RU2006139943A - Интенсифицированный гибридный твердотельный датчик - Google Patents

Интенсифицированный гибридный твердотельный датчик Download PDF

Info

Publication number
RU2006139943A
RU2006139943A RU2006139943/09A RU2006139943A RU2006139943A RU 2006139943 A RU2006139943 A RU 2006139943A RU 2006139943/09 A RU2006139943/09 A RU 2006139943/09A RU 2006139943 A RU2006139943 A RU 2006139943A RU 2006139943 A RU2006139943 A RU 2006139943A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
solid
patterns
channel
intensified
pixel
Prior art date
Application number
RU2006139943/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2383963C2 (ru
Inventor
Рудольф Г. БЕНЦ (US)
Рудольф Г. БЕНЦ
Нильс И. ТОМАС (US)
Нильс И. ТОМАС
Арлинн В. СМИТ (US)
Арлинн В. СМИТ
Original Assignee
Ай Ти Ти Мэньюфэкчуринг Энтерпрайзиз, Инк. (Us)
Ай Ти Ти Мэньюфэкчуринг Энтерпрайзиз, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ай Ти Ти Мэньюфэкчуринг Энтерпрайзиз, Инк. (Us), Ай Ти Ти Мэньюфэкчуринг Энтерпрайзиз, Инк. filed Critical Ай Ти Ти Мэньюфэкчуринг Энтерпрайзиз, Инк. (Us)
Publication of RU2006139943A publication Critical patent/RU2006139943A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2383963C2 publication Critical patent/RU2383963C2/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/26—Image pick-up tubes having an input of visible light and electric output
    • H01J31/48—Tubes with amplification of output effected by electron multiplier arrangements within the vacuum space
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
    • G01T1/2914—Measurement of spatial distribution of radiation
    • G01T1/2921—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras
    • G01T1/2957—Static instruments for imaging the distribution of radioactivity in one or two dimensions; Radio-isotope cameras using channel multiplier arrays
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/26—Image pick-up tubes having an input of visible light and electric output
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/49—Pick-up adapted for an input of electromagnetic radiation other than visible light and having an electric output, e.g. for an input of X-rays, for an input of infrared radiation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2231/00—Cathode ray tubes or electron beam tubes
    • H01J2231/50—Imaging and conversion tubes
    • H01J2231/50057—Imaging and conversion tubes characterised by form of output stage
    • H01J2231/50068—Electrical
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2231/00—Cathode ray tubes or electron beam tubes
    • H01J2231/50—Imaging and conversion tubes
    • H01J2231/501—Imaging and conversion tubes including multiplication stage
    • H01J2231/5013—Imaging and conversion tubes including multiplication stage with secondary emission electrodes
    • H01J2231/5016—Michrochannel plates [MCP]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Claims (10)

1. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения, содержащий:
фотокатод для преобразования света от изображения в электроны;
устройство электронного умножителя для приема электронов из фотокатода, причем устройство электронного умножителя выдает большее число электронов, чем устройство электронного умножителя принимает от фотокатода; и
твердотельный датчик изображения, включающий в себя множество пикселей для приема электронов из устройства электронного умножителя через множество каналов устройства электронного умножителя, твердотельный датчик изображения генерирует интенсифицированный сигнал изображения из электронов, принятых от устройства электронного умножителя,
при этом множество каналов размещены во множестве канальных картин, а множество пикселей размещено во множестве пиксельных картин, причем каждая из множества канальных картин сопоставляется с соответствующей из множества пиксельных картин, так что электронные сигналы от каждой из множества канальных картин, по существу, принимаются соответствующей единственной из множества пиксельных картин.
2. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором каждая из множества канальных картин содержит единственный канал и каждая из множества пиксельных картин содержит единственный пиксель.
3. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.2, в котором каждая из множества канальных картин имеет, по существу, те же размер и форму, что и соответствующая из множества пиксельных картин.
4. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором каждая из множества канальных картин содержит множество каналов, а каждая из множества пиксельных картин содержит единственный пиксель.
5. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором каждая из множества канальных картин содержит единственный канал, а каждая из множества пиксельных картин содержит множество пикселей.
6. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором каждая из множества канальных картин содержит множество каналов и каждая из множества пиксельных картин содержит множество пикселей.
7. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором каждая из множества канальных картин совмещается вращением и переносом с соответствующей из множества пиксельных картин.
8. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором устройство электронного умножителя содержит многоканальную пластину, а множество каналов содержит множество пор многоканальной пластины.
9. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором твердотельный датчик изображения представляет собой ПЗС-устройство.
10. Интенсифицированный твердотельный формирователь изображения по п.1, в котором твердотельный датчик изображения представляет собой КМОП-устройство.
RU2006139943/09A 2004-04-14 2005-04-11 Интенсифицированный гибридный твердотельный датчик RU2383963C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/824,084 2004-04-14
US10/824,084 US7015452B2 (en) 2001-10-09 2004-04-14 Intensified hybrid solid-state sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006139943A true RU2006139943A (ru) 2008-05-20
RU2383963C2 RU2383963C2 (ru) 2010-03-10

Family

ID=34965908

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006139943/09A RU2383963C2 (ru) 2004-04-14 2005-04-11 Интенсифицированный гибридный твердотельный датчик

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7015452B2 (ru)
EP (1) EP1741121B1 (ru)
JP (1) JP5197002B2 (ru)
KR (1) KR101107000B1 (ru)
CN (1) CN1943000A (ru)
AU (1) AU2005239319B2 (ru)
CA (1) CA2563154A1 (ru)
DE (1) DE602005017603D1 (ru)
RU (1) RU2383963C2 (ru)
WO (1) WO2005106916A1 (ru)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7581681B2 (en) * 1998-03-24 2009-09-01 Metrologic Instruments, Inc. Tunnel-type digital imaging system for use within retail shopping environments such as supermarkets
US8042740B2 (en) * 2000-11-24 2011-10-25 Metrologic Instruments, Inc. Method of reading bar code symbols on objects at a point-of-sale station by passing said objects through a complex of stationary coplanar illumination and imaging planes projected into a 3D imaging volume
US7015452B2 (en) 2001-10-09 2006-03-21 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Intensified hybrid solid-state sensor
AU2003263109A1 (en) * 2002-09-30 2004-04-23 Applied Materials Israel, Ltd. Dark field inspection system
US8294809B2 (en) 2005-05-10 2012-10-23 Advanced Scientific Concepts, Inc. Dimensioning system
IL176694A0 (en) * 2006-07-04 2006-10-31 Univ Ramot Method and device for low light level imaging
KR101632754B1 (ko) * 2007-09-24 2016-06-22 노바트랜스 그룹 에스에이 나이트 비전용 이미지 센서 셀
FR2928034B1 (fr) * 2008-02-26 2010-03-19 New Imaging Technologies Sas Capteur matriciel pour tube amplificateur de lumiere
FR2944140B1 (fr) * 2009-04-02 2011-09-16 Commissariat Energie Atomique Dispositif de detection d'image electronique
WO2013024386A2 (en) * 2011-08-16 2013-02-21 0Ec Sa System for a contactless control of a field effect transistor
US10197501B2 (en) 2011-12-12 2019-02-05 Kla-Tencor Corporation Electron-bombarded charge-coupled device and inspection systems using EBCCD detectors
US9496425B2 (en) 2012-04-10 2016-11-15 Kla-Tencor Corporation Back-illuminated sensor with boron layer
US9601299B2 (en) 2012-08-03 2017-03-21 Kla-Tencor Corporation Photocathode including silicon substrate with boron layer
US9426400B2 (en) 2012-12-10 2016-08-23 Kla-Tencor Corporation Method and apparatus for high speed acquisition of moving images using pulsed illumination
US9478402B2 (en) 2013-04-01 2016-10-25 Kla-Tencor Corporation Photomultiplier tube, image sensor, and an inspection system using a PMT or image sensor
US9177764B1 (en) * 2013-11-11 2015-11-03 Exelis, Inc. Image intensifier having an ion barrier with conductive material and method for making the same
US9347890B2 (en) 2013-12-19 2016-05-24 Kla-Tencor Corporation Low-noise sensor and an inspection system using a low-noise sensor
US9748294B2 (en) 2014-01-10 2017-08-29 Hamamatsu Photonics K.K. Anti-reflection layer for back-illuminated sensor
US9410901B2 (en) 2014-03-17 2016-08-09 Kla-Tencor Corporation Image sensor, an inspection system and a method of inspecting an article
US9767986B2 (en) 2014-08-29 2017-09-19 Kla-Tencor Corporation Scanning electron microscope and methods of inspecting and reviewing samples
US9420202B1 (en) 2015-04-01 2016-08-16 Aviation Specialties Unlimited, Inc. Compact intensified camera module
US9860466B2 (en) 2015-05-14 2018-01-02 Kla-Tencor Corporation Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems
US10748730B2 (en) 2015-05-21 2020-08-18 Kla-Tencor Corporation Photocathode including field emitter array on a silicon substrate with boron layer
US9978798B2 (en) * 2015-08-03 2018-05-22 Sony Corporation Sensors with variable sensitivity to maximize data use
US10462391B2 (en) 2015-08-14 2019-10-29 Kla-Tencor Corporation Dark-field inspection using a low-noise sensor
US10778925B2 (en) 2016-04-06 2020-09-15 Kla-Tencor Corporation Multiple column per channel CCD sensor architecture for inspection and metrology
US10313622B2 (en) 2016-04-06 2019-06-04 Kla-Tencor Corporation Dual-column-parallel CCD sensor and inspection systems using a sensor
US11114489B2 (en) 2018-06-18 2021-09-07 Kla-Tencor Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor
US10943760B2 (en) 2018-10-12 2021-03-09 Kla Corporation Electron gun and electron microscope
US11114491B2 (en) 2018-12-12 2021-09-07 Kla Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor
US11848350B2 (en) 2020-04-08 2023-12-19 Kla Corporation Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor using a silicon on insulator wafer
KR20230109741A (ko) * 2020-11-23 2023-07-20 온투 이노베이션 아이엔씨. 불투명한 층을 통한 정렬 및 오버레이 측정을 수행하기 위한 시스템 및 방법

Family Cites Families (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4373804A (en) * 1979-04-30 1983-02-15 Diffracto Ltd. Method and apparatus for electro-optically determining the dimension, location and attitude of objects
US4471378A (en) * 1979-12-31 1984-09-11 American Sterilizer Company Light and particle image intensifier
FR2494906A1 (fr) 1980-11-25 1982-05-28 Thomson Csf Tube photodetecteur a multiplication d'electrons utilisable dans un lecteur video couleur
US4355229A (en) 1980-11-28 1982-10-19 Rca Corporation Intensified charge coupled image sensor having universal header assembly
US4395636A (en) 1980-12-24 1983-07-26 Regents Of The University Of California Radiation imaging apparatus
US4555731A (en) 1984-04-30 1985-11-26 Polaroid Corporation Electronic imaging camera with microchannel plate
IL72878A (en) 1984-09-06 1988-10-31 Tadiran Ltd Reconnaissance system
JPH0775407B2 (ja) 1988-05-17 1995-08-09 日本放送協会 撮像デバイス
JPH0775408B2 (ja) 1988-05-17 1995-08-09 日本放送協会 撮像デバイス
US5099128A (en) 1989-03-17 1992-03-24 Roger Stettner High resolution position sensitive detector
US5084780A (en) 1989-09-12 1992-01-28 Itt Corporation Telescopic sight for day/night viewing
US5029963A (en) 1990-02-15 1991-07-09 Itt Corporation Replacement device for a driver's viewer
US5218194A (en) 1991-08-19 1993-06-08 Varo Inc. Advanced high voltage power supply for night vision image intensifer
JP3017333B2 (ja) * 1991-08-26 2000-03-06 日本放送協会 高感度撮像デバイス
DE4237097A1 (en) 1991-11-19 1993-05-27 Siemens Ag X=ray image intensifier with vacuum housing having input light screening - has input window of vacuum housing and photocathode optically coupled on one side of glass carrier and electron multiplying stage
US5349177A (en) 1993-02-22 1994-09-20 Itt Corporation Image intensifier tube having a solid state electron amplifier
US5665959A (en) 1995-01-13 1997-09-09 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Adminstration Solid-state image sensor with focal-plane digital photon-counting pixel array
JPH09213206A (ja) * 1996-02-06 1997-08-15 Hamamatsu Photonics Kk 透過型光電面、その製造方法、及びそれを用いた光電変換管
US6069352A (en) 1997-09-09 2000-05-30 Interscience, Inc. Intensity control system for intensified imaging systems
JP4173575B2 (ja) 1998-01-16 2008-10-29 浜松ホトニクス株式会社 撮像装置
US6072565A (en) 1998-05-18 2000-06-06 Litton Systems, Inc. Night vision device with improved laser range finder
JP3806514B2 (ja) * 1998-06-22 2006-08-09 浜松ホトニクス株式会社 光電面及びその製造方法
US6271511B1 (en) 1999-02-22 2001-08-07 Litton Systems, Inc. High-resolution night vision device with image intensifier tube, optimized high-resolution MCP, and method
DE19927694C1 (de) 1999-06-17 2000-11-02 Lutz Fink Halbleitersensor mit einer Pixelstruktur
US6285018B1 (en) 1999-07-20 2001-09-04 Intevac, Inc. Electron bombarded active pixel sensor
US6333205B1 (en) 1999-08-16 2001-12-25 Micron Technology, Inc. CMOS imager with selectively silicided gates
US6303918B1 (en) 1999-08-25 2001-10-16 Litton Systems, Inc. Method and system for detecting radiation incorporating a hardened photocathode
US6278104B1 (en) 1999-09-30 2001-08-21 Litton Systems, Inc. Power supply for night viewers
US6492657B1 (en) 2000-01-27 2002-12-10 Burle Technologies, Inc. Integrated semiconductor microchannel plate and planar diode electron flux amplifier and collector
DE10014311C2 (de) 2000-03-23 2003-08-14 Siemens Ag Strahlungswandler
US7015452B2 (en) 2001-10-09 2006-03-21 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Intensified hybrid solid-state sensor
US6747258B2 (en) 2001-10-09 2004-06-08 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Intensified hybrid solid-state sensor with an insulating layer

Also Published As

Publication number Publication date
CN1943000A (zh) 2007-04-04
JP5197002B2 (ja) 2013-05-15
JP2007533107A (ja) 2007-11-15
CA2563154A1 (en) 2005-11-10
RU2383963C2 (ru) 2010-03-10
DE602005017603D1 (de) 2009-12-24
AU2005239319A1 (en) 2005-11-10
AU2005239319B2 (en) 2010-04-22
US20050167575A1 (en) 2005-08-04
US7015452B2 (en) 2006-03-21
EP1741121A1 (en) 2007-01-10
KR101107000B1 (ko) 2012-01-25
KR20070007801A (ko) 2007-01-16
EP1741121B1 (en) 2009-11-11
WO2005106916A1 (en) 2005-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2006139943A (ru) Интенсифицированный гибридный твердотельный датчик
US10498984B2 (en) Solid-state image pickup device, method of driving the same, and electronic apparatus
US9661306B2 (en) Solid-state imaging device and camera system
JP5359465B2 (ja) 固体撮像装置、固体撮像装置の信号処理方法および撮像装置
USRE47523E1 (en) Device and method for extending dynamic range in an image sensor
US8896735B2 (en) Solid-state imaging device and camera system
EP2194721A3 (en) Solid-state imaging device, method for processing signal of solid-state imaging device, and imaging apparatus
CN1823532A (zh) 具有电荷装仓的图像传感器
JP6325755B2 (ja) イメージセンサ、結像装置、モバイル端末及び結像方法
US20130057744A1 (en) Solid-state imaging device and camera system
CN101931756B (zh) 一种提高cmos图像传感器动态范围的装置和方法
RU2004113949A (ru) Гибридный твердотельный измерительный преобразователь, усиливающий яркость изображения
EP1198126A3 (en) Image pickup apparatus
CN1732681A (zh) 固态成像器件
EP2446476A1 (en) Color filters for sub-diffraction limit sensors
EP2446475A1 (en) Color filters for sub-diffraction limit sensors
WO2022262443A1 (zh) 图像传感器、摄像头组件和移动终端
WO2017077775A1 (ja) 固体撮像素子、撮像装置、及び、電子機器
US9001240B2 (en) Common element pixel architecture (CEPA) for fast speed readout
US20210067726A1 (en) Imaging device and electronic apparatus
WO2023011092A1 (zh) 图像传感器、摄像头组件和移动终端
CN111263129A (zh) 图像传感器、摄像头组件及移动终端
CN1665280A (zh) 摄像装置和摄像装置的控制装置
Cho et al. A 5.9 µm-pixel 2d/3d image sensor with background suppression over 100klx
CN114073068B (zh) 图像采集方法、摄像头组件及移动终端

Legal Events

Date Code Title Description
RZ4A Other changes in the information about an invention
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120412