RU2006111487A - Способы формирования волноводов и волноводы, изготовленные по указанным способам - Google Patents

Способы формирования волноводов и волноводы, изготовленные по указанным способам Download PDF

Info

Publication number
RU2006111487A
RU2006111487A RU2006111487/28A RU2006111487A RU2006111487A RU 2006111487 A RU2006111487 A RU 2006111487A RU 2006111487/28 A RU2006111487/28 A RU 2006111487/28A RU 2006111487 A RU2006111487 A RU 2006111487A RU 2006111487 A RU2006111487 A RU 2006111487A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
optical elements
optical
copolymer material
small ball
waveguide
Prior art date
Application number
RU2006111487/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Кунг-Ли ДЭН (US)
Кунг-Ли ДЭН
Томас Берт ГОРЧИКА (US)
Томас Берт ГОРЧИКА
Ренато ГВИДА (US)
Ренато ГВИДА
Мэтью Кристиан НИЛЬСЕН (US)
Мэтью Кристиан НИЛЬСЕН
Мин-И ШИХ (US)
Мин-И ШИХ
Тодд Райан ТОЛЛИВЕР (US)
Тодд Райан ТОЛЛИВЕР
Original Assignee
Дженерал Электрик Компани (US)
Дженерал Электрик Компани
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US10/659,464 external-priority patent/US20050053346A1/en
Application filed by Дженерал Электрик Компани (US), Дженерал Электрик Компани filed Critical Дженерал Электрик Компани (US)
Publication of RU2006111487A publication Critical patent/RU2006111487A/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
    • G02B6/138—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/125—Bends, branchings or intersections
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4212—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element being a coupling medium interposed therebetween, e.g. epoxy resin, refractive index matching material, index grease, matching liquid or gel
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12166—Manufacturing methods
    • G02B2006/12173—Masking
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G02B6/305—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4228—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
    • G02B6/423—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Claims (18)

1. Способ формирования волновода (16), содержащий осаждение фоточувствительного сополимерного материала (14), содержащего метилметакрилат, тетрафторпропилметакрилат и эпоксидный мономер, поверх подложки (18); фиксацию оптических элементов (10, 12) относительно фоточувствительного сополимерного материала; направление света через по меньшей мере один из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направлении к другому из оптических элементов; и улетучивание неотвержденного мономера из фоточувствительного сополимерного материала с формированием волновода.
2. Способ по п.1, в котором направление света включает управление интенсивностью света, для обеспечения порогового условия немного выше для улетучивания фоточувствительного сополимерного материала.
3. Способ по п.2, в котором этап направления света и улетучивания неотвержденного мономера осуществляются последовательно по меньшей мере дважды, причем каждое последующее действие приводит к удлинению волновода.
4. Способ по п.1, в котором направление света через по меньшей мере один из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направление к другому из оптических элементов включает направление света через каждый из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направлении к другому из оптических элементов.
5. Способ формирования и применения волновода (616), содержащий осаждение фоточувствительного сополимерного материала (14) поверх подложки (18); фиксацию оптических элементов (220, 10) относительно фоточувствительного сополимерного материала, причем по меньшей мере один из оптических элементов (220) содержит расщепитель (26); направление света через по меньшей мере один из оптических элементов и фоточувствительный сополимерный материал в направлении к другому из оптических элементов, причем направление включает подачу света через по меньшей мере один из оптических элементов через первый путь (28) расщепителя; улетучивание неотвержденного мономера из фоточувствительного сополимерного материала с формированием волновода; и применение волновода путем пропускания оптического сигнала через второй путь (21) расщепителя.
6. Способ формирования волновода (116), содержащий фиксацию оптических элементов (110, 112) относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (11, 13); обеспечение маленького шарика (114) на по меньшей мере части оптических поверхностей оптических элементов, причем маленький шарик содержит фоточувствительный сополимерный материал, что приводит к достаточному поверхностному натяжению относительно оптических поверхностей, чтобы получить шарик с криволинейной поверхностью (15); направление света через каждый из оптических элементов и маленький шарик в направлении к криволинейной поверхности и другому из оптических элементов, причем угол падения между одним из оптических элементов и искривленной поверхностью больше, чем величина условия полного внутреннего отражения, определяемого разностью показателей преломления между маленьким шариком и воздухом, окружающим маленький шарик; и улетучивание неотвержденного мономера из маленького шарика с формированием волновода.
7. Способ по п.6, кроме того включающий, после улетучивания, осаждение слоя (230, усиливающего отражение, поверх по меньшей мере части криволинейной поверхности маленького шарика.
8. Способ по п.6 включающий, кроме того, до обеспечения маленького шарика, обработку оптических поверхностей для подгонки шероховатости поверхности.
9. Способ по п.8, в котором обработка включает полировку.
10. Способ по п.8, в котором обработка включает нанесение слоя (17) покрытия до обеспечения маленького шарика.
11. Способ по п.6, в котором маленький шарик содержит метилметакрилат, тетрафторпропилметакрилат и эпоксидный мономер.
12. Способ формирования волновода (216), содержащий фиксацию оптических элементов (70, 76) относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); юстировку зеркала (78), чтобы направить свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов; обеспечение фоточувствительного сополимерного материала (80) между оптическими поверхностями и зеркалом; направление света через по меньшей мере один из оптических элементов в направлении к другому из оптических элементов; и улетучивание неотвержденного мономера из фоточувствительного сополимерного материала с формированием волновода.
13. Способ формирования оптического тракта, содержащий фиксацию оптических элементов (70, 76) относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); перемещение и вращение зеркала (78) до тех пор, пока зеркало не будет съюстировано так, чтобы оптимально направлять свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов; и закрепление съюстированного зеркала в этом положении.
14. Способ по п.13, в котором фиксация оптических элементов включает фиксацию оптических элементов так, чтобы оптические поверхности были по существу ортогональны; причем фиксация включает позиционирование одного оптического элемента поверх горизонтальной поверхности подложки и позиционирование другого оптического элемента в вертикальном отверстии подложки; и содержащий, кроме того, обеспечение подложки, содержащей на себе диэлектрический слой, причем в диэлектрическом слое имеется канавка с по меньшей мере одной концевой частью, расположенной поверх вертикального отверстия, причем зеркало размещено на волокне, и причем перемещение включает движение волокна вдоль канавки, а вращение включает вращение волокна в пределах канавки.
15. Способ по п.14, в котором закрепление содержит размещение оптического материала (80) между оптическими поверхностями и зеркалом, отверждение материала и затем удаление оптического зеркала.
16. Волновод (116), содержащий маленький шарик (114) поверх оптических поверхностей (11, 13) оптических элементов (110, 112), неподвижных относительно друг друга, причем маленький шарик содержит предварительно отвержденный сополимерный материал, имеющий достаточное поверхностное натяжение относительно оптических поверхностей, для формирования криволинейной поверхности (15), причем центральная часть маленького шарика содержит материал, имеющий более высокий показатель преломления, чем другая часть маленького шарика, формируя тракт в отраженном свете между оптическими поверхностями.
17. Волновод (216), содержащий оптические элементы (70, 76), зафиксированные относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); зеркало (78), съюстированное так, чтобы направлять свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов; фоточувствительный сополимерный материал (80) между оптическими поверхностями и зеркалом, причем центральная часть фоточувствительного сополимерного материала содержит материал с более высоким показателем преломления, чем другая часть фоточувствительного сополимерного материала, образуя тракт в отраженном свете между оптическими поверхностями.
18. Оптический тракт, содержащий оптические элементы (70, 76), зафиксированные относительно друг друга, причем каждый имеет оптическую поверхность (71, 77); и зеркало (78), расположенное на волокне и съюстированное так, чтобы оптимально направлять свет от одного из оптических элементов к другому из оптических элементов.
RU2006111487/28A 2003-09-09 2004-08-05 Способы формирования волноводов и волноводы, изготовленные по указанным способам RU2006111487A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/659,464 2003-09-09
US10/659,464 US20050053346A1 (en) 2003-09-09 2003-09-09 Index contrast enhanced optical waveguides and fabrication methods
PCT/US2004/025261 WO2005040052A2 (en) 2003-09-09 2004-08-05 Waveguide forming methods and waveguides fabricated therefrom

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2006111487A true RU2006111487A (ru) 2006-08-27

Family

ID=38325504

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006111487/28A RU2006111487A (ru) 2003-09-09 2004-08-05 Способы формирования волноводов и волноводы, изготовленные по указанным способам

Country Status (10)

Country Link
EP (3) EP1835318A1 (ru)
JP (1) JP2007505355A (ru)
KR (1) KR20060123723A (ru)
CN (1) CN1875304A (ru)
AU (1) AU2004283172A1 (ru)
BR (1) BRPI0413952A (ru)
CA (1) CA2538699A1 (ru)
MX (1) MXPA06002745A (ru)
RU (1) RU2006111487A (ru)
WO (1) WO2005040052A2 (ru)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7541391B2 (en) 2005-09-02 2009-06-02 General Electric Company Self-forming polymer waveguide and waveguide material with reduced shrinkage
GB0612142D0 (en) 2006-06-20 2006-08-02 Secr Defence Spreading modulation spectrum control
JP4791409B2 (ja) * 2007-05-01 2011-10-12 日東電工株式会社 光導波路の製造方法
CN105264415A (zh) * 2013-04-02 2016-01-20 泰科电子瑞侃有限公司 用于光纤连接器的自写入波导及相关方法
US9939578B2 (en) * 2013-05-10 2018-04-10 Intel Corporation Low cost integration of optical components in planar lightwave circuits
CN105359017B (zh) * 2014-01-29 2017-12-15 华为技术有限公司 激光器和光纤的耦合装置、光信号传输系统和传输方法
US10788632B2 (en) 2019-01-29 2020-09-29 Google Llc Device and method for coupling laser to a photonic integrated circuit
JP7279797B2 (ja) * 2019-08-16 2023-05-23 日本電信電話株式会社 光接続構造
WO2021199377A1 (ja) * 2020-04-01 2021-10-07 日本電信電話株式会社 光接続素子、光素子、及び光素子の製造方法
WO2022248037A1 (en) * 2021-05-26 2022-12-01 Stichting Vu Waveguide
WO2022264329A1 (ja) * 2021-06-16 2022-12-22 日本電信電話株式会社 光接続構造およびその製造方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3809732A (en) * 1972-12-18 1974-05-07 Bell Telephone Labor Inc Photo-locking technique for producing integrated optical circuits
FR2295436A1 (fr) * 1974-12-16 1976-07-16 Radiotechnique Compelec Dispositif coupleur directif pour fibres optiques multimodes
DE3543558C2 (de) * 1985-12-10 1996-09-19 Licentia Gmbh Opto-elektrische Koppelanordnung
EP0689067A3 (en) * 1994-06-22 1997-04-09 Fujitsu Ltd Manufacturing process for an optical waveguide system, optical component and optical coupler with its use, optical network and optical circuit board
US6191224B1 (en) * 1998-08-25 2001-02-20 Molecular Optoelectronics Corporation Dispersion-controlled polymers for broadband fiber optic devices

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060123723A (ko) 2006-12-04
CN1875304A (zh) 2006-12-06
AU2004283172A1 (en) 2005-05-06
WO2005040052A3 (en) 2005-11-24
CA2538699A1 (en) 2005-05-06
WO2005040052A2 (en) 2005-05-06
MXPA06002745A (es) 2006-06-05
JP2007505355A (ja) 2007-03-08
BRPI0413952A (pt) 2006-10-31
EP1835318A1 (en) 2007-09-19
EP1835315A1 (en) 2007-09-19
EP1664872A2 (en) 2006-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8422836B2 (en) Printed circuit board element and method for producing the same
RU2006111487A (ru) Способы формирования волноводов и волноводы, изготовленные по указанным способам
KR100283075B1 (ko) 수동정렬법을 이용한 광소자-플라나 광파회로-광섬유의 광축 정렬방법
US3932184A (en) Fabrication of microlenses
KR100976671B1 (ko) 광도파로의 제조 방법
US20020110639A1 (en) Epoxy coating for optical surfaces
JPH10300961A (ja) 光路変換素子と、その作製方法、および光路変換素子作製用のブレード
KR19990044014A (ko) 구조면 광 추출 오버레이 및 조명 시스템
Yoshimura et al. Polymeric optical waveguide films with 45 mirrors formed with a 90 V-shaped diamond blade
US20070227193A1 (en) Process for producing optical waveguide
JP2005275405A5 (ru)
US8236374B2 (en) Method of manufacturing optical waveguide device
WO2009131231A1 (en) Method for manufacturing optical waveguide having inclined end surface
JP2002506227A (ja) ポリマ導波管に鏡を製造する方法
EP1225459A3 (en) Surface smoothing by spin coating technique for an opto-electronic component
JP4061640B2 (ja) 傾斜したコア端面を有するポリマー光導波路デバイスの製造方法
JP2007178794A (ja) 光導波路装置及び光導波路装置の製造方法
JPH09146023A (ja) 光記録装置
US20060029345A1 (en) Method of processing optical fiber
JP2004133103A (ja) 高分子光導波路及びその作製方法
JPH10325917A (ja) 光受信装置とその製造方法
JP2007041122A (ja) ポリマ光導波路の製造方法及びポリマ光導波路、並びにそれを用いた光モジュール
JPH10221547A (ja) レンズ付き光ファイバおよびその製造方法
US11953737B2 (en) Systems and methods for coupling light
JP2008083197A (ja) 光導波路の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20090731