RU2005125464A - Свч плазменный реактор - Google Patents

Claims (6)

1. СВЧ плазменный реактор, содержащий осесимметричную герметичную рабочую камеру в виде короткого цилиндра, в центральной части которой соосно расположена платформа, образующая с внутренней торцевой стороной рабочей камеры радиальный волновод, центральная часть которого является резонатором, источник СВЧ энергии, соединенный с рабочей камерой линией, содержащей прямоугольный волновод и цилиндрический коаксиальный волновод, диэлектрическое окно в виде отрезка цилиндрической трубы, герметично отделяющее рабочую камеру, отличающийся тем, что цилиндрический коаксиальный волновод соединен с рабочей камерой конусообразным коаксиальным волноводом, основание внутреннего конуса волновода сопряжено с платформой, а основание внешнего конуса в общей плоскости с основанием внутреннего конуса сопряжено с цилиндрической стенкой камеры, причем геометрические пропорции конусообразного волновода выбраны из соотношения ln a/b=ln (tgα/tgβ)=ln A/B=H/B, где α и β - углы внешнего и внутреннего конусов конусообразного волновода, имеющие общую вершину, а и b - внешний и внутренний радиусы коаксиального волновода, А - внутренний радиус цилиндрической части реактора В - радиус платформы, Н - расстояние от платформы на ее краю до внутренней поверхности рабочей камеры, диэлектрическое окно установлено в коаксиальном конусообразном волноводе соосно с ним, причем средний угол падения СВЧ волны на окно не более чем на 20° отличается от угла Брюстера для материала диэлектрического окна в полосе возбуждаемых колебаний.

2. СВЧ плазменный реактор по п.1, отличающийся тем, что платформа содержит вставной цилиндрический элемент, высотой в четвертую часть длины волны возбуждаемых колебаний, установленный с зазором по периметру, причем зазор является частью СВЧ дроссельного соединения, вставной цилиндрический элемент является подложкодержателем.

3. СВЧ плазменный реактор по п.2, отличающийся тем, что внутри подложкодержателя выполнено углубление, над которым сформирована тонкая перегородка, под перегородкой расположено средство регулирования температуры поверхности подложкодержателя.

4. СВЧ плазменный реактор по п.3, отличающийся тем, что в верхней части камеры реактора соосно с ним выполнен отрезок запредельного волновода с оптическим окном в его торце.

5. СВЧ плазменный реактор по п.4, отличающийся тем, что в оптическом окне запредельного волновода установлено устройство контроля температуры в зоне резонатора, устройство контроля температуры через блок управления связано со средством регулирования температуры подложкодержателя.

6. СВЧ плазменный реактор по п.5, отличающийся тем, что средство регулирования температуры подложкодержателя выполнено в виде электрического нагревателя.