RU1812239C - Способ обработки металлических изделий в вакууме - Google Patents
Способ обработки металлических изделий в вакуумеInfo
- Publication number
- RU1812239C RU1812239C SU4840615A RU1812239C RU 1812239 C RU1812239 C RU 1812239C SU 4840615 A SU4840615 A SU 4840615A RU 1812239 C RU1812239 C RU 1812239C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plasma
- gas
- self
- gas discharge
- discharge
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
Использование: нанесение износостойких покрытий с сохранением исходной шероховатости обрабатываемой поверхности, может быть использовано в машиностроении . Сущность изобретени : в способе обработки очистку, активацию и нагрев обрабатываемой поверхности осуществл ют ионами газов несамосто тельного газового разр да при плотности ионного тока 15-200 А/м2 и давлении газа 1,33- ,33 Па. Возбуждение несамосто тельного газового разр да осуществл ют путем инжек- ции электронов в рабочий объем из плазмы дугового разр да с нерасходуемым полым термоэмиссионным катодом, через который подают плазмообразующий газ. 1 табл.
Description
Изобретение относитс к области технологии получени износостойких покрытий в вакууме и.может найти применение в машиностроении и металлообработке дл повышени срока службы металлорежущих инструментов и деталей машин, подвергающихс износу.
Цель изобретени - повышение качества обработки за счет увеличени адгезии наносимых покрытий при сохранении исходной шероховатости обрабатываемой поверхности ,
Автономный дуговой разр д с нерасходуемым полым термоэмиссионным катодом зажигают дл создани плотной сильноионизованной плазмы с энерги ми электронов от единиц до дес тков электронвольт, Электроны с такими энерги ми наиболе.е эффективно ионизируют газ. Инжектиру плазму дугового разр да в рабочую камеру при давлении 1,33 -10-1,33 Па и прикладыва напр жение между электродами, раз- мещенными в камере, вынуждают электроны инжектированной плазмы дугового разр да ускор тьс и поддерживать ионизацию газа. При этом количество электронов в разр де возрастает, и в объеме возникает несамосто тельный газовый.разр д , который прекращаетс при прекращении инжекции плазмы в объем камеры. Проведение процесса бомбардировки повер- хности ионами несамосто тельного газового разр да при давлени х газа 1,33- ,33 Па обусловлено тем, что при давлении более 1,33 Па поток возвращаемых на очищаемую поверхность распыленных частиц существенно возрастает, что снижает производительность и качество очистки. При давлении газа менее 1,33 Па несамосто тельный разр д гаснет.
Подачу плазмообразующего газа через полый катод осуществл ют дл горени несамосто тельного газового разр да в интервале давлений 1,33 ,33 Па и плотностей тока 15-200 А/м2
В указанном диапазоне плотности ионного тока (15-200 А/м2) на поверхности изу делий обеспечиваетс достаточно высокое
СО
С
00
-А
N5 ГО СО Ю
качество очистки, т.к. могут быть обеспечены услови преобладани процесса ионного распылени загр знений над процессом адсорбции молекул остаточного газа, посто н- но поступающих на очищаемую поверхность.
Способ по сн етс таблицей.
Обработка изделий поданному способу осуществл етс следующим образом.
Обрабатываемые издели (например, фасонные резцы, изготовленные из стали Р6М5), очищенные от загр знений, размещают на подложкодержателе, изолированном от корпуса вакуумной камеры и подключенном к отрицательному полюсу источника электропитани , вакуумна камера откачиваетс до давлени 1,33 10-3 Па форвакуумным и диффузионным насосами, затем через систему газопитани в полый катод несамосто тельного дугового разр - да, изготовленный из тугоплавкого материала , подают плазмообразующий газ, например аргон, а на издели подают отрицательный потенциал относительно стенок вакуумной камеры. Полый катод несамосто- тельного дугового разр да разогревают до температур термоэмиссии и зажигают несамосто тельный дуговой разр д с нерасходуемым полым термоэмиссионным катодом.
Плазму, создаваемую в дуговом разр - де, инжектируют в вакуумную камеру, и зажигают несамосто тельный газовый разр д.
Электроны плазмы ускор ютс к аноду, сталкиваютс с атомами и дополнительно ионизуют газ, а ионы ускор ютс к катоду- изделию и бомбардируют его, очища , активиру и разогрева поверхность обрабатываемых изделий.
... . :.
Затем подачу плазмообразующего газа прекращают, дуговой разр д гаснет, гаснет несамосто тельный газовый разр д, подают в камеру реакционный газ (например, азот), осуществл ют испарение металла, на- пример, титана, образующего соединение с реакционным газом, производ т ионизацию его паров и осаждают покрытие типа TIN до толщины 5 мкм,
В насто щее врем на отечественных заводах примен ютс установки ПУСК, Булат , ННВ6.6-И1, в которых реализуетс способ обработки изделий, включающий бомбардировку поверхности изделий ионами , извлекаемыми из плазмы вакуумной дуги , при этом при бомбардировке происходит осаждение микрокапель материала катода на поверхность изделий и конденсаци покрытий типа TiN.
Покрыти , полученные по этому способу в этих установках, обладают шероховатостью 0,25-0,35 мкм. Микрокапельна фаза в покрыти х снижает их адгезию.
Применение данного способа позволит:
- повысить производительность процесса обработки изделий на 30-50%;
- повысить работоспособность изделий с покрыти ми в 1,5-2 раза.
Claims (3)
1. Способ обработки металлических изделий в вакууме, включающий подачу плазмообразующего газа в рабочую камеру, возбуждение газового разр да, очистку поверхности обрабатываемых изделий бомбардировкой ускоренными ионами плазмы газового разр да, нагрев изделий и конденсацию покрытий из плазмы металлов наносимых покрытий в среде реакционного газа, отличающийс тем, что, с целью повышени качества обработки за счет увеличени адгезии наносимых покрытий при сохранении исходной шероховатости обрабатываемой поверхности, газовый разр д возбуждают при давлении плазмообразующего газа 1,33-10 2-1,33 Па путем инжекции электронов из плазмы автономного несамосто тельного дугового разр да с полым нерасходуемым термоэмиссионным катодом, а очистку поверхности и ее нагрев осуществл ют при плотности тока 15-200 А/м.
2. Способ по п. 1,отличающийс тем, что горение газового разр да осуществл ют между стенками вакуумной камеры и обрабатываемыми издели ми. .
3. Способ по пп.1 и 2, о т л и ч а ю щ и й- с тем, что в качестве пдазмообразующего газа используют аргон, азот или их смесь с водородом.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4840615 RU1812239C (ru) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | Способ обработки металлических изделий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4840615 RU1812239C (ru) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | Способ обработки металлических изделий в вакууме |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1812239C true RU1812239C (ru) | 1993-04-30 |
Family
ID=21521687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4840615 RU1812239C (ru) | 1990-06-18 | 1990-06-18 | Способ обработки металлических изделий в вакууме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1812239C (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202016008333U1 (de) | 2016-04-08 | 2017-08-01 | Andrey Senokosov | Einrichtung zur Reinigung von Steigrohren, insbesondere in Erdölausrüstungen |
-
1990
- 1990-06-18 RU SU4840615 patent/RU1812239C/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР №1048847, кл; С 23 С 14/32, 1987. Авторское свидетельство СССР № 997489, кл. С 23 С 14/00, 1985. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202016008333U1 (de) | 2016-04-08 | 2017-08-01 | Andrey Senokosov | Einrichtung zur Reinigung von Steigrohren, insbesondere in Erdölausrüstungen |
DE102016106421A1 (de) | 2016-04-08 | 2017-10-12 | Andrey Senokosov | Reinigungsverfahren für Steigrohre und Einrichtung hierfür |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0726967B1 (en) | A method for generation of a discharge in own vapors of a radio frequency electrode for sustained self-sputtering and evaporation of the electrode | |
RU2472869C2 (ru) | Установка вакуумной обработки и способ вакуумной обработки | |
Gavrilov et al. | New broad beam gas ion source for industrial application | |
US4197175A (en) | Method and apparatus for evaporating materials in a vacuum coating plant | |
US5015493A (en) | Process and apparatus for coating conducting pieces using a pulsed glow discharge | |
JP3652702B2 (ja) | プラズマ処理用線形アーク放電発生装置 | |
US5294322A (en) | Electric arc coating device having an additional ionization anode | |
Grigoriev et al. | Plasma-and beam-assisted deposition methods | |
JPH02285072A (ja) | 加工物表面のコーティング方法及びその加工物 | |
EP1746178B1 (en) | Device for improving plasma activity in PVD-reactors | |
JP2009543951A (ja) | 電気絶縁皮膜の堆積方法 | |
RU1812239C (ru) | Способ обработки металлических изделий в вакууме | |
JPH01129958A (ja) | 高密着窒化チタン膜形成方法 | |
US10083822B2 (en) | Physical vapour deposition coating device as well as a physical vapour deposition method | |
JPH0357191B2 (ru) | ||
JP4497466B2 (ja) | 硬質窒化炭素膜の作製方法 | |
RU2146724C1 (ru) | Способ нанесения композиционных покрытий | |
CN114411099A (zh) | 一种真空镀膜系统及镀膜方法 | |
JPH03150353A (ja) | 反応性イオンプレーティング方法 | |
KR100193365B1 (ko) | 금속표면에 질화티탄막을 형성하는 방법 | |
FI66656C (fi) | Foerfarande foer tillverkning av titannitridbelaeggning vid lag temperatur med hjaelp av glimurladdning | |
CN114318249A (zh) | 一种无液滴的等离子体镀膜弧源结构、镀膜系统及镀膜方法 | |
RU2567770C2 (ru) | Способ получения покрытий алмазоподобного углерода и устройство для его осуществления | |
RU2145362C1 (ru) | Способ вакуумно-плазменного нанесения покрытий | |
JPH04371570A (ja) | 立方晶窒化ホウ素膜形成方法 |