RU2005116411A - METHOD FOR PRODUCING CRYSTAL ELEMENTS AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION - Google Patents

METHOD FOR PRODUCING CRYSTAL ELEMENTS AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION Download PDF

Info

Publication number
RU2005116411A
RU2005116411A RU2005116411/09A RU2005116411A RU2005116411A RU 2005116411 A RU2005116411 A RU 2005116411A RU 2005116411/09 A RU2005116411/09 A RU 2005116411/09A RU 2005116411 A RU2005116411 A RU 2005116411A RU 2005116411 A RU2005116411 A RU 2005116411A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
rotation
etchant
preform
relative
blanks
Prior art date
Application number
RU2005116411/09A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2296417C2 (en
Inventor
Галина Владимировна Безматерных (RU)
Галина Владимировна Безматерных
Евгений Александрович Ефремов (RU)
Евгений Александрович Ефремов
Дмитрий Ильич Петриди (RU)
Дмитрий Ильич Петриди
Анатолий Михайлович Ярош (RU)
Анатолий Михайлович Ярош
Original Assignee
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕОмский научно-исследовательский институт приборостроени ФГУП ОНИИП (RU)
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ Омский научно-исследовательский институт приборостроения ФГУП ОНИИП
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕОмский научно-исследовательский институт приборостроени ФГУП ОНИИП (RU), ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ Омский научно-исследовательский институт приборостроения ФГУП ОНИИП filed Critical ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕОмский научно-исследовательский институт приборостроени ФГУП ОНИИП (RU)
Priority to RU2005116411/09A priority Critical patent/RU2296417C2/en
Publication of RU2005116411A publication Critical patent/RU2005116411A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2296417C2 publication Critical patent/RU2296417C2/en

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Claims (2)

1. Способ изготовления кристаллических элементов, включающий химико-динамическое травление плоской заготовки в жидком травителе с круговым вращением заготовки с частотой 03÷0,53 с-1 и одновременным возвратным-поступательным перемещением, отличающийся тем, что угол атаки потока травителя относительно поверхности заготовки выбирают в пределах 2÷17° и обеспечивают плавание заготовки преимущественно в горизонтальной плоскости во время поворота на 270÷300° при каждом обороте кругового вращения и одновременное вращение заготовки относительно оси симметрии, нормальной ее плоскости.1. A method of manufacturing crystalline elements, including chemical-dynamic etching of a flat preform in a liquid etchant with a circular rotation of the preform with a frequency of 03 ÷ 0.53 s -1 and simultaneous reciprocating movement, characterized in that the angle of attack of the etchant stream relative to the surface of the preform is chosen within 2 ÷ 17 ° and provide the workpiece swimming mainly in the horizontal plane during a rotation of 270 ÷ 300 ° for each revolution of circular rotation and simultaneous rotation of the workpiece relative to B symmetry normal to its plane. 2. Устройство для изготовления кристаллических элементов по п.1, содержащее сосуд с жидким травителем, помещенный в термостат, подъемно-вращательный механизм, включающий электродвигатель, на оси которого закреплен кулачек, механически связанный с подвижным роликом, и кассету этажерного типа с ячейками для укладки заготовок, отличающееся тем, что круговой выступ кулачка имеет пологий склон на угловой длине 270÷300° так, что обеспечивается угол атаки 2÷17° потока травителя относительно поверхности заготовок, и крутой склон, а ячейкам кассеты задают высоту 1,5÷3,0 мм.2. The device for the manufacture of crystalline elements according to claim 1, containing a vessel with a liquid etchant, placed in a thermostat, a lifting and rotating mechanism, including an electric motor, on the axis of which a cam is mechanically connected to the movable roller, and a shelf-type cartridge with styling cells blanks, characterized in that the circular protrusion of the cam has a gentle slope at an angular length of 270 ÷ 300 ° so that an angle of attack of 2 ÷ 17 ° of the etchant flow relative to the surface of the blanks, and a steep slope, and the cassette cells given height 1.5 ÷ 3.0 mm.
RU2005116411/09A 2005-05-30 2005-05-30 Method and device for manufacturing crystal elements RU2296417C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005116411/09A RU2296417C2 (en) 2005-05-30 2005-05-30 Method and device for manufacturing crystal elements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2005116411/09A RU2296417C2 (en) 2005-05-30 2005-05-30 Method and device for manufacturing crystal elements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2005116411A true RU2005116411A (en) 2006-11-20
RU2296417C2 RU2296417C2 (en) 2007-03-27

Family

ID=37502073

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2005116411/09A RU2296417C2 (en) 2005-05-30 2005-05-30 Method and device for manufacturing crystal elements

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2296417C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111223797A (en) * 2018-11-26 2020-06-02 台湾积体电路制造股份有限公司 Wet etching equipment and method for using same

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2712426C1 (en) * 2019-02-18 2020-01-28 Акционерное общество "ЛИТ-ФОНОН" (АО "ЛИТ-ФОНОН") Method of making thin crystalline plates and thin crystalline elements

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111223797A (en) * 2018-11-26 2020-06-02 台湾积体电路制造股份有限公司 Wet etching equipment and method for using same
CN111223797B (en) * 2018-11-26 2023-08-18 台湾积体电路制造股份有限公司 Wet etching apparatus and method for using the same

Also Published As

Publication number Publication date
RU2296417C2 (en) 2007-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08293478A (en) Equipment and method for cleaning up semiconductor wafer
RU2005116411A (en) METHOD FOR PRODUCING CRYSTAL ELEMENTS AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION
CN105214504A (en) Device and method for reducing membrane pollution of sequencing batch membrane bioreactor
CN103212551A (en) Ultrasonic wave cleaning device for wafer
JP2006014270A (en) Manufacturing method for quartz crystal oscillator, its apparatus, and quartz crystal oscillator
CA2515598A1 (en) Inertial drive scanning arrangement and method
CN203196939U (en) Ultrasonic cleaning device for wafer
CN109806630A (en) A kind of sedimentation basin vibrator
JP2012509587A (en) Silicon substrate for solar cell, manufacturing apparatus and method thereof, and solar cell
CN208717153U (en) The calendering formation device of devitrified glass
CN218446269U (en) Contact lens cleaning rotary gear
CN105561626A (en) Built-in ultrasonic stirring crystallizer
CN211481243U (en) Fine tuning processing tool for quartz crystal resonator
CN102553854A (en) Lifting and shaking device
CN202479159U (en) Lifting and shaking device
CN218410529U (en) System fine hair additive canning bucket airing device
CN213856041U (en) Cleaning equipment is used in glass cup production
CN209058999U (en) A kind of swing type face cleaning instrument
CN214556665U (en) Flattening and mark removing structure for corrosion foil production
CN212795176U (en) Cutting device for optical filter processing applied to biomedical optics
TWM283188U (en) Assembly structure of lens modules
CN220677538U (en) Pyrolysis kettle for processing battery-grade lithium carbonate
CN216653396U (en) Prevent overheat protection's D-ribose preparation with concentrated purification device
CN210014257U (en) Anti-dazzle projection lamp with projection direction convenient to adjust
CN111194243A (en) Method for producing coated object and coated substance stretching device

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150531