RU1827399C - Способ получени покрытий в вакууме - Google Patents
Способ получени покрытий в вакуумеInfo
- Publication number
- RU1827399C RU1827399C SU914952804A SU4952804A RU1827399C RU 1827399 C RU1827399 C RU 1827399C SU 914952804 A SU914952804 A SU 914952804A SU 4952804 A SU4952804 A SU 4952804A RU 1827399 C RU1827399 C RU 1827399C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- coating
- wire
- sublayer
- adhesion
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Использование: нанесение покрытий испарением и конденсацией в вакууме при производстве композиционных материалов . Сущность изобретени : перед нанесением основного покрыти на металлической подложке формируетс адгезионный подслой толщиной 1-5 мкм путем испарени сплава следующего состава, мае. %: A11-20, ферроцерий остальное. Изобретение обеспечивает повышение адгезии покрыти к подложке. 2 табл.
Description
Изобретение касаетс нанесени покрытий , в частности нанесени покрытий испарением и конденсацией в вакууме, и может быть применено при .производстве композиционных материалов.
Цель изобретени - повышение адгезии покрыти при температуре предварительного подогрева подложки ниже температуры ее рекристаллизации, т. е, получение высокой адгезии покрыти при сохранении механических свойств подложки.
Металлографическими и рентгенострук- турными исследовани ми было установлено , что в этом случае испар емый сплав вступает в реакцию с поверхностной пленкой окислов, котора присутствует на каждой металлической подложке. При этом образуетс слой кермета, в котором присутствуют как чистые металлы, так и их оксиды. Тонкий слой такого кермета (1-5 мкм) оказалс прекрасным адгезионным подслоем, который значительно повысил адгезию основного покрыти при невысокой температуре подложки.
Сущность способа заключаетс в следующем .
Подложку помещают в вакуумную камеру , снабженную двум испарител ми. В один испаритель загружают слиток сплава ферроцерий-алюминий, в другой - материал основного покрыти . Камера вакуумирует- с , после чего производ т предварительный прогрев подложки. Диапазон температур предварительного подогрева ограничен снизу температурой обезгаживани поверхностной пленки окислов и сверху - температурой начала рекристаллизации материала подложки. Следует также помнить, что при больших скорост х конденсации (в нашем случае 3-5 мкм/мин) наблюдаетс дополнительный разогрев поверхности подложки за счет выделени скрытой теплоты конденсации . Этот дополнительный разогрев может составл ть 50-100°С.
Важной характеристикой вл етс толщина адгезионного подсло . Как показали наши опыты оптимальна толщина находитс в пределах 1-5 мкм. При толщине подсло менее 1 мкм не обеспечиваетс прочное сцепсл
с
со ю
XS
со ю ю
ление между покрытием и основой, поскольку количества осажденного сплава ферроце- рмй-алюминий оказываетс недостаточно дл полного св зывани пленки оксидов на поверхности подложки. При толщине подсло более 5 мкм из-за существенного различи коэффициентов теплового линейного расширени подсло и основы возникают значительные термические напр жени на границе раздела подслой-основа. Это приводит к скалыванию покрыти в целом.
П р и м е р. 8 качестве подложки использовали нагартованную высокопрочную стальную проволоку марки ВНС-9 диаметром 150 мкм с пределом прочности 3600 МПа. Така проволока примен етс в качестве дешевого и доступного упрочнител при изготовлении композиционных материалов . Задача состо ла в том, чтобы нанести на проволоку покрытие, обеспечить его высокую адгезию и не допустить снижение предела прочности проволоки более чем на 10%.
Проволоку помещали в вакуумную камеру электронно-лучевой установки УЭ-173У, разработанной в Институте электросварки им. Е.О. Патона. Камера снабжена двум кристаллизаторами, нагревателем проволоки излучательного типа, а также механизмом , обеспечивающим равномерное перемещение проволоки с заданной скоростью . 8 первый по ходу проволоки кристаллизатор помещали слиток сплава ферроцерий-алюминий. Во второй кристаллизатор загружали материал основного покрыти . В качестве основного покрыти на проволоку наносили следующие материалы: титан, никель, алюминий, диборид титана, карбид кремни и диоксид циркони .
Дл сравнени были изготовлены-образцы проволоки по прототипу и по авторскому свидетельству Ne 783361. В этих случа х в первый кристаллизатор загружалс слиток фврроцери или магни .
В этих опытах все металлические слитки были предварительно переплавлены элек- ронным лучом в вакууме, а штабмки керамики спрессованы и отожжены в вакууме. Сплав ферроцерий-алюминий выплавл лс порци ми непосредственно в установке УЭ-173У, В качестве исходных материалов примен ли чистый алюминий и ферроцерий марки МЦ-40 по ТУ 48-4-280-73. Химический состав ферроцери был следующим: (в %): Се 52,8; Fe 2,1; Ј РЗМ - 45,1.
Пор док работы установки был таковым . Вначале проволока проходит через нагреватель , где за счет излучени эольфрамовых стержней нагреваетс до заданной температуры (250-350°С). Затем
проволока попадает в зону испарени первого испарител и на нее наноситс адгезионный подслой. Далее она проходит во вторую зону испарени , где осаждаетс основное покрытие.
Прочность проволоки определ ли на разрывной машине РМУ-0,05-1 со скоростью V 0,1 , база испытаний 50 мм. Предел прочности каждого образца прово0 локи определ ли как среднеарифметическую величину не менее 10 определений. Получены следующие значени : предел прочности проволоки в исходном состо нии - 3600 МПа: проволок с покрытием и
5 температурой подогрева не более 350°С - в пределах 3260-3550 МПа. То есть разупрочнение проволоки не превысило 10%.
Испытание адгезии покрытий производилось путем навивки проволоки на собст0 венный диаметр. Установлено, что при нанесении магни или ферроцери в качестве адгезионного подсло , основное покрытие отслаивалось.
При нанесении подсло из сплава фер5 роцерий-алюминий была получена надежна адгези покрытий как металлических, так и керамических. При испытании проволок с керамическими покрыти ми в них по вл лись трещины, однако отслаивани не
0 происходило.
Оптимальное содержание алюмини в сплаве ферроцерий-алюминий находитс в пределах 1-20%, При отклонении от этих пределов качество адгезии основного по5 крыти заметно ухудшаетс . Объ сн етс это, по-видимому, тем что такой состав сплава близок к эвтектическому сплаву 97% Се - 3% М, который имеет достаточно низкую температуру плавлени 1 (625°С) и высокую
0 реакционную способность. При длительной работе установки требуетс подпитка ванны алюминием, так как он имеет более высокую упругость пара, чем остальные компоненты сплава.
5 Как показывают наши опыты, содержание железа в подслое не оказывает решающего вли ни на адгезию, Прочность сцеплени основного покрыти с проволокой обеспечиваетс при довольно широком
0 диапазоне содержаний железа в подслое - от 0 до 50%.
По специальной методике была определена прочность адгезии при испытании на отрыв. При применении предлагаемого ад5 гезионного подсло прочность составила 70-90 МПа в зависимости от типа покрыти . Аналогична величина дл покрыти по прототипу была примерно в 3-4 раза ниже.
Предлагаемый способ был также прове- рен при нанесении покрытий наследующие
подложки: стальную сварочную проволоку марки Св-08Г2С диаметром 1,2 мм. титановую проволоку диаметром 2 мм, медную и молибденовую проволоку диаметром 1 мм, стальную нержавеющуюу ленту размером 9 х 0,3 мм, латунную ленту б х 0,5 мм. На проволоку ВНС-9 наносили также двух- и трехслойные покрыти . Во всех случа х адгезионный подслой из сплава ферроцерий- алюминий оказалс весьма эффективным.
Конкретные технологические режимы при нанесении опытных покрытий были следующими . Ускор ющее напр жение во всех случа х было одинаковым - 20 кВ, скорость движени проволоки или ленты - 0,5 м/мин.
Остальные показатели режимов дл адгезионного подсло приведены в табл. 1, а дл основного покрыти - в табл. 2.
Использование предложенного нами способа получени покрытий с высокими
адгезионными свойствами позвол ет значительно повысить качество композиционных материалов и других изделий с покрыти ми.
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ получени покрытий в вакууме, включающий нагрев металлической подложки до температуры ниже порога рекристаллизации материала подложки и последовательное нанесение адгезионного подсло и основного покрыти путем испарени исходного материале и осаждени его паров на подложку, отличающийс тем, что, с целью повышени качества покрытий за счет увеличени их адгезии к подложке , в качестве исходного материала при нанесении адгезионного подсло используют сплав следующего состава, мае. %:Алюминий1-20;ФерроцерийОстальное.Таблица 1Таблица 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914952804A RU1827399C (ru) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | Способ получени покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU914952804A RU1827399C (ru) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | Способ получени покрытий в вакууме |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1827399C true RU1827399C (ru) | 1993-07-15 |
Family
ID=21583162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU914952804A RU1827399C (ru) | 1991-05-27 | 1991-05-27 | Способ получени покрытий в вакууме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1827399C (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997035678A3 (en) * | 1996-03-12 | 1997-11-06 | United Technologies Corp | Channel fabrication in metal objects |
-
1991
- 1991-05-27 RU SU914952804A patent/RU1827399C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1491028, кл. С 23 С 14/02, 1989. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997035678A3 (en) * | 1996-03-12 | 1997-11-06 | United Technologies Corp | Channel fabrication in metal objects |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9382630B2 (en) | Zinc alloy coated steel sheet having good sealer adhesion and corrosion resistance and process of manufacturing the same | |
US4090103A (en) | X-ray target | |
JPH0216735A (ja) | 半導体デバイスのメタライゼーション・プロセス | |
JPH0234737A (ja) | 耐食、耐熱性アルミニウム基合金薄膜とその製造法 | |
RU1827399C (ru) | Способ получени покрытий в вакууме | |
US4701769A (en) | Thermal head and method for fabrication thereof | |
US5820940A (en) | Preparation of adhesive coatings from thermally reactive binary and multicomponent powders | |
US5157706A (en) | X-ray tube anode with oxide coating | |
US20060115243A1 (en) | Resistance-heated boat and manufacturing method thereof | |
US5199059A (en) | X-ray tube anode with oxide coating | |
JP2004211122A (ja) | 高耐電圧性部材 | |
JPS5944386B2 (ja) | 耐熱性金属薄膜の製造方法 | |
JPS61288060A (ja) | 減圧プラズマア−ク溶射方法 | |
Finlayson | Vacuum vapour deposition as a high rate coating process for sheet steel | |
JPH0317073B2 (ru) | ||
EP0017384A1 (en) | Process for bonding germanium to metal | |
Sobczak et al. | The effect of Cr thin films on wettability and bonding in Ni/alumina couples | |
JPH046790B2 (ru) | ||
EP1099002B1 (en) | Composition for production of a protective gradient coating on a metal substrate by electron beam evaporation and condensation under vacuum | |
JP2960644B2 (ja) | 表面処理された窒化アルミニウム基材 | |
JPH09184060A (ja) | 耐熱・耐酸化性に優れた窒化層をもつダイス及びその製造方法 | |
JPS63203761A (ja) | 高密着性Cr被膜を有する鋼材とその製造法 | |
JPH11323537A (ja) | リ―ダ―なしコ―ティングの電子ビ―ム塗布方法 | |
WO1989010426A1 (en) | Steel sheet having dense ceramic coating with excellent adhesion,smoothness and corrosion resistance and process for its production | |
KR19990054142A (ko) | 브레이징용 알루미늄-규소 증착 알루미늄판의 제조방법 |