RU2003109137A - Дифракционный интерферометр (варианты) - Google Patents
Дифракционный интерферометр (варианты)Info
- Publication number
- RU2003109137A RU2003109137A RU2003109137/28A RU2003109137A RU2003109137A RU 2003109137 A RU2003109137 A RU 2003109137A RU 2003109137/28 A RU2003109137/28 A RU 2003109137/28A RU 2003109137 A RU2003109137 A RU 2003109137A RU 2003109137 A RU2003109137 A RU 2003109137A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- optical axis
- controlled
- curvature
- main optical
- center
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 8
Claims (2)
1. Дифракционный интерферометр для контроля формы вогнутых поверхностей и зеркал второго порядка, характеризующийся последовательным расположением на главной оптической оси контролируемой поверхности, фазовой пластинки λ/4, зонной пластинки, центр которой совпадает с центром кривизны контролируемой поверхности, светоделителя, выполненного в виде поляризационного кубика, выходной диафрагмы, проекционного объектива, регистрирующего устройства, наличием осветителя, оптическая ось которого перпендикулярна главной оптической оси, и состоящего из источника света и объектива, формирующего сходящийся пучок лучей, при этом оси фазовой пластинки λ/4 ориентированы под углом 45° к вектору поляризации светоделительного кубика, а фокусное расстояние f зонной пластинки выбирается из соотношения
где Δ - допустимая инструментальная погрешность;
D и R - диаметр и радиус кривизны контролируемой поверхности.
2. Дифракционный интерферометр для контроля формы вогнутых поверхностей и зеркал второго порядка, характеризующийся последовательным расположением на главной оптической оси контролируемой поверхности, фазовой пластинки λ/4, зонной пластинки, центр которой совпадает с центром кривизны контролируемой поверхности, светоделителя, выполненного в виде неполяризационного кубика или полупрозрачного зеркала, расположенного под углом 45° к оптической оси, выходной диафрагмы, проекционного объектива, поляроида, регистрирующего устройства, наличием осветителя, оптическая ось которого перпендикулярна главной оптической оси, и состоящего из источника линейно поляризованного света с вектором поляризации, ориентированным перпендикулярно главной оптической оси, и объектива, формирующего сходящийся пучок лучей, при этом оси фазовой пластинки λ/4 ориентированы под углом 45° к вектору поляризации излучения источника света, а фокусное расстояние f зонной пластинки выбирается из соотношения
где Δ - допустимая инструментальная погрешность;
D и R - диаметр и радиус кривизны контролируемой поверхности.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003109137/28A RU2240503C1 (ru) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Дифракционный интерферометр (варианты) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2003109137/28A RU2240503C1 (ru) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Дифракционный интерферометр (варианты) |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2003109137A true RU2003109137A (ru) | 2004-10-27 |
| RU2240503C1 RU2240503C1 (ru) | 2004-11-20 |
Family
ID=34310631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2003109137/28A RU2240503C1 (ru) | 2003-03-31 | 2003-03-31 | Дифракционный интерферометр (варианты) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2240503C1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013077715A1 (ru) * | 2011-11-22 | 2013-05-30 | Bimurzaev Seitkerim Bimurzaevich | Корректор аберраций электронных линз |
| CN103344198B (zh) * | 2013-07-25 | 2016-05-11 | 哈尔滨工业大学 | 用于微小球面表面轮廓检测的测量仪及测量方法 |
| CN108061514B (zh) * | 2016-11-07 | 2020-01-24 | 南京理工大学 | 一种利用轴向扫描光干涉法检测非球面的动态建模方法 |
-
2003
- 2003-03-31 RU RU2003109137/28A patent/RU2240503C1/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4130222B2 (ja) | 移相回折干渉計 | |
| US11370061B2 (en) | Optical arrangement for direct laser interference structuring | |
| CN109804294B (zh) | 用于数字全息成像和干涉测量的光纤分路器装置和包括所述光纤分路器装置的光学系统 | |
| JP6199923B2 (ja) | 周波数調整可能なレーザーデバイス | |
| JP2003035822A (ja) | 偏光器および偏光器を備えたマイクロリソグラフィー投影システム | |
| TWI665470B (zh) | 用於極化控制之系統，方法及裝置 | |
| JPS63311121A (ja) | エンコ−ダ− | |
| JP7457133B2 (ja) | 透過反射型デジタルホログラフィック顕微鏡システム | |
| US20200249626A1 (en) | Add-on imaging module for off-axis recording of polarization coded waves | |
| JPS59802B2 (ja) | 自動焦点可能な双眼鏡光学系 | |
| US4762417A (en) | Fringe scanning point diffraction interferometer by polarization | |
| TW201728967A (zh) | 偏振器配置、極紫外線輻射產生裝置及用於雷射光束之線性偏振之方法 | |
| CN108426528B (zh) | 一种测量物体离面与面内位移的激光散斑装置及测量方法 | |
| EP0746164A3 (en) | Lighting device transformed in the direction of polarization and projection type image display device using the same | |
| RU2003109137A (ru) | Дифракционный интерферометр (варианты) | |
| JP7001251B2 (ja) | レーザ・ビームのコヒーレンスを減らすための装置 | |
| WO2002063621A1 (fr) | Dispositif optique et dispositif a memoire optique | |
| JPH0352135A (ja) | 光デイスク読取り／書込みヘツドのための２進光学素子 | |
| CN107748444B (zh) | 一种偏振光宽视场透射式汇聚照明装置以及方法 | |
| JPH095018A (ja) | 移動量測長装置 | |
| RU2615717C1 (ru) | Интерферометр для многоцелевых оптических измерений | |
| KR102389943B1 (ko) | 레이저 | |
| JP7240773B1 (ja) | 分光分析装置および干渉光形成機構 | |
| RU2016136551A (ru) | Многоканальный конфокальный микроскоп | |
| JP2003287685A (ja) | 新規光学系、及びその光学系を備える顕微鏡 |