SU400871A1 - Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп - Google Patents

Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп

Info

Publication number
SU400871A1
SU400871A1 SU1740505A SU1740505A SU400871A1 SU 400871 A1 SU400871 A1 SU 400871A1 SU 1740505 A SU1740505 A SU 1740505A SU 1740505 A SU1740505 A SU 1740505A SU 400871 A1 SU400871 A1 SU 400871A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
collimation
auto
rasters
photoelectric microscope
microscope
Prior art date
Application number
SU1740505A
Other languages
English (en)
Other versions
SU400871A2 (ru
Inventor
В. Г. Балымов Г. А. Москалев В. П. Тогулев А. А. Антонов
Publication of SU400871A1 publication Critical patent/SU400871A1/ru
Application filed filed Critical
Priority to SU1740505A priority Critical patent/SU400871A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU400871A2 publication Critical patent/SU400871A2/ru

Links

Description

1
Известны автоколлимационные фотоэлектрические микроскопы, содержащие оптическую и растровую системы дл  формировани  автоколлимационного изображени  марок, в которых растрова  система выполнена из трех одинаковых по шагу амплитудных растров. Два растра установлены по разные стороны от оптической оси и второй апланатической точки объектива, а третий - в промежутке между автоколлимационными изображени ми первых двух и сдвинут на половину шага относительно их в своей нлоскости.
Из-за большого количества взаимосв занных тонких юстировочных подвижек растров такие микроскопы имеют недостаточную точность наведени .
В предлагаемом микроскопе первые два растра нанесены на одной из половин противоположных сторон плоскопараллельной пластины с оптической толщиной, равной рассто нию между растрами.
Благодар  такому выполнению микроскопа повышаетс  точность наведени .
На фиг. 1 показана схема микроскопа; на фиг. 2 - внешний вид пластины.
Схема содержит объектив / с тубусной ЛИНЗОЙ 2, источник 3 света, конденсор 4, светофильтр 5, прозрачную пластину 6, на которой нанесены непрозрачные штрихи 7 и 8, полупрозрачную пластину 9, растр 10, светоделительную призму //, фотодиоды /2, мостовую схему 13, гальванометр М, зеркало 15 (или зеркальноотражающий объект).
При освещении пластины 6 автоколлимационные изображени  штрихов 7 и 8 расположены по обе стороны от плоскости штрихов растра 10 и на равных рассто ни х от нее, если положение зеркала совпадает с апланатической точкой объектива. Сдвиг зеркала /5 вдоль
оси от среднего положени  вызывает смещение изображений штрихов 7 и S относительно растра 10, в результате чего перераспредел ютс  интенсивностн пучков света, падающих на грани светоделительной призмы // и фотодиоды 12. Это вызывает по вление тока в мостовой схеме 13, который может быть использован как ДЛЯ регистрации расфокусировки , так и ДЛЯ осуществлени  обратной св зи в системе автоматической фокусировки.
Предмет изобретени 
Автоколлимациоиный фотоэлектрический микроскоп по авт. св. 284356, отличающийс  ем, что, с целью повышени  точности наведеьи , в нем первые два растра выполнены в виде непрозрачных штрихов, нанесенных на разные ПОЛОВИНЫ противоположных сторон плоскопараллельной пластины с оптической толщиной , равной рассто нию между растрами.
Риг1
иг. г
SU1740505A 1972-01-25 Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп SU400871A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1740505A SU400871A1 (ru) 1972-01-25 Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU1740505A SU400871A1 (ru) 1972-01-25 Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SU400871A1 true SU400871A1 (ru)
SU400871A2 SU400871A2 (ru) 1973-10-01

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4301363A (en) Alignment device
US5528027A (en) Scanning exposure apparatus having a scanning device for scanning light beams along the movement direction of a moving mask stage
US4867570A (en) Three-dimensional information processing method and apparatus for obtaining three-dimensional information of object by projecting a plurality of pattern beams onto object
CN112684572B (zh) 一种兼具自动调平功能的自动对焦方法及装置
GB1266971A (ru)
US4667109A (en) Alignment device
JPH0140493B2 (ru)
SU400871A1 (ru) Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп
US3721488A (en) Focusing arrangment for afocal telescopes
US5251011A (en) Displacement detection system
CN112859317A (zh) 自动对焦显微成像系统
SU443250A1 (ru) Устройство дл дистанционного измерени тепловых деформаций оптических элементов
SU284356A1 (ru) ЛПТОКОЛЛИМЛЦИОИНЬШ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙМИКРОСКОП!:!Л'ЛГШ-;ШРЕе«; ;3^'ВЛ;-^ОТЕ:НА
SU1727016A1 (ru) Устройство дл фокусировки проекционного объектива
US6750436B2 (en) Focus error detection apparatus and method having dual focus error detection path
SU190606A1 (ru) Оптическая визирная система
SU591791A1 (ru) Оптическа система гидировани и фокусировки телескопа
SU289288A1 (ru) Осветительная система угломерных приборов
RU1809414C (ru) Способ автоматической фокусировки оптической системы и устройство дл его осуществлени
SU1410071A2 (ru) Оптико-электронное коррел ционное устройство
SU306342A1 (ru) Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали
SU964561A1 (ru) Устройство дл регулировани резкости изображени в фотопечатающей аппаратуре
SU757897A1 (ru) Устройство для измерения разрешающей способности оптико-электронных приборов 1
SU272574A1 (ru) Оптический теодолит моиченко
SU1672214A1 (ru) Устройство дл измерени рассто ни до поверхности