
ев Сергей Алексеевич Масл (RU)
Сергей Алексеевич Масляев
Лев Иванович Иванов (RU)
Лев Иванович Иванов
Александр Викторович Дубровский (RU)
Александр Викторович Дубровский
Алексей Викторович Ковтун (RU)
Алексей Викторович Ковтун
Original Assignee
Валерий Николаевич Пименов (RU)
Валерий Николаевич Пименов
Елена Викторовна Демина (RU)
Елена Викторовна Демина
Владимир Алексеевич Грибков (RU)
Владимир Алексеевич Грибков
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Валерий Николаевич Пименов (RU), Валерий Николаевич Пименов, Елена Викторовна Демина (RU), Елена Викторовна Демина, Владимир Алексеевич Грибков (RU), Владимир Алексеевич Грибков filed Critical Валерий Николаевич Пименов (RU)
Priority to RU2007110100/02A priority Critical patent/RU2340703C1/ru
Publication of RU2007110100A publication Critical patent/RU2007110100A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2340703C1 publication Critical patent/RU2340703C1/ru

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (8)

1. Способ плазменной обработки поверхности изделия, основанный на формировании плазменной струи в камере плазменной установки в среде рабочего газа под действием высокого напряжения, приложенного к аноду и катоду, и воздействии высокотемпературной плазмой на поверхность изделия с внедрением в его поверхностный слой компонента имплантируемого материала, отличающийся тем, что плазменную струю формируют сгустками в импульсном режиме со скоростью истечения плазменной струи 105-106 м/с, температурой 0,1-3,0 КЭВ, плотностью мощности потока плазменной струи 106-1010 Вт/см2, причем концентрацию легирующего компонента в поверхностном слое задают количеством воздействующих импульсов и длительностью воздействия отдельного импульса.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что воздействующие импульсы формируют с частотой в пределах 0,01-105 Гц.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что воздействующий импульс формируют с длительностью от 10-8 до 10-6 с.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве источника легирующего компонента используют материал анода.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве источника легирующего компонента используют материал вставки, которую располагают в аноде на оси плазменной струи.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве источников легирующего компонента используют материал вставок, которые располагают в аноде и за полым обрабатываемым изделием на оси плазменной струи.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве источника легирующего компонента используют материал вставки, которую располагают на оси плазменной струи между полым анодом и обрабатываемым изделием.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработку внешних и внутренних поверхностей протяженных изделий осуществляют в два этапа, причем на втором этапе обработки ориентацию протяженного изделия изменяют на 180° по отношению к его ориентации на первом этапе.
RU2007110100/02A 2007-03-20 2007-03-20 Способ плазменной обработки поверхности изделия RU2340703C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007110100/02A RU2340703C1 (ru) 2007-03-20 2007-03-20 Способ плазменной обработки поверхности изделия

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007110100/02A RU2340703C1 (ru) 2007-03-20 2007-03-20 Способ плазменной обработки поверхности изделия

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007110100A true RU2007110100A (ru) 2008-09-27
RU2340703C1 RU2340703C1 (ru) 2008-12-10

Family

ID=39928566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007110100/02A RU2340703C1 (ru) 2007-03-20 2007-03-20 Способ плазменной обработки поверхности изделия

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2340703C1 (ru)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2442843C1 (ru) * 2010-10-06 2012-02-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный индустриальный университет"(ФГБОУ ВПО "МГИУ") Способ ионной имплантации конструкционной стали ионами меди и свинца
RU2458707C1 (ru) * 2011-03-17 2012-08-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный технический университет" (СГТУ) Способ изготовления внутрикостного стоматологического имплантата с ионно-лучевой модификацией плазмонапыленного многослойного биоактивного покрытия
RU2471884C2 (ru) * 2011-04-15 2013-01-10 Вадим Дмитриевич Гончаров Способ обработки поверхности материалов и устройство для его осуществления
RU2465373C1 (ru) * 2011-09-07 2012-10-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный индустриальный университет" Способ ионной имплантации поверхностей деталей из конструкционной стали
RU2479668C1 (ru) * 2011-10-03 2013-04-20 Валерий Николаевич Пименов Способ ионно-плазменного легирования поверхности изделия
RU2541325C1 (ru) * 2013-07-19 2015-02-10 Николай Яковлевич Василик Способ упрочнения поверхности металлических изделий
RU2607288C2 (ru) * 2015-03-25 2017-01-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) Способ газоразряного напыления пленок
RU2604086C1 (ru) * 2015-07-06 2016-12-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А." (СГТУ имени Гагарина Ю.А.) Способ плазменного напыления многофункциональных покрытий

Also Published As

Publication number Publication date
RU2340703C1 (ru) 2008-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2007110100A (ru) Способ плазменной обработки поверхности изделия
TW200509227A (en) Plasma processing system and cleaning method for the same
DE60336981D1 (de) Verfahren zum plasma-bohren
Kim et al. Characteristics of multiple plasma plumes and formation of bullets in an atmospheric-pressure plasma jet array
ATE535629T1 (de) Gepulstes hochleistungs-magnetronsputterverfahren sowie hochleistungs-elektroenergiequelle
DE602004007017D1 (de) Spannungsungleichförmigkeits-kompensationsverfahren für einen hochfrequenz-plasmareaktor zur behandlung rechteckiger grossflächiger substrate
TW200701361A (en) Plasma processing apparatus
RU2503538C1 (ru) Способ обработки заготовок из капролона
JP2020061534A5 (ru)
Zheng et al. Fresh water disinfection by pulsed low electric field
RU2007139182A (ru) Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл
ATE420457T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur plasmabehandlung von objekten
EA201500118A1 (ru) Способ электрохимической обработки титана и титановых сплавов
RU2558320C1 (ru) Способ упрочнения поверхности титановых сплавов в вакууме
MD3974C2 (ru) Способ упрочнения металлических поверхностей электрическими разрядами
Sarani et al. Atmospheric-Pressure Plasma Jet in $\hbox {He/H} _ {2}\hbox {O} $ Mixture
MD1448Z (ru) Способ удаления жаростойких покрытий с поверхности из твёрдых сплавов
MD4184B1 (en) Process for hardening of metal surfaces
RU2562187C1 (ru) Способ модификации поверхности изделий из титановых сплавов в тлеющем разряде
RU2013133431A (ru) Способ упрочнения поверхности металлических изделий
Kozlov Super-atmospheric metal-ceramic small-sized sealed-off TE-CO 2 laser with PRR up to 25 Hz
RU2003127157A (ru) Способ стерилизации объектов
Liang et al. Simulations of the energy spectrum of conduction band electrons for a better understanding of free-electron-mediated modifications of biomolecules, and fs laser materials processing
Zhang et al. Promotion of Nitrate Concentration in Plasma Activated Water by Introducing Ultrasonic Treatment
Lee et al. A New Method to Generate Strong Underwater Shock Waves Using Water Electrolysis in Negative Streamer Pulsed Spark Discharge

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090321