RU2003114123A - Способ контроля качества изготовления микромеханических устройств - Google Patents
Способ контроля качества изготовления микромеханических устройствInfo
- Publication number
- RU2003114123A RU2003114123A RU2003114123/28A RU2003114123A RU2003114123A RU 2003114123 A RU2003114123 A RU 2003114123A RU 2003114123/28 A RU2003114123/28 A RU 2003114123/28A RU 2003114123 A RU2003114123 A RU 2003114123A RU 2003114123 A RU2003114123 A RU 2003114123A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- signal
- quality control
- displacement sensor
- harmonic
- production
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 title claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 4
Claims (3)
1. Способ контроля качества изготовления микромеханических устройств, содержащих подвижный элемент, электростатический задатчик силы и датчик перемещения подвижного элемента, заключающийся в формировании гармонического сигнала на входе задатчика силы и измерении гармонического сигнала на выходе датчика перемещения, отличающийся тем, что измеряют вторую гармонику сигнала на выходе датчика перемещения.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что на вход задатчика силы дополнительно вводят сигнал постоянного тока.
3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что амплитудно-частотную характеристику микромеханического устройства определяют вычислением отношения амплитуды второй гармоники на выходе датчика перемещения к амплитуде сигнала на входе задатчика силы.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003114123/28A RU2244271C1 (ru) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | Способ контроля качества изготовления микромеханических устройств |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003114123/28A RU2244271C1 (ru) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | Способ контроля качества изготовления микромеханических устройств |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2003114123A true RU2003114123A (ru) | 2004-11-10 |
| RU2244271C1 RU2244271C1 (ru) | 2005-01-10 |
Family
ID=34881162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003114123/28A RU2244271C1 (ru) | 2003-05-13 | 2003-05-13 | Способ контроля качества изготовления микромеханических устройств |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2244271C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2488785C1 (ru) * | 2011-12-21 | 2013-07-27 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ" | Способ измерения амплитудно-частотных характеристик подвижных элементов микромеханических устройств |
-
2003
- 2003-05-13 RU RU2003114123/28A patent/RU2244271C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105308432B (zh) | 生成用于振动传感器的驱动信号的方法 | |
| CN108151643B (zh) | 一种基于振弦式传感器的动态数据测量方法及装置 | |
| ATE447707T1 (de) | Verbesserter akustischer sensor und verfahren | |
| JP2007512534A5 (ru) | ||
| ATE480755T1 (de) | Umwandler auf basis des coriolis-effektes | |
| JP2008107167A5 (ru) | ||
| JP2010540975A5 (ru) | ||
| Ruiz-Sandoval et al. | Sensor development using Berkeley Mote platform | |
| Prato et al. | Metrological traceability for digital sensors in smart manufacturing: calibration of MEMS accelerometers and microphones at INRiM | |
| ATE478343T1 (de) | Messaufnehmer für dynamische grössen | |
| CN101419243B (zh) | 一种无方向性力平衡加速度传感器 | |
| DE602006015192D1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Herstellung von Drahtbondverbindungen | |
| RU2003114123A (ru) | Способ контроля качества изготовления микромеханических устройств | |
| TW200512437A (en) | Vibration detector | |
| JP3383240B2 (ja) | 容量式変位センサ | |
| CN112697239B (zh) | 一种基于内共振的微量物质和驱动力同步传感器及方法 | |
| US10254134B2 (en) | Interference-insensitive capacitive displacement sensing | |
| CN105203199A (zh) | 基于微纳尺度材料光机电系统的超高灵敏度振动传感器 | |
| Aoki et al. | Detection of high-frequency component of mechanomyogram | |
| JP2010169522A (ja) | 静電容量型検出装置及びそれを用いた加速度・角速度検出装置 | |
| TW201215887A (en) | Inertia sensing device and using method thereof | |
| JP2000206263A (ja) | 地震センサ | |
| RU1536957C (ru) | Вибрационный кориолисовый расходомер | |
| RU2006140059A (ru) | Способ вихретокового контроля и устройство для его осуществления | |
| RU2007114826A (ru) | Способ измерения диэлектрической постоянной диэлектрического продукта |