RU2005129947A - Электрооптическое измерение гистерезиса в интерферометрических модуляторах - Google Patents
Электрооптическое измерение гистерезиса в интерферометрических модуляторах Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005129947A RU2005129947A RU2005129947/28A RU2005129947A RU2005129947A RU 2005129947 A RU2005129947 A RU 2005129947A RU 2005129947/28 A RU2005129947/28 A RU 2005129947/28A RU 2005129947 A RU2005129947 A RU 2005129947A RU 2005129947 A RU2005129947 A RU 2005129947A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- interferometric modulators
- voltage
- interferometric
- modulators
- testing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/12—Measuring magnetic properties of articles or specimens of solids or fluids
- G01R33/14—Measuring or plotting hysteresis curves
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Claims (47)
1. Способ тестирования множества интерферометрических модуляторов, содержащий приложение сигнала напряжения треугольной формы к интерферометрическим модуляторам; и детектирование светоотражающей способности интерферометрических модуляторов.
2. Способ по п.1, в котором этап приложения сигнала треугольной формы вызывает переход интерферометрических модуляторов между активированным и деактивированным состояниями.
3. Способ по п.1, в котором сигнал треугольной формы имеет частоту меньше, чем примерно 20 Гц.
4. Способ по п.3, в котором сигнал треугольной формы имеет частоту от примерно 1 Гц до примерно 15 Гц.
5. Способ по п.1, в котором амплитуда сигнала треугольной формы больше, чем напряжение, необходимое, чтобы вызвать соответствующее положительное или отрицательное активирование интерферометрических модуляторов.
6. Способ по п.5, в котором амплитуда сигнала треугольной формы примерно в 1,5 раза меньше, чем напряжение, необходимое чтобы вызвать соответствующее положительное или отрицательное активирование интерферометрических модуляторов.
7. Способ по п.1, в котором сигнал напряжения треугольной формы одновременно приложен ко всем интерферометрическим модуляторам в отражательном дисплее.
8. Способ по п.1, в котором этап детектирования включает в себя детектирование отражающей способности не ото всех интерферометрических модуляторов в отражательном дисплее.
9. Способ по п.1, в котором этап детектирования включает в себя измерение отражающей способности фотодетектором.
10. Способ по п.1, в котором этап детектирования включает в себя измерение отражающей способности через светорассеиватель, размещенный перед интерферометрическими модуляторами.
11. Способ по п.1, в котором этап детектирования включает в себя измерение отражающей способности под углом, который по существу является перпендикулярным к интерферометрическим модуляторам.
12. Способ определения электрических параметров для управления множеством интерферометрических модуляторов, содержащий приложение изменяющихся во времени стимулов напряжения к интерферометрическим модуляторам; детектирование светоотражающей способности интерферометрических модуляторов; и определение одного или нескольких электрических параметров из указанной светоотражающей способности в ответ на указанные изменяющиеся во времени стимулы, причем электрические параметры соответствуют электрическим параметрам, достаточным, чтобы вызвать изменение в состоянии интерферометрических модуляторов.
13. Способ по п.12, в котором этап определения включает в себя определение напряжения, необходимого, чтобы вызвать переход интерферометрических модуляторов из деактивированного в активированное состояние.
14. Способ по п.12, в котором этап определения включает в себя определение напряжения, необходимого, чтобы вызвать переход интерферометрических модуляторов из активированного в деактивированное состояние.
15. Способ по п.12, в котором этап определения включает в себя определение амплитуды напряжения смещения в интерферометрических модуляторах.
16. Способ по п.12, в котором этап определения включает в себя определение амплитуды напряжения сдвига в интерферометрических модуляторах.
17. Способ по п.12, в котором этап определения включает в себя определение амплитуды окна памяти в интерферометрических модуляторах.
18. Способ по п.12, в котором этап определения включает в себя нормализацию отражающей способности для одного или нескольких предварительно определенных значений; и определение потенциалов, при которых нормализованная отражающая способность пересекает ноль.
19. Способ тестирования множества структур интерферометрических модуляторов, содержащий приложение изменяющихся во времени сигналов напряжения к интерферометрическим модуляторам; детектирование светоотражающей способности интерферометрических модуляторов; определение светоотражающей способности как функции напряжения; и идентификацию множества интерферометрических модуляторов как имеющих достаточное качество для использования в дисплее, исходя из указанного определения.
20. Способ по п.19, дополнительно содержащий идентификацию интерферометрических модуляторов как имеющих достаточное качество для использования в дисплее, если указанная светоотражающая способность, как функция напряжения, демонстрирует заданные характеристики гистерезиса.
21. Способ по п.19, в котором интерферометрические модуляторы идентифицируют как имеющие достаточное качество для использования в дисплее, если указанная отражающая способность света, как функция напряжения, указывает амплитуду окна памяти интерферометрических модуляторов, находящуюся внутри заданного порогового окна.
22. Способ по п.19, в котором интерферометрические модуляторы идентифицируют как имеющие достаточное качество для использования в дисплее, если указанная отражающая способность света, как функция напряжения, указывает амплитуду напряжения смещения интерферометрических модуляторов, находящуюся внутри заданного порогового окна.
23. Система тестирования множества интерферометрических модуляторов, содержащая источник освещения, выполненный с возможностью обеспечения падающего света на множество интерферометрических модуляторов; источник напряжения, выполненный с возможностью приложения достаточного напряжения к интерферометрическим модуляторам таким образом, чтобы изменить их состояние; и оптический детектор, выполненный с возможностью детектирования света, отраженного от множества интерферометрических модуляторов.
24. Система по п.23, в которой источник освещения обеспечивает падающий свет под углом, который по существу является перпендикулярным к интерферометрическим модуляторам.
25. Система по п.23, в которой источник напряжения электрически соединен одновременно со всеми интерферометрическими модуляторами в отражательном дисплее.
26. Система по п.23, в которой источник напряжения выполнен с возможностью приложения изменяющегося во времени напряжения.
27. Система по п.26, в которой источник напряжения выполнен с возможностью приложения сигнала напряжения треугольной формы.
28. Система по п.23, в которой оптический детектор представляет собой фотодетектор.
29. Система по п.23, в которой оптический детектор выполнен с возможностью детектирования света не ото всех интерферометрических модуляторов в отражательном дисплее.
30. Система по п.23, в которой оптический детектор выполнен с возможностью детектирования света под углом, который по существу является перпендикулярным к интерферометрическим модуляторам.
31. Система по п.23, в которой оптический детектор выполнен с возможностью детектирования света через светорассеиватель.
32. Система по п.23, дополнительно включающая в себя фильтр, размещенный перед оптическим детектором.
33. Способ тестирования множества интерферометрических модуляторов, содержащий приложение изменяющегося во времени сигнала напряжения к интерферометрическим модуляторам; детектирование светоотражающей способности интерферометрических модуляторов; повторение указанных этапов приложения и детектирования один или несколько раз; усреднение, по меньшей мере, части детектированной отражающей способности; и определение одного или нескольких электрических параметров из указанной усредненной отражающей способности.
34. Способ тестирования цветного дисплея с интерферометрической модуляцией, причем дисплей содержит множество типов подпикселей, при этом каждый тип подпикселей соответствует отдельному цвету, содержащий приложение изменяющегося во времени сигнала напряжения к одному типу подпикселей; детектирование светоотражающей способности указанного типа подпикселей; определение одного или нескольких электрических параметров из указанного детектирования; и повторение указанных этапов приложения, детектирования и определения для другого типа подпикселей.
35. Система для тестирования множества интерферометрических модуляторов, содержащая средство для приложения изменяющегося во времени сигнала напряжения к интерферометрическим модуляторам; средство для детектирования светоотражающей способности интерферометрических модуляторов; средство для определения одного или нескольких параметров, исходя из указанной детектированной отражающей способности.
36. Система по п.35, в которой средство для приложения изменяющегося во времени сигнала напряжения представляет собой источник питания.
37. Система по п.35, в которой средство для детектирования отражающей способности представляет собой фотодетектор.
38. Система по п.35, в которой средство для определения одного или нескольких параметров представляет собой компьютер.
39. Способ производства системы тестирования множества интерферометрических модуляторов, содержащий модификацию источника освещения таким образом, чтобы он был выполнен с возможностью предоставления падающего света на множество интерферометрических модуляторов, предназначенных для тестирования; модификацию источника питания таким образом, чтобы он был выполнен с возможностью приложения достаточного напряжения к интерферометрическим модуляторам, предназначенным для тестирования, таким образом, чтобы изменялось их состояние; модификацию оптического детектора таким образом, чтобы он был выполнен с возможностью детектирования света, отраженного от множества интерферометрических модуляторов.
40. Способ по п.39, дополнительно содержащий модификацию источника освещения таким образом, чтобы он был выполнен с возможностью предоставления падающего света под углом, который по существу является перпендикулярным к интерферометрическим модуляторам, предназначенным для тестирования.
41. Способ по п.39, дополнительно содержащий модификацию источника питания таким образом, чтобы он был выполнен с возможностью одновременного электрического соединения со всеми интерферометрическими модуляторами, предназначенными для тестирования в отражательном дисплее.
42. Способ по п.39, дополнительно содержащий модификацию источника питания, таким образом, чтобы он был выполнен с возможностью приложения изменяющегося во времени сигнала напряжения.
43. Интерферометрический модулятор, протестированный способом, содержащим приложение сигнала напряжения треугольной формы к интерферометрическим модуляторам; и детектирование светоотражающей способности интерферометрических модуляторов.
44. Интерферометрический модулятор по п.43, в котором приложение сигнала напряжения треугольной формы вызывает переход интерферометрических модуляторов между активированным и деактивированным состояниями.
45. Интерферометрический модулятор по п.43, в котором сигнал напряжения треугольной формы одновременно приложен ко всем интерферометрическим модуляторам в отражательном дисплее.
46. Интерферометрический модулятор по п.43, в котором детектирование отражающей способности содержит измерение фотодетектором.
47. Интерферометрический модулятор по п.43, в котором этап детектирования включает в себя измерение отражающей способности под углом, который по существу является перпендикулярным к интерферометрическим модуляторам.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US61353704P | 2004-09-27 | 2004-09-27 | |
US60/613,537 | 2004-09-27 | ||
US11/073,295 US7359066B2 (en) | 2004-09-27 | 2005-03-04 | Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators |
US11/073,295 | 2005-03-04 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2005129947A true RU2005129947A (ru) | 2007-04-10 |
Family
ID=35447559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2005129947/28A RU2005129947A (ru) | 2004-09-27 | 2005-09-26 | Электрооптическое измерение гистерезиса в интерферометрических модуляторах |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7359066B2 (ru) |
EP (1) | EP1640769A1 (ru) |
JP (1) | JP2006098391A (ru) |
KR (1) | KR20060092870A (ru) |
AU (1) | AU2005203320A1 (ru) |
BR (1) | BRPI0503891A (ru) |
CA (1) | CA2514344A1 (ru) |
MX (1) | MXPA05010241A (ru) |
RU (1) | RU2005129947A (ru) |
SG (2) | SG121044A1 (ru) |
TW (1) | TW200619130A (ru) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI289708B (en) | 2002-12-25 | 2007-11-11 | Qualcomm Mems Technologies Inc | Optical interference type color display |
US7342705B2 (en) | 2004-02-03 | 2008-03-11 | Idc, Llc | Spatial light modulator with integrated optical compensation structure |
US7359066B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-04-15 | Idc, Llc | Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators |
US7289256B2 (en) | 2004-09-27 | 2007-10-30 | Idc, Llc | Electrical characterization of interferometric modulators |
US20070080695A1 (en) * | 2005-10-11 | 2007-04-12 | Morrell Gary A | Testing system and method for a MEMS sensor |
US8194056B2 (en) * | 2006-02-09 | 2012-06-05 | Qualcomm Mems Technologies Inc. | Method and system for writing data to MEMS display elements |
US7582952B2 (en) * | 2006-02-21 | 2009-09-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method for providing and removing discharging interconnect for chip-on-glass output leads and structures thereof |
US7388704B2 (en) * | 2006-06-30 | 2008-06-17 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Determination of interferometric modulator mirror curvature and airgap variation using digital photographs |
KR101628340B1 (ko) | 2006-10-06 | 2016-06-08 | 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. | 디스플레이 장치 및 디스플레이의 형성 방법 |
EP1943551A2 (en) | 2006-10-06 | 2008-07-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Light guide |
US7545556B2 (en) * | 2006-12-21 | 2009-06-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and apparatus for measuring the force of stiction of a membrane in a MEMS device |
US8111262B2 (en) * | 2007-05-18 | 2012-02-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator displays with reduced color sensitivity |
US8068710B2 (en) * | 2007-12-07 | 2011-11-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Decoupled holographic film and diffuser |
JP2011516903A (ja) * | 2008-02-11 | 2011-05-26 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 表示駆動機構と統合された表示要素の検知、測定、または特性評価のための方法および装置、ならびにそれを使用するシステムおよび応用 |
US8258800B2 (en) * | 2008-02-11 | 2012-09-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for measurement and characterization of interferometric modulators |
US20090201282A1 (en) * | 2008-02-11 | 2009-08-13 | Qualcomm Mems Technologies, Inc | Methods of tuning interferometric modulator displays |
EP2252899A2 (en) * | 2008-02-11 | 2010-11-24 | QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. | Methods for measurement and characterization of interferometric modulators |
WO2009102581A1 (en) * | 2008-02-11 | 2009-08-20 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Impedance sensing to determine pixel state in a passively addressed display array |
DE102009011421B3 (de) * | 2009-03-03 | 2010-04-15 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Gaskonzentrationsmessvorrichtung |
JP5310529B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2013-10-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 板状部材の揺動装置 |
WO2011130718A2 (en) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Flex Lighting Ii, Llc | Front illumination device comprising a film-based lightguide |
MX2012012033A (es) | 2010-04-16 | 2013-05-20 | Flex Lighting Ii Llc | Dispositivo de iluminacion que comprende una guia de luz a base de pelicula. |
US8693004B2 (en) * | 2010-07-02 | 2014-04-08 | Sandia Corporation | Dual-etalon cavity ring-down frequency-comb spectroscopy with broad band light source |
US8780104B2 (en) * | 2011-03-15 | 2014-07-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | System and method of updating drive scheme voltages |
US8836681B2 (en) * | 2011-10-21 | 2014-09-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for reducing effect of polarity inversion in driving display |
US9181086B1 (en) | 2012-10-01 | 2015-11-10 | The Research Foundation For The State University Of New York | Hinged MEMS diaphragm and method of manufacture therof |
CN107884005B (zh) * | 2017-10-20 | 2019-06-21 | 东南大学 | 一种模拟人眼对光环境感知的光学测量系统与测量方法 |
KR102610914B1 (ko) * | 2023-02-20 | 2023-12-07 | 델타인덱스주식회사 | 히스테리시스 곡선으로부터 테스트 시나리오 자동 생성 방법 |
Family Cites Families (171)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6347009B1 (en) * | 1997-08-06 | 2002-02-12 | Nikon Corporation | Illuminating light selection device for a microscope |
US2534846A (en) | 1946-06-20 | 1950-12-19 | Emi Ltd | Color filter |
DE1288651B (de) | 1963-06-28 | 1969-02-06 | Siemens Ag | Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung |
FR1603131A (ru) | 1968-07-05 | 1971-03-22 | ||
US3813265A (en) | 1970-02-16 | 1974-05-28 | A Marks | Electro-optical dipolar material |
US3653741A (en) | 1970-02-16 | 1972-04-04 | Alvin M Marks | Electro-optical dipolar material |
DE2306091C3 (de) * | 1973-02-08 | 1975-10-30 | Hewlett-Packard Gmbh, 7030 Boeblingen | Interferenz-Refraktometer |
DE2336930A1 (de) | 1973-07-20 | 1975-02-06 | Battelle Institut E V | Infrarot-modulator (ii.) |
US3899295A (en) | 1973-11-23 | 1975-08-12 | Bio Medical Sciences Inc | Integrity indicator |
JPS5110798A (ru) | 1974-07-17 | 1976-01-28 | Citizen Watch Co Ltd | |
US4099854A (en) | 1976-10-12 | 1978-07-11 | The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption |
US4389096A (en) | 1977-12-27 | 1983-06-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Image display apparatus of liquid crystal valve projection type |
US4445050A (en) | 1981-12-15 | 1984-04-24 | Marks Alvin M | Device for conversion of light power to electric power |
US4663083A (en) | 1978-05-26 | 1987-05-05 | Marks Alvin M | Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics |
US4224565A (en) | 1978-06-05 | 1980-09-23 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Moisture level determination in sealed packages |
US4228437A (en) | 1979-06-26 | 1980-10-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror |
NL8001281A (nl) | 1980-03-04 | 1981-10-01 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4377324A (en) | 1980-08-04 | 1983-03-22 | Honeywell Inc. | Graded index Fabry-Perot optical filter device |
US4441791A (en) | 1980-09-02 | 1984-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror light modulator |
FR2506026A1 (fr) | 1981-05-18 | 1982-11-19 | Radant Etudes | Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence |
NL8103377A (nl) | 1981-07-16 | 1983-02-16 | Philips Nv | Weergeefinrichting. |
US4571603A (en) | 1981-11-03 | 1986-02-18 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror electrostatic printer |
NL8200354A (nl) | 1982-02-01 | 1983-09-01 | Philips Nv | Passieve weergeefinrichting. |
US4500171A (en) | 1982-06-02 | 1985-02-19 | Texas Instruments Incorporated | Process for plastic LCD fill hole sealing |
US4482213A (en) | 1982-11-23 | 1984-11-13 | Texas Instruments Incorporated | Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs |
US4566935A (en) | 1984-07-31 | 1986-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4710732A (en) | 1984-07-31 | 1987-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5096279A (en) | 1984-08-31 | 1992-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4662746A (en) | 1985-10-30 | 1987-05-05 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5061049A (en) | 1984-08-31 | 1991-10-29 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4596992A (en) | 1984-08-31 | 1986-06-24 | Texas Instruments Incorporated | Linear spatial light modulator and printer |
US4615595A (en) | 1984-10-10 | 1986-10-07 | Texas Instruments Incorporated | Frame addressed spatial light modulator |
US5172262A (en) | 1985-10-30 | 1992-12-15 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US5835255A (en) | 1986-04-23 | 1998-11-10 | Etalon, Inc. | Visible spectrum modulator arrays |
GB8610129D0 (en) | 1986-04-25 | 1986-05-29 | Secr Defence | Electro-optical device |
US4748366A (en) | 1986-09-02 | 1988-05-31 | Taylor George W | Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects |
US4786128A (en) | 1986-12-02 | 1988-11-22 | Quantum Diagnostics, Ltd. | Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction |
US4897360A (en) | 1987-12-09 | 1990-01-30 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Polysilicon thin film process |
US4956619A (en) | 1988-02-19 | 1990-09-11 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US4856863A (en) | 1988-06-22 | 1989-08-15 | Texas Instruments Incorporated | Optical fiber interconnection network including spatial light modulator |
US5028939A (en) | 1988-08-23 | 1991-07-02 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator system |
US4982184A (en) | 1989-01-03 | 1991-01-01 | General Electric Company | Electrocrystallochromic display and element |
US5079544A (en) | 1989-02-27 | 1992-01-07 | Texas Instruments Incorporated | Standard independent digitized video system |
US5287096A (en) | 1989-02-27 | 1994-02-15 | Texas Instruments Incorporated | Variable luminosity display system |
US5192946A (en) | 1989-02-27 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Digitized color video display system |
KR100202246B1 (ko) * | 1989-02-27 | 1999-06-15 | 윌리엄 비. 켐플러 | 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법 |
US5446479A (en) * | 1989-02-27 | 1995-08-29 | Texas Instruments Incorporated | Multi-dimensional array video processor system |
US5206629A (en) | 1989-02-27 | 1993-04-27 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and memory for digitized video display |
US5214420A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator projection system with random polarity light |
US5214419A (en) | 1989-02-27 | 1993-05-25 | Texas Instruments Incorporated | Planarized true three dimensional display |
US5162787A (en) | 1989-02-27 | 1992-11-10 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface |
US5170156A (en) | 1989-02-27 | 1992-12-08 | Texas Instruments Incorporated | Multi-frequency two dimensional display system |
US5272473A (en) | 1989-02-27 | 1993-12-21 | Texas Instruments Incorporated | Reduced-speckle display system |
US5022745A (en) | 1989-09-07 | 1991-06-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror |
US4954789A (en) | 1989-09-28 | 1990-09-04 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator |
US5381253A (en) | 1991-11-14 | 1995-01-10 | Board Of Regents Of University Of Colorado | Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation |
US5124834A (en) | 1989-11-16 | 1992-06-23 | General Electric Company | Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same |
US5037173A (en) | 1989-11-22 | 1991-08-06 | Texas Instruments Incorporated | Optical interconnection network |
US5500635A (en) * | 1990-02-20 | 1996-03-19 | Mott; Jonathan C. | Products incorporating piezoelectric material |
CH682523A5 (fr) | 1990-04-20 | 1993-09-30 | Suisse Electronique Microtech | Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel. |
GB9012099D0 (en) | 1990-05-31 | 1990-07-18 | Kodak Ltd | Optical article for multicolour imaging |
US5018256A (en) | 1990-06-29 | 1991-05-28 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
EP0467048B1 (en) | 1990-06-29 | 1995-09-20 | Texas Instruments Incorporated | Field-updated deformable mirror device |
US5083857A (en) * | 1990-06-29 | 1992-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Multi-level deformable mirror device |
US5099353A (en) | 1990-06-29 | 1992-03-24 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5142405A (en) | 1990-06-29 | 1992-08-25 | Texas Instruments Incorporated | Bistable dmd addressing circuit and method |
US5216537A (en) | 1990-06-29 | 1993-06-01 | Texas Instruments Incorporated | Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates |
US5153771A (en) | 1990-07-18 | 1992-10-06 | Northrop Corporation | Coherent light modulation and detector |
US5082366A (en) | 1990-08-30 | 1992-01-21 | Laser Technology, Inc. | Apparatus and method for detecting leaks in packages |
US5192395A (en) | 1990-10-12 | 1993-03-09 | Texas Instruments Incorporated | Method of making a digital flexure beam accelerometer |
US5044736A (en) | 1990-11-06 | 1991-09-03 | Motorola, Inc. | Configurable optical filter or display |
US5331454A (en) | 1990-11-13 | 1994-07-19 | Texas Instruments Incorporated | Low reset voltage process for DMD |
US5602671A (en) * | 1990-11-13 | 1997-02-11 | Texas Instruments Incorporated | Low surface energy passivation layer for micromechanical devices |
US5081687A (en) * | 1990-11-30 | 1992-01-14 | Photon Dynamics, Inc. | Method and apparatus for testing LCD panel array prior to shorting bar removal |
US5175772A (en) | 1991-01-02 | 1992-12-29 | Motorola, Inc. | Automated test for displays using display patterns |
US5233459A (en) | 1991-03-06 | 1993-08-03 | Massachusetts Institute Of Technology | Electric display device |
CA2063744C (en) * | 1991-04-01 | 2002-10-08 | Paul M. Urbanus | Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system |
US5226099A (en) | 1991-04-26 | 1993-07-06 | Texas Instruments Incorporated | Digital micromirror shutter device |
US5179274A (en) | 1991-07-12 | 1993-01-12 | Texas Instruments Incorporated | Method for controlling operation of optical systems and devices |
US5168406A (en) | 1991-07-31 | 1992-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Color deformable mirror device and method for manufacture |
US5254980A (en) | 1991-09-06 | 1993-10-19 | Texas Instruments Incorporated | DMD display system controller |
US5459409A (en) | 1991-09-10 | 1995-10-17 | Photon Dynamics, Inc. | Testing device for liquid crystal display base plate |
CA2081753C (en) | 1991-11-22 | 2002-08-06 | Jeffrey B. Sampsell | Dmd scanner |
US5233385A (en) | 1991-12-18 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | White light enhanced color field sequential projection |
US5233456A (en) | 1991-12-20 | 1993-08-03 | Texas Instruments Incorporated | Resonant mirror and method of manufacture |
US5296950A (en) | 1992-01-31 | 1994-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Optical signal free-space conversion board |
US5231532A (en) | 1992-02-05 | 1993-07-27 | Texas Instruments Incorporated | Switchable resonant filter for optical radiation |
DE69310974T2 (de) | 1992-03-25 | 1997-11-06 | Texas Instruments Inc | Eingebautes optisches Eichsystem |
US5312513A (en) * | 1992-04-03 | 1994-05-17 | Texas Instruments Incorporated | Methods of forming multiple phase light modulators |
US5401983A (en) | 1992-04-08 | 1995-03-28 | Georgia Tech Research Corporation | Processes for lift-off of thin film materials or devices for fabricating three dimensional integrated circuits, optical detectors, and micromechanical devices |
US5311360A (en) | 1992-04-28 | 1994-05-10 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University | Method and apparatus for modulating a light beam |
JPH0651250A (ja) * | 1992-05-20 | 1994-02-25 | Texas Instr Inc <Ti> | モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ |
JPH06214169A (ja) * | 1992-06-08 | 1994-08-05 | Texas Instr Inc <Ti> | 制御可能な光学的周期的表面フィルタ |
US5818095A (en) * | 1992-08-11 | 1998-10-06 | Texas Instruments Incorporated | High-yield spatial light modulator with light blocking layer |
US5327286A (en) | 1992-08-31 | 1994-07-05 | Texas Instruments Incorporated | Real time optical correlation system |
US5325116A (en) | 1992-09-18 | 1994-06-28 | Texas Instruments Incorporated | Device for writing to and reading from optical storage media |
US6674562B1 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-06 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US5461411A (en) | 1993-03-29 | 1995-10-24 | Texas Instruments Incorporated | Process and architecture for digital micromirror printer |
US5559358A (en) * | 1993-05-25 | 1996-09-24 | Honeywell Inc. | Opto-electro-mechanical device or filter, process for making, and sensors made therefrom |
US6034480A (en) * | 1993-07-08 | 2000-03-07 | Micron Technology, Inc. | Identifying and disabling shorted electrodes in field emission display |
US5489952A (en) * | 1993-07-14 | 1996-02-06 | Texas Instruments Incorporated | Method and device for multi-format television |
US5365283A (en) | 1993-07-19 | 1994-11-15 | Texas Instruments Incorporated | Color phase control for projection display using spatial light modulator |
US5457493A (en) | 1993-09-15 | 1995-10-10 | Texas Instruments Incorporated | Digital micro-mirror based image simulation system |
US5497197A (en) * | 1993-11-04 | 1996-03-05 | Texas Instruments Incorporated | System and method for packaging data into video processor |
US5459602A (en) | 1993-10-29 | 1995-10-17 | Texas Instruments | Micro-mechanical optical shutter |
US5452024A (en) | 1993-11-01 | 1995-09-19 | Texas Instruments Incorporated | DMD display system |
US5448314A (en) | 1994-01-07 | 1995-09-05 | Texas Instruments | Method and apparatus for sequential color imaging |
US5500761A (en) * | 1994-01-27 | 1996-03-19 | At&T Corp. | Micromechanical modulator |
US5444566A (en) | 1994-03-07 | 1995-08-22 | Texas Instruments Incorporated | Optimized electronic operation of digital micromirror devices |
US5729245A (en) * | 1994-03-21 | 1998-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Alignment for display having multiple spatial light modulators |
US6710908B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-03-23 | Iridigm Display Corporation | Controlling micro-electro-mechanical cavities |
US6680792B2 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-20 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
US6040937A (en) * | 1994-05-05 | 2000-03-21 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation |
US7550794B2 (en) * | 2002-09-20 | 2009-06-23 | Idc, Llc | Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer |
US7460291B2 (en) * | 1994-05-05 | 2008-12-02 | Idc, Llc | Separable modulator |
US7619810B2 (en) * | 1994-05-05 | 2009-11-17 | Idc, Llc | Systems and methods of testing micro-electromechanical devices |
US7123216B1 (en) * | 1994-05-05 | 2006-10-17 | Idc, Llc | Photonic MEMS and structures |
US5497172A (en) * | 1994-06-13 | 1996-03-05 | Texas Instruments Incorporated | Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing |
US5454906A (en) | 1994-06-21 | 1995-10-03 | Texas Instruments Inc. | Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices |
US5499062A (en) * | 1994-06-23 | 1996-03-12 | Texas Instruments Incorporated | Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory |
US5619059A (en) * | 1994-09-28 | 1997-04-08 | National Research Council Of Canada | Color deformable mirror device having optical thin film interference color coatings |
US5610624A (en) * | 1994-11-30 | 1997-03-11 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect |
US5610438A (en) * | 1995-03-08 | 1997-03-11 | Texas Instruments Incorporated | Micro-mechanical device with non-evaporable getter |
US5739945A (en) * | 1995-09-29 | 1998-04-14 | Tayebati; Parviz | Electrically tunable optical filter utilizing a deformable multi-layer mirror |
DE19647983A1 (de) * | 1995-12-04 | 1997-06-05 | Papst Motoren Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Regeln einer physikalischen Größe und Anordnung zur Durchführung eines solchen Verfahrens |
JP3799092B2 (ja) * | 1995-12-29 | 2006-07-19 | アジレント・テクノロジーズ・インク | 光変調装置及びディスプレイ装置 |
DE19630392C2 (de) * | 1996-07-26 | 1998-10-01 | Sgs Thomson Microelectronics | Stereodecoder mit gleitendem Übergang zwischen Stereobetrieb und Monobetrieb |
US5710656A (en) * | 1996-07-30 | 1998-01-20 | Lucent Technologies Inc. | Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane |
WO1998040871A1 (fr) * | 1997-03-12 | 1998-09-17 | Seiko Epson Corporation | Circuit pixel, afficheur, et equipement electronique a dispositif photoemetteur commande par courant |
EP0877272B1 (en) * | 1997-05-08 | 2002-07-31 | Texas Instruments Incorporated | Improvements in or relating to spatial light modulators |
US6950193B1 (en) * | 1997-10-28 | 2005-09-27 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | System for monitoring substrate conditions |
US6028690A (en) * | 1997-11-26 | 2000-02-22 | Texas Instruments Incorporated | Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio |
US6180428B1 (en) * | 1997-12-12 | 2001-01-30 | Xerox Corporation | Monolithic scanning light emitting devices using micromachining |
KR100703140B1 (ko) * | 1998-04-08 | 2007-04-05 | 이리다임 디스플레이 코포레이션 | 간섭 변조기 및 그 제조 방법 |
US6201633B1 (en) * | 1999-06-07 | 2001-03-13 | Xerox Corporation | Micro-electromechanical based bistable color display sheets |
US6862029B1 (en) * | 1999-07-27 | 2005-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Color display system |
WO2003007049A1 (en) * | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
US6674090B1 (en) * | 1999-12-27 | 2004-01-06 | Xerox Corporation | Structure and method for planar lateral oxidation in active |
US6567715B1 (en) * | 2000-04-19 | 2003-05-20 | Sandia Corporation | Method and system for automated on-chip material and structural certification of MEMS devices |
US6853129B1 (en) * | 2000-07-28 | 2005-02-08 | Candescent Technologies Corporation | Protected substrate structure for a field emission display device |
US6967459B2 (en) * | 2000-08-30 | 2005-11-22 | Ebm-Papst St. Georgen Gmbh & Co. Kg | Method for controlling or regulating the current in a direct current machine for a fan |
GB2368635B (en) * | 2000-11-01 | 2004-12-22 | Nokia Mobile Phones Ltd | Testing an image display device |
US6859218B1 (en) * | 2000-11-07 | 2005-02-22 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Electronic display devices and methods |
US6777249B2 (en) * | 2001-06-01 | 2004-08-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of repairing a light-emitting device, and method of manufacturing a light-emitting device |
EP1402277A2 (en) * | 2001-06-19 | 2004-03-31 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and apparatus for leak-testing an electroluminescent device |
US6862022B2 (en) * | 2001-07-20 | 2005-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method and system for automatically selecting a vertical refresh rate for a video display monitor |
US6870581B2 (en) * | 2001-10-30 | 2005-03-22 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination |
JP2004029553A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Pioneer Electronic Corp | 表示パネルの駆動装置 |
US6741377B2 (en) * | 2002-07-02 | 2004-05-25 | Iridigm Display Corporation | Device having a light-absorbing mask and a method for fabricating same |
AU2003288897A1 (en) * | 2002-08-29 | 2004-04-30 | Norcom Systems Inc. | System and process for detecting leaks in sealed articles |
TW544787B (en) * | 2002-09-18 | 2003-08-01 | Promos Technologies Inc | Method of forming self-aligned contact structure with locally etched gate conductive layer |
TWI289708B (en) * | 2002-12-25 | 2007-11-11 | Qualcomm Mems Technologies Inc | Optical interference type color display |
US6829132B2 (en) * | 2003-04-30 | 2004-12-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Charge control of micro-electromechanical device |
TW591716B (en) * | 2003-05-26 | 2004-06-11 | Prime View Int Co Ltd | A structure of a structure release and manufacturing the same |
TW570896B (en) * | 2003-05-26 | 2004-01-11 | Prime View Int Co Ltd | A method for fabricating an interference display cell |
US7190380B2 (en) * | 2003-09-26 | 2007-03-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Generating and displaying spatially offset sub-frames |
US7173314B2 (en) * | 2003-08-13 | 2007-02-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Storage device having a probe and a storage cell with moveable parts |
TWI251712B (en) * | 2003-08-15 | 2006-03-21 | Prime View Int Corp Ltd | Interference display plate |
TW200506479A (en) * | 2003-08-15 | 2005-02-16 | Prime View Int Co Ltd | Color changeable pixel for an interference display |
TWI305599B (en) * | 2003-08-15 | 2009-01-21 | Qualcomm Mems Technologies Inc | Interference display panel and method thereof |
TW593127B (en) * | 2003-08-18 | 2004-06-21 | Prime View Int Co Ltd | Interference display plate and manufacturing method thereof |
TWI231865B (en) * | 2003-08-26 | 2005-05-01 | Prime View Int Co Ltd | An interference display cell and fabrication method thereof |
US20050057442A1 (en) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Olan Way | Adjacent display of sequential sub-images |
TWI232333B (en) * | 2003-09-03 | 2005-05-11 | Prime View Int Co Ltd | Display unit using interferometric modulation and manufacturing method thereof |
US6982820B2 (en) * | 2003-09-26 | 2006-01-03 | Prime View International Co., Ltd. | Color changeable pixel |
US20050068583A1 (en) * | 2003-09-30 | 2005-03-31 | Gutkowski Lawrence J. | Organizing a digital image |
US6861277B1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-03-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming MEMS device |
US7026821B2 (en) * | 2004-04-17 | 2006-04-11 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Testing MEM device array |
US7126741B2 (en) * | 2004-08-12 | 2006-10-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light modulator assembly |
US7359066B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-04-15 | Idc, Llc | Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators |
US7327510B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-02-05 | Idc, Llc | Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator |
-
2005
- 2005-03-04 US US11/073,295 patent/US7359066B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-26 SG SG200504622A patent/SG121044A1/en unknown
- 2005-07-26 SG SG200906384-3A patent/SG155972A1/en unknown
- 2005-07-28 AU AU2005203320A patent/AU2005203320A1/en not_active Abandoned
- 2005-07-29 CA CA002514344A patent/CA2514344A1/en not_active Abandoned
- 2005-07-29 JP JP2005219836A patent/JP2006098391A/ja active Pending
- 2005-08-10 TW TW094127145A patent/TW200619130A/zh unknown
- 2005-09-09 KR KR1020050084149A patent/KR20060092870A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-09-14 EP EP05255662A patent/EP1640769A1/en not_active Withdrawn
- 2005-09-23 MX MXPA05010241A patent/MXPA05010241A/es active IP Right Grant
- 2005-09-26 RU RU2005129947/28A patent/RU2005129947A/ru not_active Application Discontinuation
- 2005-09-27 BR BRPI0503891-0A patent/BRPI0503891A/pt not_active Application Discontinuation
-
2008
- 2008-02-14 US US12/031,602 patent/US7894076B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7359066B2 (en) | 2008-04-15 |
AU2005203320A1 (en) | 2006-04-27 |
TW200619130A (en) | 2006-06-16 |
BRPI0503891A (pt) | 2006-05-09 |
SG155972A1 (en) | 2009-10-29 |
US20080180680A1 (en) | 2008-07-31 |
KR20060092870A (ko) | 2006-08-23 |
MXPA05010241A (es) | 2006-03-29 |
US20060066863A1 (en) | 2006-03-30 |
CA2514344A1 (en) | 2006-03-27 |
US7894076B2 (en) | 2011-02-22 |
JP2006098391A (ja) | 2006-04-13 |
SG121044A1 (en) | 2006-04-26 |
EP1640769A1 (en) | 2006-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2005129947A (ru) | Электрооптическое измерение гистерезиса в интерферометрических модуляторах | |
KR20060092872A (ko) | 간섭 변조기의 전기적 특성화 | |
JP2008515003A (ja) | インターフェロメトリック変調器の動特性の測定 | |
US6496265B1 (en) | Fiber optic sensors and methods therefor | |
Buchade et al. | Simulation and experimental studies of inclined two fiber displacement sensor | |
JP5741088B2 (ja) | 位置検出システム及び投射型表示システム | |
FR3085071B1 (fr) | Systeme et procede de controle reparti a fibres optiques | |
CN110646380B (zh) | 道路标线逆反射光检测系统和道路标线逆反光检测仪 | |
CN1664538A (zh) | 光纤陀螺用集成光学调制器在线测试方法及其测试装置 | |
CN111366561B (zh) | 一种测量液晶器件实际反射率的方法与装置 | |
KR980003561A (ko) | 광학적 이방성을 측정하기 위한 장치 및 방법 | |
JP2008503740A (ja) | 光学式雨センサの検査用の検査装置及び方法 | |
KR940011956A (ko) | 전압센서 | |
CN211374004U (zh) | 波导片检测装置 | |
US7136167B2 (en) | Fiber optic scanning interferometer using a polarization splitting coupler | |
US20100142754A1 (en) | Inspection method and system for display | |
US20200333394A1 (en) | Waveform separation for resolution limited optical probing tools | |
CN105043719A (zh) | 道路照明检测方法及中央处理设备 | |
US6894514B2 (en) | Circuit pattern detecting apparatus and circuit pattern inspecting method | |
JP4403701B2 (ja) | 回路基板の検査装置 | |
KR101413998B1 (ko) | 액정 위상지연기를 이용한 편광간 위상변화 검출방법 | |
CN209102393U (zh) | 一种车辆起步动态性能测试装置 | |
TWM458545U (zh) | 光纖傾斜感測裝置 | |
Fujimura et al. | Road surface sensor | |
CN114993622A (zh) | 折射率可控设备的相位校准装置和相位校准方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080927 |
|
FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20080927 |