RU1826007C - "Устройство автоматической наводки на резкость системы "объектив микроскопа - объект" - Google Patents
"Устройство автоматической наводки на резкость системы "объектив микроскопа - объект"Info
- Publication number
- RU1826007C RU1826007C SU904850496A SU4850496A RU1826007C RU 1826007 C RU1826007 C RU 1826007C SU 904850496 A SU904850496 A SU 904850496A SU 4850496 A SU4850496 A SU 4850496A RU 1826007 C RU1826007 C RU 1826007C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- inputs
- outputs
- normalizing
- drive
- control
- Prior art date
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оптико-электронному приборостроению и может быть использовано, дл автоблокировки в микроскопах . Сущность изобретени : устройство содержит объектив микроскопа, столик с образцом , оптическую систему, оптически св занную с образцом, блок формировани управл ющего напр жени , соединенный с приводом столика. Новым в устройстве вл етс то, что оптическа система выполнена в виде интерферометра перемещени без переноса спектра сигнала, выходы которого соединены с входами блока формировани управл ющего напр жени , который содержит последовательно соединенные нормирующий преобразователь, ключ задани фокуса, реверсивный счетчик, схему сравнени и схему управлени приводом. Кроме того, нормирующий преобразователь содержит два усилител , выходы которых соединены с входами формирователей пр моугольных импульсов, выходы которых в свою очередь соединены с входами формировател счетных импульсов и определени направлени смещени фокуса обьектива. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Изобретение относитс к оптико-электронному приборостроению и может быть использовано дл автофокусировки в микроскопах .
Целью изобретени вл етс повышение точности и расширение диапазона фокусировки .
На фиг. 1 представлена блок-схема устройства автофокусировки; на фиг. 2 - оптическа система; на фиг. 3 - блок-схема нормирующего преобразовател .
Устройство автофокусировки (фиг.1) содержит объектив 1 микроскопа, столик 2 с образцом 3, оптическую систему 4, оптически св занную с образцом 3 и выполненную в виде интерферометра перемещени без переноса спектра сигнала, блок 5 формировани управл ющего напр жени , содержащий последовательно соединенные нормирующий преобразователь 6, ключ 7 задани фокуса, реверсивный счетчик 8, схему 9 сравнени и схему 10 управлени приводом 11 столика 2.
Оптическа система (фиг,2), выполненна в виде интерферометра без переноса спектра сигнала, содержит оптически св занные лазер 12, светоделительный кубик 13, две фазовые пластимки 14 и 15, уголковый отражатель 16, зеркало 17, светоделительный кубик 18, пол роиды 19 и 20, фотоприемники 21 и 22. зеркало 23.
Нормирующий преобразователь (фиг.З), содержит усилители 24 и 25, выходы которых соединены с входами формирователей 26 и 27 пр моугольных импульсов, выходы которых соединены с входами формирова00
ю о о о
VI
ел 28 счетных импульсов и определени направлени смещени фокуса объектива.
Способ и работа устройства осуществ ютс следующим образом.
Фокус объектива (фиг.1) инфракрасного ИК) микроскопа (не показан) совмещают с выбранной плоскостью автофокусировки, параллельной поверхности образца 3. Это достигаетс путем перемещени по оси стоика 2 или объектива 1. Выбор плоскости автофокусировки производитс , например, визуально по неоднородности поверхности образца 3 или по неоднородност м его внутренней структуры. Затем облучают поверхность образца 3 информационным лучом, генерируемым лазером 12(фиг.2). Прин тие фазы луча, отраженного от поверхности образца 3 за исходную, осуществл етс путем установлени св зи между фазой и содержимым реверсивного счетчика 8 посредством оптической системы 4 (фиг.11, выполненной в виде интерферометра перемещени без переноса спектра сигнала, нормирующего преобразовател 6 и ключа 7 задани фокуса. Дл этого на управл ющий вход ключа 7 задани фокуса подают управл ющий сигнал, в результате чего ключ 7 выбора фокуса коммутирует выходы нормирующего преобразовател 6 и соответствующие входы реверсивного счетчика 8. При этом в реверсивный счетчик 8 и схему 9 сравнени предварительно записаны числа , соответствующие половине объема реверсивного счетчика 8. Преобразование изменени фазы отраженного от поверхности образца 3 информационного луча при дефокусировке объектива 1 микроскопа в первую или вторую последовательности электрических импульсов, в зависимости от направлени дефокусировки объектива 1 микроскопа, осуществл ют посредством оптической системы 4 и нормирующего преобразовател 6. Дл этого исходный луч. генерируемый лазером 12, делитс в свето- делительном кубике 13 на опорный и информационный лучи. Информационный луч, пройд фазовую пластинку 14, направл етс на поверхность образца 3 посредством зеркала 17. Отраженный от поверхности образца 3 и зеркала 23, расположенного пер- пендикул рно оптической оси информационного луча, направл етс све- тоделительным кубиком 18 всветоделитель- ный кубик 13, где на его внутренней грани раздел етс на два взаимно перпендикул рных луча. Опорный луч, пройд фазовую пластинку 15, направл етс уголковым отражателем 16 в светоделительный кубик 13, где он также раздел етс на два взаимно перпендикул рных лучэ, совпадающих с лучами , полученными при делении отраженного информационного луча. Пройд пол роиды 19 и 20, полученные таким образом лучи рекомбинируют. Фотоприемники 21 и
22 преобразуют интенсивности падающего на них света в электрические синусоидальные сигналы. Введение фазовых пластин 14 и 15 и пол роидов 19 и 20 необходимо дл того, чтобы получить интерферирующие лучи , разность фаз между изменени ми интен- сивностей которых составл ет 90°, причем фаза интенсивности одного интерферирующего луча будет опережать или отставать от фазы интенсивности другого интерферирующего луча, в зависимости от направлени смещени фокуса объектива 1 микроскопа по оси. Это свойство используетс дл определени направлени смещени фокуса объектива 1 микроскопа. Далее синусоидальные сигналы с фотоприемников 21 и 22 поступают на усилители 24 и 25 нормирующего преобразовател б (фиг.З), которые усиливают их до необходимых дл работы формирователей 26 и 27 пр моугольных импульсов напр жени . Пр моугольные импульсы , полученные на выходах формирователей 26 и 27, поступают на первый и второй входы формировател 28 счетных импульсов и определени направлени
смещени фокуса объектива 1 микроскопа по оси, который формирует последовательность счетных импульсов напр жени через каждые п I 4 изменени фазы отраженного информационного луча. За счет этого разрешающа способность автофокусирующего устройства повышаетс до А/8, гдеЯ- длина волны лазера 12. Счетные импульсы по вл ютс на первом или на втором выходе формировател 28, в зависимости отсоотношени фаз интерферирующих лучей. Счетные импульсы через ключ 7 выбора фокуса поступают на первый или второй входы реверсивного счетчика 8, который суммирует число импульсов, поступивших на первый
входили вычитает число импульсов,поступив- ших на второй вход из числа предварительно записанного в нем и соответствующего положению фокуса объектива 1 в плоскости автофокусировки . Определение направлени и
степени дефокусировки осуществл етс посредством схемы 9 сравнени . Полученное в результате сложени или вычитани число, представленное в двоичном коде, поступает на схему 9 сравнени . Схема 9 с записанным
в ней числом сравнивает полученное. В случае , если число, пришедшее с реверсивного счетчика 8,больше числа, записанного в схеме 9 сравнени , что соответствует положительной разности количества импульсов в последовательност х , то на ее первом выходе формируетс напр жение высокого уровн (логическа единица), которое поступает на первый вход схемы 10 управлени приводом 11 столика 2. При этом привод 11 пере- мещает столик 2 в сторону уменьшени дефокусировки и содержимое реверсивного счетчика 8 будет уменьшатьс , пока не сравн етс с числом, заданным в схеме 9 сравнени , что будет соответствовать нулевой разности количества счетных импульсов в последовательност х. При этом на обеих ее выходах по в тс нулевые потенциалы (логические нули). Привод 11 прекратит смещение столика 2, а фокус объектива 1 будет находитьс в выбранной плоскости автофокусировки . В случае, если число, пришедшее с реверсивного счетчика 8 меньше числа, записанного в схеме 9 сравнени , что соответствует отрицательной разности ко- личества счетных импульсов в последовательност х , тогда напр жение высокого уровн по витс на втором выходе схемы 9 сравнени . Это напр жение поступит на второй вход схемы 10 управлени приводом столика 2, привод 11 отработает в сторону уменьшени дефокусировки. При этом содержимое реверсивного счетчика 8 будет увеличиватьс , пока не сравн етс с числом , заданным в схеме 9 сравнени .
Claims (2)
1.Устройство автоматической наводки на резкость системы объектив микроскопа - объект, содержащее столик дл установки объекта с приводом, оптическую систему контрол положени объекта и блок формировани управл ющего напр жени , подключенный к приводу столика, отличающеес тем, что, с целью повышени точности и расширени диапазона фокусировки , оптическа система контрол положени выполнена в виде интерферометра перемещени без переноса спектра сигнала с фотоприемниками на выходе его, соединенными с входами блока формировани управл ющего напр жени , который содержит последовательно соединенные нормирующий преобразователь, ключ задани фокуса, реверсивный счетчик, схему сравнени и схему управлени приводом.
2.Устройство поп.1,отличающее- с тем, что нормирующий гфеобразователь выполнен в виде двух усилителей, выходы которых соединены с входами формирователей пр моугольных импульсов, выходы которых соединены с входами формировател счетных импульсов и определени направлени смещени фокуса объектива.
упр. &х.
фиг.г
г
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904850496A RU1826007C (ru) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | "Устройство автоматической наводки на резкость системы "объектив микроскопа - объект" |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU904850496A RU1826007C (ru) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | "Устройство автоматической наводки на резкость системы "объектив микроскопа - объект" |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1826007C true RU1826007C (ru) | 1993-07-07 |
Family
ID=21527185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU904850496A RU1826007C (ru) | 1990-07-26 | 1990-07-26 | "Устройство автоматической наводки на резкость системы "объектив микроскопа - объект" |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1826007C (ru) |
-
1990
- 1990-07-26 RU SU904850496A patent/RU1826007C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
За вка JP № 57-53923, кл. G 02 В 7/11,1982. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN112904526B (zh) | 基于差动共焦探测具有抗噪能力的高精度自动对焦方法及装置 | |
KR910020672A (ko) | 자동초점장치 및 방법 | |
GB1449255A (en) | Automatic focussing device | |
RU1826007C (ru) | "Устройство автоматической наводки на резкость системы "объектив микроскопа - объект" | |
US4298259A (en) | Focus detecting device for photographic camera | |
JPH1089953A (ja) | 焦点検出装置 | |
RU1793418C (ru) | Устройство автоматической фокусировки объектива | |
RU2310206C1 (ru) | Способ обнаружения широкополосных фазоманипулированных сигналов и определения вида их модуляции при акустооптической обработке | |
GB2066014A (en) | >Focus indicator | |
SU851315A1 (ru) | Устройство автоматической фокусировки | |
SU920376A1 (ru) | Фотоэлектрический микроскоп | |
SU1293490A1 (ru) | Устройство дл автоматической ориентации топологических структур элементов микроэлектроники | |
SU769319A1 (ru) | Устройство дл автоматической фокусировки светового излучени | |
JPS6251442B2 (ru) | ||
RU1789963C (ru) | Устройство дл автоматической фокусировки объектива | |
SU1150604A1 (ru) | Устройство дл автоматической фокусировки объектива | |
JPH08222793A (ja) | 自動焦点レーザー光源装置 | |
SU1727016A1 (ru) | Устройство дл фокусировки проекционного объектива | |
JPH09113794A (ja) | 自動焦点合わせ装置 | |
SU1427246A1 (ru) | Устройство дл измерени индикатрис рассе ни света | |
SU629444A1 (ru) | Устройство дл измерени смещени контролируемой поверхности | |
JP3190783B2 (ja) | フォーカシングサーボ機構 | |
RU1789964C (ru) | Двухступенчата система автоматической фокусировки объектива | |
SU1739381A1 (ru) | Устройство дл слежени за информационной дорожкой оптического носител | |
SU400871A1 (ru) | Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп |