RU2000121864A - Способ изготовления микроканальной пластины - Google Patents

Способ изготовления микроканальной пластины

Info

Publication number
RU2000121864A
RU2000121864A RU2000121864/02A RU2000121864A RU2000121864A RU 2000121864 A RU2000121864 A RU 2000121864A RU 2000121864/02 A RU2000121864/02 A RU 2000121864/02A RU 2000121864 A RU2000121864 A RU 2000121864A RU 2000121864 A RU2000121864 A RU 2000121864A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
microchannel plate
workpiece
evaporator
contact electrode
angle
Prior art date
Application number
RU2000121864/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2187166C2 (ru
Inventor
Сослан Кубадиевич Кулов
Юлий Львович Пергаменцев
Сергей Аврамович Кесаев
Эдуард Александрович Платов
Original Assignee
Владикавказский технологический центр "БАСПИК"
Filing date
Publication date
Application filed by Владикавказский технологический центр "БАСПИК" filed Critical Владикавказский технологический центр "БАСПИК"
Priority to RU2000121864A priority Critical patent/RU2187166C2/ru
Priority claimed from RU2000121864A external-priority patent/RU2187166C2/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2000121864A publication Critical patent/RU2000121864A/ru
Publication of RU2187166C2 publication Critical patent/RU2187166C2/ru

Links

Claims (2)

1. Способ изготовления микроканальной пластины, включающий нанесение на ее входную торцевую поверхность металлического контактного электрода вакуумным напылением и расположение испарителя под углом к заготовке микроканальной пластины, отличающийся тем, что напыление входного контактного электрода осуществляют из неподвижного направленного испарителя, относительно которого вращают заготовку микроканальной пластины, которая неподвижна к своей оси, причем заготовку микроканальной пластины относительно испарителя устанавливают таким образом, чтобы максимальная глубина контактного электрода внутри каналов микроканальной пластины находилась на образующей, составляющей тупой угол с большой полуосью эллипса, образованного сечением канала торцевой плоскостью.
2. Способ изготовления микроканальной пластины по п. 1, отличающийся тем, что угол наклона испарителя к заготовке микроканальной пластины устанавливают таким образом, чтобы глубина контактного электрода внутри каналов микроканальной пластины составляла 1,5-2 диаметра канала.
RU2000121864A 2000-08-15 2000-08-15 Способ изготовления микроканальной пластины RU2187166C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2000121864A RU2187166C2 (ru) 2000-08-15 2000-08-15 Способ изготовления микроканальной пластины

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2000121864A RU2187166C2 (ru) 2000-08-15 2000-08-15 Способ изготовления микроканальной пластины

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2000121864A true RU2000121864A (ru) 2002-08-10
RU2187166C2 RU2187166C2 (ru) 2002-08-10

Family

ID=20239285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2000121864A RU2187166C2 (ru) 2000-08-15 2000-08-15 Способ изготовления микроканальной пластины

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2187166C2 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109939750A (zh) * 2017-12-20 2019-06-28 浙江大学自贡创新中心 一种功能化的微通道板及包含该微通道板的生物分子传感器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2405109A1 (en) Production tool process
CA2386663A1 (en) Process of forming an electrode
WO2002062500A2 (en) Method and forming machine for deforming a hollow workpiece
RU2000121864A (ru) Способ изготовления микроканальной пластины
CN108817710A (zh) 一种薄壁壳体激光焊接装夹装置和操作方法
RU2001100151A (ru) Способ изготовления микроканальной пластины
JP2001047126A (ja) 多孔管の製造方法
GB2368314A (en) Semiconductor etching
RU2187166C2 (ru) Способ изготовления микроканальной пластины
US6614331B2 (en) Method of manufacturing inner conductor of resonator, and inner conductor of resonator
RU2196847C2 (ru) Катод электродугового испарителя
JPS6041638Y2 (ja) マグネトロンの陰極構造
RU93015898A (ru) Штамп для резки труб под углом
CN114932374B (zh) 压力帽加工焊接工艺
JPS6120629A (ja) バ−リング加工方法
JP3944883B2 (ja) 火打
KR200280225Y1 (ko) 필기구용 니들팁
US20210310122A1 (en) Method of forming holes from both sides of substrate
JPH0513763B2 (ru)
KR200241685Y1 (ko) 콘크리트 거푸집용 강관지지대
KR200240331Y1 (ko) 진공증착장치의 보조 전극 클램프
KR200202542Y1 (ko) 미세조절이 가능한 호닝 툴
RU1799707C (ru) Способ изготовлени сварных конструкций
KR200181109Y1 (ko) 우산살
JPH0551717A (ja) ガスワイピング装置