RU1827399C - Способ получени покрытий в вакууме - Google Patents

Способ получени покрытий в вакууме

Info

Publication number
RU1827399C
RU1827399C SU914952804A SU4952804A RU1827399C RU 1827399 C RU1827399 C RU 1827399C SU 914952804 A SU914952804 A SU 914952804A SU 4952804 A SU4952804 A SU 4952804A RU 1827399 C RU1827399 C RU 1827399C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate
coating
wire
sublayer
adhesion
Prior art date
Application number
SU914952804A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Ильич Ульянов
Борис Алексеевич Мовчан
Александр Федорович Манулик
Евгения Викторовна Оноприенко
Original Assignee
Институт Электросварки Им.Е.О.Патона
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Электросварки Им.Е.О.Патона filed Critical Институт Электросварки Им.Е.О.Патона
Priority to SU914952804A priority Critical patent/RU1827399C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1827399C publication Critical patent/RU1827399C/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Использование: нанесение покрытий испарением и конденсацией в вакууме при производстве композиционных материалов . Сущность изобретени : перед нанесением основного покрыти  на металлической подложке формируетс  адгезионный подслой толщиной 1-5 мкм путем испарени  сплава следующего состава, мае. %: A11-20, ферроцерий остальное. Изобретение обеспечивает повышение адгезии покрыти  к подложке. 2 табл.

Description

Изобретение касаетс  нанесени  покрытий , в частности нанесени  покрытий испарением и конденсацией в вакууме, и может быть применено при .производстве композиционных материалов.
Цель изобретени  - повышение адгезии покрыти  при температуре предварительного подогрева подложки ниже температуры ее рекристаллизации, т. е, получение высокой адгезии покрыти  при сохранении механических свойств подложки.
Металлографическими и рентгенострук- турными исследовани ми было установлено , что в этом случае испар емый сплав вступает в реакцию с поверхностной пленкой окислов, котора  присутствует на каждой металлической подложке. При этом образуетс  слой кермета, в котором присутствуют как чистые металлы, так и их оксиды. Тонкий слой такого кермета (1-5 мкм) оказалс  прекрасным адгезионным подслоем, который значительно повысил адгезию основного покрыти  при невысокой температуре подложки.
Сущность способа заключаетс  в следующем .
Подложку помещают в вакуумную камеру , снабженную двум  испарител ми. В один испаритель загружают слиток сплава ферроцерий-алюминий, в другой - материал основного покрыти . Камера вакуумирует- с , после чего производ т предварительный прогрев подложки. Диапазон температур предварительного подогрева ограничен снизу температурой обезгаживани  поверхностной пленки окислов и сверху - температурой начала рекристаллизации материала подложки. Следует также помнить, что при больших скорост х конденсации (в нашем случае 3-5 мкм/мин) наблюдаетс  дополнительный разогрев поверхности подложки за счет выделени  скрытой теплоты конденсации . Этот дополнительный разогрев может составл ть 50-100°С.
Важной характеристикой  вл етс  толщина адгезионного подсло . Как показали наши опыты оптимальна  толщина находитс  в пределах 1-5 мкм. При толщине подсло  менее 1 мкм не обеспечиваетс  прочное сцепсл
с
со ю
XS
со ю ю
ление между покрытием и основой, поскольку количества осажденного сплава ферроце- рмй-алюминий оказываетс  недостаточно дл  полного св зывани  пленки оксидов на поверхности подложки. При толщине подсло  более 5 мкм из-за существенного различи  коэффициентов теплового линейного расширени  подсло  и основы возникают значительные термические напр жени  на границе раздела подслой-основа. Это приводит к скалыванию покрыти  в целом.
П р и м е р. 8 качестве подложки использовали нагартованную высокопрочную стальную проволоку марки ВНС-9 диаметром 150 мкм с пределом прочности 3600 МПа. Така  проволока примен етс  в качестве дешевого и доступного упрочнител  при изготовлении композиционных материалов . Задача состо ла в том, чтобы нанести на проволоку покрытие, обеспечить его высокую адгезию и не допустить снижение предела прочности проволоки более чем на 10%.
Проволоку помещали в вакуумную камеру электронно-лучевой установки УЭ-173У, разработанной в Институте электросварки им. Е.О. Патона. Камера снабжена двум  кристаллизаторами, нагревателем проволоки излучательного типа, а также механизмом , обеспечивающим равномерное перемещение проволоки с заданной скоростью . 8 первый по ходу проволоки кристаллизатор помещали слиток сплава ферроцерий-алюминий. Во второй кристаллизатор загружали материал основного покрыти . В качестве основного покрыти  на проволоку наносили следующие материалы: титан, никель, алюминий, диборид титана, карбид кремни  и диоксид циркони .
Дл  сравнени  были изготовлены-образцы проволоки по прототипу и по авторскому свидетельству Ne 783361. В этих случа х в первый кристаллизатор загружалс  слиток фврроцери  или магни .
В этих опытах все металлические слитки были предварительно переплавлены элек- ронным лучом в вакууме, а штабмки керамики спрессованы и отожжены в вакууме. Сплав ферроцерий-алюминий выплавл лс  порци ми непосредственно в установке УЭ-173У, В качестве исходных материалов примен ли чистый алюминий и ферроцерий марки МЦ-40 по ТУ 48-4-280-73. Химический состав ферроцери  был следующим: (в %): Се 52,8; Fe 2,1; Ј РЗМ - 45,1.
Пор док работы установки был таковым . Вначале проволока проходит через нагреватель , где за счет излучени  эольфрамовых стержней нагреваетс  до заданной температуры (250-350°С). Затем
проволока попадает в зону испарени  первого испарител  и на нее наноситс  адгезионный подслой. Далее она проходит во вторую зону испарени , где осаждаетс  основное покрытие.
Прочность проволоки определ ли на разрывной машине РМУ-0,05-1 со скоростью V 0,1 , база испытаний 50 мм. Предел прочности каждого образца прово0 локи определ ли как среднеарифметическую величину не менее 10 определений. Получены следующие значени : предел прочности проволоки в исходном состо нии - 3600 МПа: проволок с покрытием и
5 температурой подогрева не более 350°С - в пределах 3260-3550 МПа. То есть разупрочнение проволоки не превысило 10%.
Испытание адгезии покрытий производилось путем навивки проволоки на собст0 венный диаметр. Установлено, что при нанесении магни  или ферроцери  в качестве адгезионного подсло , основное покрытие отслаивалось.
При нанесении подсло  из сплава фер5 роцерий-алюминий была получена надежна  адгези  покрытий как металлических, так и керамических. При испытании проволок с керамическими покрыти ми в них по вл лись трещины, однако отслаивани  не
0 происходило.
Оптимальное содержание алюмини  в сплаве ферроцерий-алюминий находитс  в пределах 1-20%, При отклонении от этих пределов качество адгезии основного по5 крыти  заметно ухудшаетс . Объ сн етс  это, по-видимому, тем что такой состав сплава близок к эвтектическому сплаву 97% Се - 3% М, который имеет достаточно низкую температуру плавлени 1 (625°С) и высокую
0 реакционную способность. При длительной работе установки требуетс  подпитка ванны алюминием, так как он имеет более высокую упругость пара, чем остальные компоненты сплава.
5 Как показывают наши опыты, содержание железа в подслое не оказывает решающего вли ни  на адгезию, Прочность сцеплени  основного покрыти  с проволокой обеспечиваетс  при довольно широком
0 диапазоне содержаний железа в подслое - от 0 до 50%.
По специальной методике была определена прочность адгезии при испытании на отрыв. При применении предлагаемого ад5 гезионного подсло  прочность составила 70-90 МПа в зависимости от типа покрыти . Аналогична  величина дл  покрыти  по прототипу была примерно в 3-4 раза ниже.
Предлагаемый способ был также прове- рен при нанесении покрытий наследующие
подложки: стальную сварочную проволоку марки Св-08Г2С диаметром 1,2 мм. титановую проволоку диаметром 2 мм, медную и молибденовую проволоку диаметром 1 мм, стальную нержавеющуюу ленту размером 9 х 0,3 мм, латунную ленту б х 0,5 мм. На проволоку ВНС-9 наносили также двух- и трехслойные покрыти . Во всех случа х адгезионный подслой из сплава ферроцерий- алюминий оказалс  весьма эффективным.
Конкретные технологические режимы при нанесении опытных покрытий были следующими . Ускор ющее напр жение во всех случа х было одинаковым - 20 кВ, скорость движени  проволоки или ленты - 0,5 м/мин.
Остальные показатели режимов дл  адгезионного подсло  приведены в табл. 1, а дл  основного покрыти  - в табл. 2.
Использование предложенного нами способа получени  покрытий с высокими
адгезионными свойствами позвол ет значительно повысить качество композиционных материалов и других изделий с покрыти ми.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ получени  покрытий в вакууме, включающий нагрев металлической подложки до температуры ниже порога рекристаллизации материала подложки и последовательное нанесение адгезионного подсло  и основного покрыти  путем испарени  исходного материале и осаждени  его паров на подложку, отличающийс  тем, что, с целью повышени  качества покрытий за счет увеличени  их адгезии к подложке , в качестве исходного материала при нанесении адгезионного подсло  используют сплав следующего состава, мае. %:
    Алюминий1-20;
    ФерроцерийОстальное.
    Таблица 1
    Таблица 2
SU914952804A 1991-05-27 1991-05-27 Способ получени покрытий в вакууме RU1827399C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914952804A RU1827399C (ru) 1991-05-27 1991-05-27 Способ получени покрытий в вакууме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU914952804A RU1827399C (ru) 1991-05-27 1991-05-27 Способ получени покрытий в вакууме

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1827399C true RU1827399C (ru) 1993-07-15

Family

ID=21583162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU914952804A RU1827399C (ru) 1991-05-27 1991-05-27 Способ получени покрытий в вакууме

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1827399C (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997035678A3 (en) * 1996-03-12 1997-11-06 United Technologies Corp Channel fabrication in metal objects

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1491028, кл. С 23 С 14/02, 1989. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997035678A3 (en) * 1996-03-12 1997-11-06 United Technologies Corp Channel fabrication in metal objects

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9382630B2 (en) Zinc alloy coated steel sheet having good sealer adhesion and corrosion resistance and process of manufacturing the same
US4090103A (en) X-ray target
JPH0216735A (ja) 半導体デバイスのメタライゼーション・プロセス
JPH0234737A (ja) 耐食、耐熱性アルミニウム基合金薄膜とその製造法
RU1827399C (ru) Способ получени покрытий в вакууме
US4701769A (en) Thermal head and method for fabrication thereof
US5820940A (en) Preparation of adhesive coatings from thermally reactive binary and multicomponent powders
US5157706A (en) X-ray tube anode with oxide coating
US20060115243A1 (en) Resistance-heated boat and manufacturing method thereof
US5199059A (en) X-ray tube anode with oxide coating
JP2004211122A (ja) 高耐電圧性部材
JPS5944386B2 (ja) 耐熱性金属薄膜の製造方法
JPS61288060A (ja) 減圧プラズマア−ク溶射方法
Finlayson Vacuum vapour deposition as a high rate coating process for sheet steel
JPH0317073B2 (ru)
EP0017384A1 (en) Process for bonding germanium to metal
Sobczak et al. The effect of Cr thin films on wettability and bonding in Ni/alumina couples
JPH046790B2 (ru)
EP1099002B1 (en) Composition for production of a protective gradient coating on a metal substrate by electron beam evaporation and condensation under vacuum
JP2960644B2 (ja) 表面処理された窒化アルミニウム基材
JPH09184060A (ja) 耐熱・耐酸化性に優れた窒化層をもつダイス及びその製造方法
JPS63203761A (ja) 高密着性Cr被膜を有する鋼材とその製造法
JPH11323537A (ja) リ―ダ―なしコ―ティングの電子ビ―ム塗布方法
WO1989010426A1 (en) Steel sheet having dense ceramic coating with excellent adhesion,smoothness and corrosion resistance and process for its production
KR19990054142A (ko) 브레이징용 알루미늄-규소 증착 알루미늄판의 제조방법