RU1811041C - Устройство дл совмещени и фиксации металлической маски с подложкой - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении монокристалльных мо- дулей на БИС. Цель изобретени  - упрощение конструкции и повышение технологичности ее изготовлени . Устройство содержит основание 14 со стойками, микроскоп 1с системой освещени , манипул тор совмещени , прозрачный держатель 8 подложки , выполненный в виде пазов стрек ос- новани , в котором установлены направл ющие 9 дл  осевого перемещени  съемного посто нного магнита 10, закрепленного на носителе 11с базирующими отверсти ми , выполненном из немагнитного материала. 1 ил,

Description

Изобретение относитс  к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении многокристалльных модулей на БИС.

Целью изобретени   вл етс  повышение технологичности изготовлени ,

Изобретение по сн етс  чертежом, на котором представлен общий вид устройства , где 1 - микроскоп, 2 - прозрачный держатель маски, 3 - направл ющие 4 держател  маски, 4 - микровинт, 5 - верх-1 ний посто нный магнит, 6 - металлическа  маска, 7 - подложка, 8 - держатель подлож- ки, 9 - направл ющие неметаллического но- сител  маски, 10 - нижний посто нный магнит, 11 - неметаллический носитель маг-1 нита, 12 - ручка, 13 - плита, 14 - основание устройства, 15 - пластина.

Устройство работает следующим образом: на направл ющие 9, запрессованные в основание держател  подложки 8, устанавливаетс  носитель 11 из немагнитного мате риала, с закрепленным по торцам посто нным магнитом 10. На стойки держател  подложки 8 устанавливаетс  подложка 7. Металлическа  маска 6 крепитс  к прозрачному держателю маски 2 магнитом 5, Держатель маски устанавливаетс  на направл ющие 3 и регулируетс  по высоте микровинтом 4.

После совмещени , в плане, по репер- ным знакам металлической маски и подложки с помощью микроскопа 1 и манипул тора совмещени , осуществл етс  подъем магнита 10 на подвижном носителе за ручки 12 до полного совмещени  магнита с подложкой и маской. Далее снимаетс  магнит 5 и держатель 2 с направл ющих 3.

Подвижный носитель с магнитом, подложкой и маской передаетс  за ручки на. следующие операции или на межоперационное хранение.

Пример конкретного выполнени .

Устройство дл  совмещени  и фиксации металлической маски с подложкой выполнено дл  металлической маски 6 с размерами, мм 48 х 60 х 0,5 и алюминиевой подложки с полиимидной изол цией 7 с размерами, мм

48 X 60 X 1,0..;,-:.

Устройство состоит из микроскопа 1 с системой освещени , манипул тора совмещени , соединенного с подвижной плитой 13. имеющей отеерстие$67 мм, в котором и размещена механическа  часть устройства

совмещени . На плите расположена металлическа  пластина 15 со штифтовыми направл ющими 3, по которым в осевом направлении перемещаетс  держатель маски 2, с расположенным на нем посто нным Магнитом 5 с размерами, мм 48 х 60 х 5.5, удерживающим под прозрачной пластиной из оргстекла, толщиной 1,5 мм, металлическую маску 6. На основании устройства 14

установлен держатель подложки 8 со штифтовыми направл ющими 9, на которые установлен носитель 11с посто нным магнитом 10, Носитель магнита ограничивает доступ к совмещенным маске, подложке, магниту, м

за ручки 12 позвол ет их перемещать в любом другом направлении.

Таким образо м, устройство дл  совмещени  и фиксации металлической маски с подложкой, по сравнению с прототипом, использует технологичные детали в своей конструкции , котора  позвол ет сохран ть, совмещенные металлическую маску с подложкой , не использует специальные посто нные магниты и вакуумную систему, что в

совокупности существенно повышает технологичность изготовлени  при обеспечении совмещени  и фиксации металлической о маски, подложки на посто нном магните, закрепленном на немагнитном носителе

дл  перемещени .

Claims (1)

1. Формула изобретени  Устройство дл  совмещени  и фиксации металлической маски с подложкой, содержащее основание с направл ющими в виде стержней, держатель маски с посто нным магнитом, держатель подложки, съемный посто нный магнит, установленный на основании под держателем подложки с возможностьюперемещени .- по направл ющим основани  в плоскости, перпендикул рной рабочей поверхности держател  подложки, микроскоп с системой освещени  и манипул тор совмещени , о тличающеес  тем, что, с целью упрощени  конструкции и повышени  технологичности ее изготовлени , оно снабжено носителем съемного посто нного магнита с базирующими отверсти ми, размещенными

   с возможностью взаимодействи  с направл ющими основани , выполненным из немагнитного материала, основание снабжено стойками, а держатель подложки выполнен в виде гнезда, образованного пазами , выполненными в стойках основани .