RU2006137994A - Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе (варианты) - Google Patents
Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе (варианты) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2006137994A RU2006137994A RU2006137994/28A RU2006137994A RU2006137994A RU 2006137994 A RU2006137994 A RU 2006137994A RU 2006137994/28 A RU2006137994/28 A RU 2006137994/28A RU 2006137994 A RU2006137994 A RU 2006137994A RU 2006137994 A RU2006137994 A RU 2006137994A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- delivery module
- optical element
- module according
- guard
- Prior art date
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Claims (28)
1. Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе, от выхода газоразрядного лазера к входу операционного станка, использующего лазерный свет, содержащий
по меньшей мере три пути прохождения лазерного пучка, обеспечивающие по меньшей мере два изменения направления прохождения лазерного пучка,
ограждение, ограждающее пути прохождения пучка и закрывающее их от окружающей среды,
по меньшей мере два оптических элемента, осуществляющих по меньшей мере два изменения направления пути прохождения лазерного пучка,
причем по меньшей мере один из упомянутых по меньшей мере двух оптических элементов является автоматическим оптическим элементом, имеющим автоматический позиционер для выбора изменения направления лазерного светового пучка, осуществляемого автоматическим оптическим элементом,
впускное окно для лазерного света в блоке доставки, принимающее лазерный пучок с выхода лазера,
выпускное окно для лазерного света в блоке доставки, выпускающее лазерный пучок к впускному окну для света в операционном станке,
модуль анализа пучка, расположенный в блоке доставки вблизи выпускного окна для света в блоке доставки, содержащий измерительное устройство для измерения по меньшей мере одного параметра из энергии импульса пучка на каждом последовательном импульсе, наведения пучка и положения пучка и для выдачи выходного сигнала управления в лазер и автоматический оптический элемент.
2. Модуль доставки по п.1, который дополнительно содержит расширитель импульса пучка по меньшей мере на одном из путей прохождения пучка.
3. Модуль доставки по п.1, в котором по меньшей мере один из двух оптических элементов является фиксированным оптическим элементом, имеющим механизм ориентации, приводимый в действие снаружи ограждения, для выбора изменения направления лазерного пучка, осуществляемого фиксированным оптическим элементом.
4. Модуль доставки по п.3, который дополнительно содержит ограждение, включающее в себя устройство анализа пучка, содержащее мишень, и устройства направления пучка, установленные на подставке, выполненной с возможностью перемещения, вставляемой в путь прохождения лазерного пучка в целях диагностики и снимаемой с пути прохождения пучка во время нормальной эксплуатации.
5. Модуль доставки по п.4, дополнительно содержащий ограждение, выполненное с возможностью прокачки.
6. Модуль доставки по п.5, дополнительно содержащий фиксированный оптический элемент, снабженный поворотным гаечным ключом, проходящим через ограждение и герметично соединенным с ним, так что движение фиксированного оптического элемента можно осуществлять, не подвергая путь прохождения пучка внутри ограждения воздействию внешней среды.
7. Модуль доставки по п.6, дополнительно содержащий автоматический оптический элемент, который регулируется по вершине и наклону с учетом сигнала, обеспечиваемого модулем анализа пучка из группы сигналов наведения пучка и положения пучка с выхода модуля анализа пучка.
8. Модуль доставки по п.7, дополнительно содержащий ограждение, содержащее по меньшей мере два элемента заслонки, вставляемых в ограждение с любой стороны оптического элемента, чтобы удерживать уплотнение ограждения на стороне соответствующего элемента затвора на расстоянии от оптического элемента во время обслуживания или замены данного оптического элемента.
9. Модуль доставки по п.2, который дополнительно содержит ограждение, включающее в себя устройство анализа пучка, содержащее мишень, и устройства направления пучка, установленные на подставке, выполненной с возможностью перемещения, вставляемой в путь прохождения лазерного пучка в целях диагностики и снимаемой с пути прохождения пучка во время нормальной эксплуатации.
10. Модуль доставки по п.9, дополнительно содержащий ограждение, выполненное с возможностью прокачки.
11. Модуль доставки по п.10, дополнительно содержащий фиксированный оптический элемент, снабженный поворотным гаечным ключом, проходящим через ограждение и герметично соединенным с ним, так что движение фиксированного оптического элемента можно осуществлять, не подвергая путь прохождения пучка внутри ограждения воздействию внешней среды.
12. Модуль доставки по п.11, дополнительно содержащий автоматический оптический элемент, который регулируется по вершине и наклону с учетом сигнала, обеспечиваемого модулем анализа пучка из группы сигналов наведения пучка и положения пучка с выхода модуля анализа пучка.
13. Модуль доставки по п.12, дополнительно содержащий ограждение, содержащее по меньшей мере два элемента заслонки, вставляемых в ограждение с любой стороны оптического элемента, чтобы удерживать уплотнение ограждения на стороне соответствующего элемента затвора на расстоянии от оптического элемента во время обслуживания или замены данного оптического элемента.
14. Модуль доставки по п.1, в котором по меньшей мере один из упомянутых по меньшей мере двух оптических элементов является фиксированным оптическим элементом, имеющим механизм ориентации, приводимый в действие снаружи ограждения, для выбора изменения направления лазерного пучка, осуществляемого фиксированным оптическим элементом.
15. Модуль доставки по п.14, который дополнительно содержит ограждение, включающее в себя устройство анализа пучка, содержащее мишень, и устройства направления пучка, установленные на подставке, выполненной с возможностью перемещения, вставляемой в путь прохождения лазерного пучка в целях диагностики и снимаемой с пути прохождения пучка во время нормальной эксплуатации.
16. Модуль доставки по п.15, дополнительно содержащий ограждение, выполненное с возможностью прокачки.
17. Модуль доставки по п.16, дополнительно содержащий фиксированный оптический элемент, снабженный поворотным гаечным ключом, проходящим через ограждение и герметично соединенным с ним, так что движение фиксированного оптического элемента можно осуществлять, не подвергая путь прохождения пучка внутри ограждения воздействию внешней среды.
18. Модуль доставки по п.17, дополнительно содержащий автоматический оптический элемент, который регулируется по вершине и наклону с учетом сигнала, обеспечиваемого модулем анализа пучка из группы сигналов наведения пучка и положения пучка с выхода модуля анализа пучка.
19. Модуль доставки по п.18, дополнительно содержащий ограждение, содержащее по меньшей мере два элемента заслонки, вставляемых в ограждение с любой стороны оптического элемента, чтобы удерживать уплотнение ограждения на стороне соответствующего элемента затвора на расстоянии от оптического элемента во время обслуживания или замены данного оптического элемента.
20. Модуль доставки по п.1, который дополнительно содержит ограждение, включающее в себя устройство анализа пучка, содержащее мишень, и устройства направления пучка, установленные на подставке, выполненной с возможностью перемещения, вставляемой в путь прохождения лазерного пучка в целях диагностики и снимаемой с пути прохождения пучка во время нормальной эксплуатации.
21. Модуль доставки по п.20, дополнительно содержащий ограждение, выполненное с возможностью прокачки.
22. Модуль доставки по п.21, дополнительно содержащий фиксированный оптический элемент, снабженный поворотным гаечным ключом, проходящим через ограждение и герметично соединенным с ним, так что движение фиксированного оптического элемента можно осуществлять, не подвергая путь прохождения пучка внутри ограждения воздействию внешней среды.
23. Модуль доставки по п.22, дополнительно содержащий автоматический оптический элемент, который регулируется по вершине и наклону с учетом сигнала, обеспечиваемого модулем анализа пучка из группы сигналов наведения пучка и положения пучка с выхода модуля анализа пучка.
24. Модуль доставки по п.23, дополнительно содержащий ограждение, содержащее по меньшей мере два элемента заслонки, вставляемых в ограждение с любой стороны оптического элемента, чтобы удерживать уплотнение ограждения на стороне соответствующего элемента затвора на расстоянии от оптического элемента во время обслуживания или замены данного оптического элемента.
25. Модуль доставки по п.1, который дополнительно содержит
расширитель импульса пучка по меньшей мере на одном из трех путей прохождения пучка, содержащий
расщепитель пучка по меньшей мере на одном из трех путей прохождения пучка, проходящих на выбранный процент х% лазерного пучка вдоль оси прохождения пучка по меньшей мере одного из трех путей прохождения пучка и отражающих (100-х)% в путь оптической задержки пучка,
оптическое средство задержки пучка, возвращающее пучок в расщепитель пучка в качестве первого задержанного пучка,
при этом расщепитель пучка отражает (100-х)% первого задержанного пучка вдоль оси прохождения пучка и пропускает х% первого задержанного пучка в путь оптической задержки в качестве второго задержанного пучка.
26. Модуль доставки по п.25, который дополнительно содержит путь оптической задержки, содержащий по меньшей мере одну фокусирующую оптическую систему на пути оптической задержки.
27. Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе, от выхода газоразрядного лазера к входу операционного станка, использующего лазерный свет, содержащий
блок доставки пучка, содержащий структуру ограждения пути прохождения пучка, создающую путь прохождения лазерного выходного светового импульсного пучка от выходного окна для лазерного пучка, расположенного на лазере, к удаленному выходному окну для лазерного пучка на конце блока доставки пучка,
блок ограждения пути прохождения пучка, имеющий по меньшей мере одну первую переходную секцию для пучка, ориентированную в направлении выходного лазерного светового импульсного пучка, входящего в упомянутую по меньшей мере одну первую переходную секцию для пучка, и по меньшей мере одну вторую переходную секцию для пучка, ориентированную в направлении, отличном от направления по меньшей мере одной первой переходной секции для пучка, с образованием соединения по меньшей мере одной первой переходной секции для пучка и по меньшей мере одной второй переходной секции для пучка,
первую поворотную оптическую систему, расположенную на соединении и позиционированную под углом к выходному лазерному световому импульсному пучку, проходящему через по меньшей мере одну первую переходную секцию, создающую первый перенаправленный лазерный выходной световой импульсный пучок, проходящий через по меньшей мере одну вторую переходную секцию для пучка,
вторую поворотную оптическую систему, расположенную на конце по меньшей мере одной второй переходной секции для пучка и позиционированную для перенаправления первого перенаправленного лазерного выходного светового импульсного пучка, проходящего через по меньшей мере одну вторую переходную секцию, создающую второй перенаправленный лазерный выходной световой импульсный пучок, проходящий через по меньшей мере одну вторую переходную секцию,
причем по меньшей мере одна из первой и второй поворотных оптических систем является автоматической поворотной оптической системой, имеющей автоматический позиционер для выбора изменения направления лазерного выходного светового импульсного пучка, падающего на автоматическую поворотную оптическую систему,
входное окно модуля доставки для лазерного выходного светового импульсного пучка, принимающее лазерный выходной световой импульсный пучок из лазера,
выходное окно модуля доставки для лазерного выходного светового импульсного пучка, выпускающее лазерный выходной световой импульсный пучок во входное окно для света в операционном станке,
модуль анализа пучка, расположенный в модуле доставки близко к выходному окну, вмещающий измерительное устройство для измерения по меньшей мере одного параметра, характеризующего энергию импульса для каждого последовательного импульса и направления пучка, и для выдачи выходного управляющего сигнала в лазер и в автоматическую поворотную оптическую систему.
28. Модуль доставки по п.27, который дополнительно содержит расширитель импульса в модуле доставки.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006137994/28A RU2006137994A (ru) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе (варианты) |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2006137994/28A RU2006137994A (ru) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе (варианты) |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2006137994A true RU2006137994A (ru) | 2008-05-10 |
Family
ID=39799525
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2006137994/28A RU2006137994A (ru) | 2006-10-27 | 2006-10-27 | Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе (варианты) |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2006137994A (ru) |
-
2006
- 2006-10-27 RU RU2006137994/28A patent/RU2006137994A/ru not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10337841B2 (en) | Directed energy weapon | |
US9273998B2 (en) | Analyser | |
KR102548316B1 (ko) | 광학 아이솔레이션 모듈 | |
KR20120092706A (ko) | 극자외선 광원용 빔 트랜스포트 시스템 | |
KR100769849B1 (ko) | 빔 프로파일 모듈 | |
JP2016010679A5 (ru) | ||
ATE475868T1 (de) | Coriolis-massendurchflussmesser | |
JP6824412B2 (ja) | バイパス光スイッチ及び方法 | |
JP2012514755A5 (ru) | ||
JP5576399B2 (ja) | ボイラの内部空間における燃焼特性をモニタするモニタ方法及びモニタ装置 | |
JP2006281268A5 (ru) | ||
CN110405338A (zh) | 一种激光光路系统及双头激光打标机 | |
US6836329B1 (en) | Real time IR optical sensor | |
RU2006137994A (ru) | Модуль доставки для доставки лазерного пучка, используемого в производственном процессе (варианты) | |
US7764424B2 (en) | Light source apparatus and microscope apparatus | |
JP6339644B2 (ja) | ビーム分配器 | |
JP2002228582A (ja) | ガス検出装置 | |
WO2021117851A1 (ja) | レーザ装置 | |
KR102204156B1 (ko) | 챔버형 내경면 레이저 용접 장치 | |
RU2010139800A (ru) | Способ и устройство для спектрометрического измерения движущегося в продольном направлении материала | |
CN110687034A (zh) | 流式细胞仪的激光照射系统及流式细胞仪 | |
JP2021097073A (ja) | レーザ発振器 | |
JP4835701B2 (ja) | ウェハ検出用センサ | |
KR102537596B1 (ko) | 레이저 장치 및 그 작동 방법 | |
RU2004109146A (ru) | Лазерный литографический источник света с доставкой пучка |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20091028 |