Claims (4)
1. Интерферометрическое устройство для измерения оптической толщины прозрачного слоя или зазора, содержащее источник света, линию задержки и фотоприемник, отличающееся тем, что между источником света и измеряемым объектом установлен поляризатор света, перед фотоприемником установлен анализатор, направление оси которого совпадает или ортогонально направлению оси поляризатора, а линия задержки выполнена в виде фазовой пластинки, разность фаз нормальных волн которой может перестраиваться, и установлена так, что плоскость поляризации ее нормальных волн составляет угол 45° относительно направления оси поляризатора.1. An interferometric device for measuring the optical thickness of a transparent layer or gap, containing a light source, a delay line and a photodetector, characterized in that a light polarizer is installed between the light source and the measured object, an analyzer is installed in front of the photodetector, the axis of which coincides or is orthogonal to the direction of the polarizer axis and the delay line is made in the form of a phase plate, the phase difference of the normal waves of which can be tuned, and set so that its plane of polarization normal waves makes an angle of 45 ° relative to the direction of the axis of the polarizer.
2. Интерферометрическое устройство по п.1, отличающееся тем, что оптическая связь между поляризатором и измеряемым объектом, а также между измеряемым объектом и линией задержки осуществляется по отрезкам оптического волокна, сохраняющего поляризацию, установленным так, что направление оптических осей этих волокон совпадает с направлением оптической оси поляризатора.2. The interferometric device according to claim 1, characterized in that the optical connection between the polarizer and the measured object, as well as between the measured object and the delay line is carried out along the segments of the optical fiber that preserves the polarization, set so that the direction of the optical axes of these fibers coincides with the direction optical axis of the polarizer.
3. Интерферометрическое устройство по п.1, отличающееся тем, что оптическая связь между поляризатором, измеряемым объектом и линией задержки осуществляется с помощью последовательно установленных светоделителя и отрезка оптического волокна, сохраняющего поляризацию и установленого так, что направление оптической оси волокна совпадает с направлением оптической оси поляризатора.3. The interferometric device according to claim 1, characterized in that the optical coupling between the polarizer, the measured object and the delay line is carried out using sequentially installed a beam splitter and a segment of the optical fiber preserving polarization and set so that the direction of the optical axis of the fiber coincides with the direction of the optical axis polarizer.
4. Интерферометрическое устройство по п.1, или 2, или 3, отличающееся тем, что перед анализатором дополнительно установлены оптически связанные неполяризующий светоделитель, фазовая четвертьволновая пластинка, направление оптических осей которой совпадает с направлением оптических осей линии задержки, второй анализатор, направление оси которого совпадает с направлением оси первого анализатора, и второй фотоприемник.4. The interferometric device according to claim 1, or 2, or 3, characterized in that the analyzer is additionally equipped with optically coupled non-polarizing beam splitter, a quarter-wave phase plate, the direction of the optical axes of which coincides with the direction of the optical axes of the delay line, the second analyzer, the axis of which coincides with the direction of the axis of the first analyzer, and the second photodetector.