SU400871A1 - Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп - Google Patents
Автоколлимационный фотоэлектрический микроскопInfo
- Publication number
- SU400871A1 SU400871A1 SU1740505A SU1740505A SU400871A1 SU 400871 A1 SU400871 A1 SU 400871A1 SU 1740505 A SU1740505 A SU 1740505A SU 1740505 A SU1740505 A SU 1740505A SU 400871 A1 SU400871 A1 SU 400871A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- collimation
- auto
- rasters
- photoelectric microscope
- microscope
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 4
- 101700022107 ROBO3 Proteins 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
Description
1
Известны автоколлимационные фотоэлектрические микроскопы, содержащие оптическую и растровую системы дл формировани автоколлимационного изображени марок, в которых растрова система выполнена из трех одинаковых по шагу амплитудных растров. Два растра установлены по разные стороны от оптической оси и второй апланатической точки объектива, а третий - в промежутке между автоколлимационными изображени ми первых двух и сдвинут на половину шага относительно их в своей нлоскости.
Из-за большого количества взаимосв занных тонких юстировочных подвижек растров такие микроскопы имеют недостаточную точность наведени .
В предлагаемом микроскопе первые два растра нанесены на одной из половин противоположных сторон плоскопараллельной пластины с оптической толщиной, равной рассто нию между растрами.
Благодар такому выполнению микроскопа повышаетс точность наведени .
На фиг. 1 показана схема микроскопа; на фиг. 2 - внешний вид пластины.
Схема содержит объектив / с тубусной ЛИНЗОЙ 2, источник 3 света, конденсор 4, светофильтр 5, прозрачную пластину 6, на которой нанесены непрозрачные штрихи 7 и 8, полупрозрачную пластину 9, растр 10, светоделительную призму //, фотодиоды /2, мостовую схему 13, гальванометр М, зеркало 15 (или зеркальноотражающий объект).
При освещении пластины 6 автоколлимационные изображени штрихов 7 и 8 расположены по обе стороны от плоскости штрихов растра 10 и на равных рассто ни х от нее, если положение зеркала совпадает с апланатической точкой объектива. Сдвиг зеркала /5 вдоль
оси от среднего положени вызывает смещение изображений штрихов 7 и S относительно растра 10, в результате чего перераспредел ютс интенсивностн пучков света, падающих на грани светоделительной призмы // и фотодиоды 12. Это вызывает по вление тока в мостовой схеме 13, который может быть использован как ДЛЯ регистрации расфокусировки , так и ДЛЯ осуществлени обратной св зи в системе автоматической фокусировки.
Предмет изобретени
Автоколлимациоиный фотоэлектрический микроскоп по авт. св. 284356, отличающийс ем, что, с целью повышени точности наведеьи , в нем первые два растра выполнены в виде непрозрачных штрихов, нанесенных на разные ПОЛОВИНЫ противоположных сторон плоскопараллельной пластины с оптической толщиной , равной рассто нию между растрами.
Риг1
иг. г
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1740505A SU400871A1 (ru) | 1972-01-25 | Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1740505A SU400871A1 (ru) | 1972-01-25 | Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU400871A1 true SU400871A1 (ru) | |
SU400871A2 SU400871A2 (ru) | 1973-10-01 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4301363A (en) | Alignment device | |
US5528027A (en) | Scanning exposure apparatus having a scanning device for scanning light beams along the movement direction of a moving mask stage | |
US4867570A (en) | Three-dimensional information processing method and apparatus for obtaining three-dimensional information of object by projecting a plurality of pattern beams onto object | |
CN112684572B (zh) | 一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置 | |
GB1266971A (ru) | ||
US4667109A (en) | Alignment device | |
JPH0140493B2 (ru) | ||
SU400871A1 (ru) | Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп | |
US3721488A (en) | Focusing arrangment for afocal telescopes | |
US5251011A (en) | Displacement detection system | |
CN112859317A (zh) | 自动对焦显微成像系统 | |
SU443250A1 (ru) | Устройство дл дистанционного измерени тепловых деформаций оптических элементов | |
SU284356A1 (ru) | ЛПТОКОЛЛИМЛЦИОИНЬШ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙМИКРОСКОП!:!Л'ЛГШ-;ШРЕе«; ;3^'ВЛ;-^ОТЕ:НА | |
SU1727016A1 (ru) | Устройство дл фокусировки проекционного объектива | |
US6750436B2 (en) | Focus error detection apparatus and method having dual focus error detection path | |
SU190606A1 (ru) | Оптическая визирная система | |
SU591791A1 (ru) | Оптическа система гидировани и фокусировки телескопа | |
SU289288A1 (ru) | Осветительная система угломерных приборов | |
RU1809414C (ru) | Способ автоматической фокусировки оптической системы и устройство дл его осуществлени | |
SU1410071A2 (ru) | Оптико-электронное коррел ционное устройство | |
SU306342A1 (ru) | Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали | |
SU964561A1 (ru) | Устройство дл регулировани резкости изображени в фотопечатающей аппаратуре | |
SU757897A1 (ru) | Устройство для измерения разрешающей способности оптико-электронных приборов 1 | |
SU272574A1 (ru) | Оптический теодолит моиченко | |
SU1672214A1 (ru) | Устройство дл измерени рассто ни до поверхности |