RU1810610C - Турбомолекул рный насос - Google Patents

Abstract

Сущность изобретени : в корпусе с входным патрубком размещен ротор в виде установленных на валу рабочих колес. Колеса в высоковакуумной области выполнены турбомолекул рными, в форваккумной - молекул рными . Между пакетами колес установлена промежуточна  ступень в виде усеченного к периферии диска с выполненными на его наружной поверхности криволинейными каналами, равномерно распределенными относительно продольной оси насоса.2 ил.

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к конструкциитурбомоле- кул рного вакуумного насоса (ТМН).

Цель изобретени  . - улучшение откачной характеристики.

Изобретение по сн етс  чертежами, на которых представлены поперечные и продольные сечени  насоса (фиг.1 и 2).

Предлагаемый насос содержит корпус 1 с входным патрубком и расположенный по оси насоса ротор 2. Ротор 2 установлен в .подшипниковом узле с встроенным электродвигателем 3. Проточна  полость насоса состоит из пакетов турбомолекул рных колес 4 и молекул рных колес 5, а также переходной ступени 6 между ними. Насос работает следующим образом. После создани  предварительного разрежени  в корпусе насоса 1 ротор 3 раскручивают до номинальных оборотов. Молекулы газа, откачанные турбомолекул рными колесами, попадают на переходную ступень 6. За счет взаимодействи  с каналами 7 переходной

ступени 6 молекулы получают импульс в направлении окна всасывани  8 молекул рной ступени 5. В результате увеличиваетс  веро тность откачки этих молекул молекул рной ступенью.

Предложенный насос позвол ет уменьшить сопротивление на входе в молекул рную ступень на 40% по сравнению с прототипом.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Турбомолекул рный насос, содержащий корпус с входным патрубком и размещенный в корпусе ротор в виде установленных на валу рабочих колес, из которых колеса в высоковакуумной области выполнены турбомолекул рными, а в фор- вакуумной - молекул рными, о т л и ч а ю щ- и и с   тем, что, с целью улучшени  откачных характеристик, между пакетами турбомолекул рных и молекул рных колес установлена промежуточна  ступень в виде усеченного к периферии диска с выполненел

   с

   со

   о

   о

   о

   ными на его наружной поверхности криволинейными каналами, равномерно распределенными относительно продольной оси насоса.

   Редактор М.Козлова

   Техред М.Моргентал

   Заказ 1432Тираж Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета по изобретени м и открыти м при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж-35, Раушска  наб., 4/5

   Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

   Корректор П.Гереши