RU1549464C - Способ плазменной обработки поверхности - Google Patents
Способ плазменной обработки поверхностиInfo
- Publication number
- RU1549464C RU1549464C SU4461524A RU1549464C RU 1549464 C RU1549464 C RU 1549464C SU 4461524 A SU4461524 A SU 4461524A RU 1549464 C RU1549464 C RU 1549464C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- arc
- magnetic field
- discharge
- plasma
- uniformity
- Prior art date
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к области и-с ивдппт дзр cvww. -1ЯСЗЛ11 плазменной технологии и может быть использовано дл плазменной обработки диэлектрических материалов с целью получени низкосорбционных, защитно- декоративных покрытий на строительных материалах. Цель изобретени - повышение равномерности обработки поверхности по длине дуги. Это достигаетс наложением,магнитного пол в виде од- нопол рных треугольных импульсов на перемещаемую относительно поверхности дугу, расположенную под углом к этой поверхности. Магнитное поле накладывают в прикатодной области с частотой f V/ds где V - скорость пег-1 ремещени разр да; d - токопровод щий с диаметр дуги. 2 ил. 59
Description
Изобретение относитс к области плазменной технологии и может быть использовано дл плазменной обработки диэлектрических материалов с целью получени низкосорбциоиных защитно- .де коративних покрытий.
Цель изобретени - повышение равномерности обработки поверхности по - длине дуги.
На фиг. 1 приведена форма магнитного пол , накладываемого на разр д; на фиг. 2 (а,б,в,г) - форма дуги при наложении на него магнитного пол в различные моменты времени. На фиг. 2 изображены дуга 1, катод 2 и анод 3.
Способ плазменной обработки поверхности реализуют следующим образом.
Зажигают разр д между анодов и катодом . Дугу перемещают равномерно вдоль обрабатываемой поверхности путем
перемещени вдоль поверхности плаз- . менного устройства. В катодной области на дугу накладывают магнитное поле, силовые линии которого перпендикул рны направлению тока дуги.
Дуговое п тно, взаимрдействующее с поверхностью под действием магнитного пол в виде однопол рных треугольных импульсов, сканирует между анодом и катодом.
Равномерность оплавлени поверх- ности достигаетс согласованием частоты накладываемого магнитного пол со скоростью перемещени дуги и диаметром ее токового канала.
Claims (1)
- Формула изобретениоfpi3 1,Способ плазменной обработки поверхности , включающий зажигание дуги, рас-«1WtWWUrffWWiWftW/tftt ttW//ff/f//fffbffjl)(ff/fti ff/rJfft tt
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4461524 RU1549464C (ru) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | Способ плазменной обработки поверхности |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4461524 RU1549464C (ru) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | Способ плазменной обработки поверхности |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1549464C true RU1549464C (ru) | 1993-05-23 |
Family
ID=21390194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU4461524 RU1549464C (ru) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | Способ плазменной обработки поверхности |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1549464C (ru) |
-
1988
- 1988-07-18 RU SU4461524 patent/RU1549464C/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1071187, кл. Н 05 И 1/00, 1982. Генераторы низкотемпературной плазмы. Тез. докл. X Всесоюзн. конференции, Каунас, Минск, 1986,с.109- 110. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2061809A1 (en) | Apparatus and method for coating a substrate using vacuum arc evaporation | |
| RU97108626A (ru) | Способ формирования углеродного алмазоподобного покрытия в вакууме | |
| AU2933189A (en) | Procedure and apparatus for the coating of materials by means of a pulsating plasma beam | |
| US5126163A (en) | Method for metal ion implantation using multiple pulsed arcs | |
| US20020047539A1 (en) | Process and switching arrangement for pulsing energy introduction into magnetron discharges | |
| JPH0356670A (ja) | ターゲット材料の剥削装置 | |
| RU1549464C (ru) | Способ плазменной обработки поверхности | |
| RU93032063A (ru) | Способ напыления пленок | |
| SU974613A1 (ru) | Плазменный генератор | |
| DE10010126C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Plasmabehandeln der Oberfläche von Substraten durch Ionenbeschuß | |
| JPS6154110B2 (ru) | ||
| JPS61187336A (ja) | プラズマエッチング装置とエッチング方法 | |
| RU2039845C1 (ru) | Способ вакуумной обработки внутренней поверхности труб | |
| SU1362577A1 (ru) | Способ электроэрозионного нанесени покрытий | |
| DE19610253A1 (de) | Zerstäubungseinrichtung | |
| SU719710A1 (ru) | Способ катодной обработки деталей устойчивым дуговым разр дом | |
| SU1654348A1 (ru) | Способ термической обработки стальных изделий | |
| RU1695704C (ru) | Способ обработки поверхности изделий дуговым разр дом в вакууме | |
| RU978474C (ru) | Устройство дл электродуговой обработки деталей в вакууме | |
| RU1797171C (ru) | Способ нагрева вращающихс деталей импульсными электрическими разр дами | |
| SU1123539A3 (ru) | Способ электронно-лучевого гравировани | |
| JPS5662728A (en) | Method for electric discharge machining | |
| RU99123361A (ru) | Получение электродуговой плазмы в криволинейном плазмоводе и нанесение покрытия на подложку | |
| SU565949A1 (ru) | Электродуговой испаритель материалов | |
| RU749355C (ru) | Плазменный генератор дл обработки материалов |