RU2000121864A - Способ изготовления микроканальной пластины - Google Patents
Способ изготовления микроканальной пластиныInfo
- Publication number
- RU2000121864A RU2000121864A RU2000121864/02A RU2000121864A RU2000121864A RU 2000121864 A RU2000121864 A RU 2000121864A RU 2000121864/02 A RU2000121864/02 A RU 2000121864/02A RU 2000121864 A RU2000121864 A RU 2000121864A RU 2000121864 A RU2000121864 A RU 2000121864A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- microchannel plate
- workpiece
- evaporator
- contact electrode
- angle
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims 1
Claims (2)
1. Способ изготовления микроканальной пластины, включающий нанесение на ее входную торцевую поверхность металлического контактного электрода вакуумным напылением и расположение испарителя под углом к заготовке микроканальной пластины, отличающийся тем, что напыление входного контактного электрода осуществляют из неподвижного направленного испарителя, относительно которого вращают заготовку микроканальной пластины, которая неподвижна к своей оси, причем заготовку микроканальной пластины относительно испарителя устанавливают таким образом, чтобы максимальная глубина контактного электрода внутри каналов микроканальной пластины находилась на образующей, составляющей тупой угол с большой полуосью эллипса, образованного сечением канала торцевой плоскостью.
2. Способ изготовления микроканальной пластины по п. 1, отличающийся тем, что угол наклона испарителя к заготовке микроканальной пластины устанавливают таким образом, чтобы глубина контактного электрода внутри каналов микроканальной пластины составляла 1,5-2 диаметра канала.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2000121864A RU2187166C2 (ru) | 2000-08-15 | 2000-08-15 | Способ изготовления микроканальной пластины |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2000121864A RU2187166C2 (ru) | 2000-08-15 | 2000-08-15 | Способ изготовления микроканальной пластины |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2000121864A true RU2000121864A (ru) | 2002-08-10 |
RU2187166C2 RU2187166C2 (ru) | 2002-08-10 |
Family
ID=20239285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2000121864A RU2187166C2 (ru) | 2000-08-15 | 2000-08-15 | Способ изготовления микроканальной пластины |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2187166C2 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109939750A (zh) * | 2017-12-20 | 2019-06-28 | 浙江大学自贡创新中心 | 一种功能化的微通道板及包含该微通道板的生物分子传感器 |
-
2000
- 2000-08-15 RU RU2000121864A patent/RU2187166C2/ru not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2405109A1 (en) | Production tool process | |
CA2386663A1 (en) | Process of forming an electrode | |
WO2002062500A2 (en) | Method and forming machine for deforming a hollow workpiece | |
RU2000121864A (ru) | Способ изготовления микроканальной пластины | |
CN108817710A (zh) | 一种薄壁壳体激光焊接装夹装置和操作方法 | |
RU2001100151A (ru) | Способ изготовления микроканальной пластины | |
JP2001047126A (ja) | 多孔管の製造方法 | |
GB2368314A (en) | Semiconductor etching | |
RU2187166C2 (ru) | Способ изготовления микроканальной пластины | |
US6614331B2 (en) | Method of manufacturing inner conductor of resonator, and inner conductor of resonator | |
RU2196847C2 (ru) | Катод электродугового испарителя | |
JPS6041638Y2 (ja) | マグネトロンの陰極構造 | |
RU93015898A (ru) | Штамп для резки труб под углом | |
CN114932374B (zh) | 压力帽加工焊接工艺 | |
JPS6120629A (ja) | バ−リング加工方法 | |
JP3944883B2 (ja) | 火打 | |
KR200280225Y1 (ko) | 필기구용 니들팁 | |
US20210310122A1 (en) | Method of forming holes from both sides of substrate | |
JPH0513763B2 (ru) | ||
KR200241685Y1 (ko) | 콘크리트 거푸집용 강관지지대 | |
KR200240331Y1 (ko) | 진공증착장치의 보조 전극 클램프 | |
KR200202542Y1 (ko) | 미세조절이 가능한 호닝 툴 | |
RU1799707C (ru) | Способ изготовлени сварных конструкций | |
KR200181109Y1 (ko) | 우산살 | |
JPH0551717A (ja) | ガスワイピング装置 |